一種硅片正反面色差檢測裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉硅片檢測技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說是涉及一種硅片正反面色差檢測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前在太陽能光伏制造業(yè)所使用的硅片色差檢測裝置都是單一的正面檢測，不能滿足客戶對硅片的正反兩面都要進(jìn)行色差檢測要求，而且單一的正面檢測會使硅片色差檢測結(jié)果的精度偏低。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]為解決上述現(xiàn)有技術(shù)中的問題，本實用新型提供一種硅片正反面色差檢測裝置，通過對硅片的正反面色差進(jìn)行檢測，提高了硅片色差檢測結(jié)果的精度。
[0004]本實用新型的技術(shù)方案為:一種硅片正反面色差檢測裝置，包括:
[0005]依次運送硅片的第一皮帶線組件、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)和第二皮帶線組件；
[0006]設(shè)于所述第一皮帶線組件上的正面色差檢測儀，所述硅片在第一皮帶線組件上運送經(jīng)過所述正面色差檢測儀時，進(jìn)行正面色差檢測，并繼續(xù)向后運送；
[0007]以及設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)側(cè)面的反面色差檢測儀，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)上固定連接用于吸取所述硅片的吸盤，通過所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)上的吸盤吸取已進(jìn)行正面色差檢測的硅片，并旋轉(zhuǎn)第一角度將硅片送到反面色差檢測儀上方停止，進(jìn)行反面色差檢測后，再旋轉(zhuǎn)第二角度將硅片送到所述第二皮帶線組件上。
[0008]所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括電機，與所述電機連接的蝸輪蝸桿減速機，固定安裝在所述蝸輪蝸桿減速機上的法蘭，固定安裝在所述法蘭上的安裝板，以及固定安裝于所述安裝板端部的豎直連接桿，所述豎直連接桿末端與所述吸盤固定連接。
[0009]所述安裝板為十字安裝板，所述十字安裝板固定連接有至少四個吸盤，第一角度和第二角度為90度。
[0010]本實用新型提出的硅片正反面色差檢測裝置，通過設(shè)置依次運送硅片的第一皮帶線組件、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)和第二皮帶線組件，在第一皮帶線組件上設(shè)置正面色差檢測儀，在旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的側(cè)面設(shè)置反面色差檢測儀，這樣能對硅片的正反面色差進(jìn)行檢測，得到了硅片正反兩面的色差檢測結(jié)果，從而提高了硅片色差檢測結(jié)果的精度。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型硅片正反面色差檢測裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖2為圖1中的俯視圖；
[0013]圖3為圖1中的主視圖。
【具體實施方式】
[0014]如圖1和圖2所示，本實用新型提出的硅片正反面色差檢測裝置包括第一皮帶線組件1、正面色差檢測儀2、反面色差檢測儀4、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)3和第二皮帶線組件5，第一皮帶線組件
1、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)3和第二皮帶線組件5依次運送硅片。
[0015]正面色差檢測儀2設(shè)于第一皮帶線組件I上，硅片7在第一皮帶線組件I上運送經(jīng)過正面色差檢測儀2時，進(jìn)行正面色差檢測，并繼續(xù)向后輸送。
[0016]反面色差檢測儀4設(shè)于旋轉(zhuǎn)機構(gòu)3的側(cè)面，這樣避免了拍攝到傳送皮帶，提高檢測時拍照的準(zhǔn)確性。
[0017]旋轉(zhuǎn)機構(gòu)3上固定連接用于吸取硅片的吸盤6，通過旋轉(zhuǎn)機構(gòu)3上的吸盤6吸取已進(jìn)行正面色差檢測的硅片，并旋轉(zhuǎn)第一角度將硅片送到反面色差檢測儀4上方停止，進(jìn)行反面色差檢測后，再旋轉(zhuǎn)第二角度將硅片送到第二皮帶線組件5上。
[0018]如圖3所示，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括電機31，與電機31連接的蝸輪蝸桿減速機32，固定安裝在蝸輪蝸桿減速機32上的法蘭33，固定安裝在法蘭33上的安裝板34，以及固定安裝于安裝板34端部的豎直連接桿35，豎直連接桿35末端與吸盤6固定連接，電機31驅(qū)動帶動安裝板34旋轉(zhuǎn)。
[0019]該硅片正反面色差檢測裝置還包括控制器，控制器一方面用于控制吸盤上電磁閥，使吸盤吸取硅片和放下硅片，另一方面用于控制電機。
[0020]結(jié)合圖2和圖3對本實用新型的檢測過程詳細(xì)說明:本實施例中，安裝板34為十字安裝板，十字安裝板34固定連接有至少四個吸盤，這里吸盤數(shù)量為四個，第一角度和第二角度為90度。硅片從第一皮帶線組件I的前端放上，并通過第一皮帶線組件I向后運送，當(dāng)硅片經(jīng)過安裝在第一皮帶線組件I上的正面色差檢測儀2時，正面色差檢測儀2開始拍照并檢測，并由此得出硅片正面色差結(jié)果。硅片在第一皮帶線組件上繼續(xù)向后運送到達(dá)下一工位時，安裝在第一皮帶線組件I上的感應(yīng)器接收到信號，控制器控制吸盤6上的電磁閥，使吸盤6吸取硅片，此時電機驅(qū)動帶動十字安裝板旋轉(zhuǎn)90度將硅片運送到反面色差檢測儀4上方停止，此時反面色差檢測儀4開始拍照并檢測，由此得出硅片反面色差結(jié)果。反面色差檢測完后，再旋轉(zhuǎn)90度將硅片運送到第二皮帶線組件5上方，吸盤6放下硅片并由第二皮帶線組件5向后運送到下一個工位。正面色差檢測儀和反面色差檢測儀對拍照收到的信號經(jīng)過處理，在顯示器輸出處理結(jié)果來指導(dǎo)后面硅片色差分選的工作。
[0021]以上的具體實施例僅用以舉例說明本實用新型的構(gòu)思，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本實用新型的構(gòu)思下可以做出多種變形和變化，這些變形和變化均包括在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種硅片正反面色差檢測裝置，其特征在于，包括: 依次運送硅片的第一皮帶線組件、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)和第二皮帶線組件； 設(shè)于所述第一皮帶線組件上的正面色差檢測儀，所述硅片在第一皮帶線組件上運送經(jīng)過所述正面色差檢測儀時，進(jìn)行正面色差檢測，并繼續(xù)向后運送； 以及設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)側(cè)面的反面色差檢測儀，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)上固定連接用于吸取所述硅片的吸盤，通過所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)上的吸盤吸取已進(jìn)行正面色差檢測的硅片，并旋轉(zhuǎn)第一角度將硅片送到反面色差檢測儀上方停止，進(jìn)行反面色差檢測后，再旋轉(zhuǎn)第二角度將硅片送到所述第二皮帶線組件上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片正反面色差檢測裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括電機，與所述電機連接的蝸輪蝸桿減速機，固定安裝在所述蝸輪蝸桿減速機上的法蘭，固定安裝在所述法蘭上的安裝板，以及固定安裝于所述安裝板端部的豎直連接桿，所述豎直連接桿末端與所述吸盤固定連接。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片正反面色差檢測裝置，其特征在于，所述安裝板為十字安裝板，所述十字安裝板固定連接有至少四個吸盤，第一角度和第二角度為90度。
【專利摘要】本實用新型公開了一種硅片正反面色差檢測裝置，包括依次運送硅片的第一皮帶線組件、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)和第二皮帶線組件；設(shè)于所述第一皮帶線組件上的正面色差檢測儀，所述硅片在第一皮帶線組件上運送經(jīng)過所述正面色差檢測儀時，進(jìn)行正面色差檢測，并繼續(xù)向后運送；以及設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)側(cè)面的反面色差檢測儀，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)上固定連接用于吸取所述硅片的吸盤，通過所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)上的吸盤吸取已進(jìn)行正面色差檢測的硅片，并旋轉(zhuǎn)第一角度將硅片送到反面色差檢測儀上方停止，進(jìn)行反面色差檢測后，再旋轉(zhuǎn)第二角度將硅片送到所述第二皮帶線組件上。該硅片正反面色差檢測裝置通過對硅片的正反面色差進(jìn)行檢測，提高了硅片色差檢測結(jié)果的精度。
【IPC分類】H01L21/66, H01L21/677
【公開號】CN205194661
【申請?zhí)枴緾N201520913872
【發(fā)明人】謝鑫, 胡永濤, 張勇
【申請人】深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司
【公開日】2016年4月27日
【申請日】2015年11月17日