一種pecvd沉積爐限位裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種薄膜太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備，尤其涉及一種PECVD沉積爐限位裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]薄膜太陽能電池作為一種新型的太陽能電池技術(shù)，與晶硅比較其更好的弱光效應(yīng)和柔性等特點(diǎn)，成為太陽能領(lǐng)域的后起之秀。在太陽能薄膜電池的生產(chǎn)過程中，PECVD技術(shù)在薄膜生產(chǎn)中占有很大的主導(dǎo)地位，在PECVD工序中，電極的起輝決定著產(chǎn)品的成敗。其中進(jìn)電組件作為連接射頻系統(tǒng)中射頻電源、匹配器和產(chǎn)品載體工件架的連接裝置，是射頻信號(hào)進(jìn)入真空反應(yīng)腔室必不可少零部件，它的使用期限損壞程度對(duì)設(shè)備的稼動(dòng)率和產(chǎn)品良率有著極大的影響，但由于生產(chǎn)過程中進(jìn)出爐時(shí)間的嚴(yán)格控制，工作人員的不規(guī)范操作，進(jìn)電組件受力集中等原因，進(jìn)電組件的更換周期大大縮短，嚴(yán)重縮減了進(jìn)電組件的壽命，進(jìn)而增加產(chǎn)品報(bào)廢率影響設(shè)備稼動(dòng)率，在更換進(jìn)電組件時(shí)由于多為角鐵固定使其拆裝困難，以及高溫的嚴(yán)苛條件在組裝時(shí)施工者也有很大可能對(duì)進(jìn)電組件造成損壞。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了解決上述問題，本實(shí)用新型提供一種結(jié)構(gòu)合理、受力科學(xué)、裝卸方便的PECVD沉積爐限位裝置。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案為；
[0005]一種PECVD沉積爐限位裝置，包括固定在沉積爐上的固定裝置，其特征在于，所述固定裝置通過滑動(dòng)桿與限位卡槽活動(dòng)連接，所述滑動(dòng)桿下端設(shè)有角鐵，所述角鐵設(shè)有呈同一直線的若干限位孔，所述角鐵與限位裝置連接。
[0006]進(jìn)一步的，所述限位裝置包括上固定塊、下固定塊和限位塊，所述上固定塊與下固定塊通過彈簧銷連接，所述限位塊設(shè)有兩個(gè)帶孔銷，所述兩個(gè)帶孔銷之間設(shè)有固定槽，所述下固定塊頂端設(shè)有兩個(gè)可插入帶孔銷的固定鍵，所述下固定塊的下端設(shè)有U型環(huán)。
[0007]進(jìn)一步的，所述限位卡槽為弧形。
[0008]進(jìn)一步的，所述滑動(dòng)桿通過銷子固定。
[0009]本實(shí)用新型的有益效果為:
[0010]1.在生產(chǎn)員工插拔進(jìn)電組件過程中對(duì)進(jìn)電組件的形變進(jìn)行控制，按照設(shè)定的弧度盡量避免出現(xiàn)彎折嚴(yán)重的區(qū)域，減少進(jìn)電組件在限位卡槽處的因應(yīng)力集中造成的損壞，從而達(dá)到延長進(jìn)電組件壽命的目的。
[0011]2.限位裝置可以更加方便的進(jìn)行拆卸對(duì)進(jìn)電組件起到了保護(hù)作用，提升進(jìn)電組件使用壽命，延長更換周期，大大提高設(shè)備稼動(dòng)率，降低產(chǎn)品報(bào)廢率和成本，減少技術(shù)人員的勞動(dòng)強(qiáng)度。
【附圖說明】
[0012]圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖2為限位裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖中，I固定裝置，2限位卡槽，3滑動(dòng)桿，4角鐵，5限位孔，6限位裝置，7上固定塊，8下固定塊，9限位塊，1U型環(huán)，11銷子，61彈簧銷，62帶孔銷，63固定鍵，64固定槽。
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步說明。
[0016]一種PECVD沉積爐限位裝置，包括固定在沉積爐上的固定裝置1，其特征在于，所述固定裝置I通過滑動(dòng)桿3與限位卡槽2活動(dòng)連接，所述滑動(dòng)桿3通過銷子11固定；
[0017]所述滑動(dòng)桿3下端設(shè)有角鐵4，所述角鐵4設(shè)有呈同一直線的若干限位孔5，所述角鐵4與限位裝置6連接。
[0018]進(jìn)一步的，所述限位裝置6包括上固定塊7和與上固定塊7通過彈簧銷61連接的下固定塊8，還包括用于確定限位裝置6位置的限位塊9，所述限位塊9設(shè)有兩個(gè)帶孔銷62，所述下固定塊8頂端設(shè)有兩個(gè)可插入帶孔銷62的固定鍵63，所述兩個(gè)帶孔銷62之間設(shè)有固定槽64用來固定進(jìn)電組件，帶孔銷62插入限位孔5中同時(shí)固定鍵63插入帶孔銷62中使角鐵4與限位裝置6固定連接，使所述下固定塊8的下端設(shè)有U型環(huán)10。
[0019]具體的，所述限位卡槽2為弧形，按照工藝需要確定弧度，避免使進(jìn)電阻件出現(xiàn)彎折嚴(yán)重的區(qū)域，從而達(dá)到延長進(jìn)電組件壽命的目的。
[0020]在使用時(shí)，安裝好的進(jìn)電組件被限位裝置6牢牢固定，減少使用時(shí)進(jìn)電組件的晃動(dòng)和對(duì)進(jìn)電組件根部的損壞，此時(shí)根據(jù)放置產(chǎn)品的工件架位置將2弧形限位定位后將定位銷11放下固定弧形限位。這樣操作進(jìn)電組件時(shí)，進(jìn)電組件會(huì)根據(jù)弧形進(jìn)行彎曲，減少因?yàn)椴涣甲冃我鸬氖芰Σ痪鶆?，從而減少個(gè)別位置的受力集中，延長進(jìn)電組件的使用壽命，從而提尚設(shè)備稼動(dòng)率和廣品良率。
[0021]因?yàn)榉磻?yīng)室內(nèi)部嚴(yán)苛的環(huán)境以及長期的使用的不良影響，進(jìn)電組件不可避免的損害，設(shè)備人員在維修時(shí)，不僅要需要面臨高溫對(duì)人身的傷害，還要面對(duì)高溫引起的螺絲卡死問題，而此裝置就很好的解決了此問題。在更換進(jìn)電組件時(shí)，首先松開限位裝置，原限位裝置使用5_內(nèi)六角緊固，在拆卸時(shí)經(jīng)常由于高溫問題經(jīng)常造成螺絲、螺母卡死，增加了維修難度，而新的裝置，只需用手指下拉下限位塊8的U形環(huán)10就可以將8拉下，這樣限位塊9的凹槽62和下限位塊8的凸起63就會(huì)分離，限位塊9便不受力限制從而可以輕松撤出，松手后由于彈簧銷61作用下限位塊8便可以恢復(fù)到原位置，從而輕松松開限位；其次便可松開進(jìn)電組件與反應(yīng)室連接固定的27MM螺絲，并將銷子11拿起，通過滑軌調(diào)節(jié)2弧形限位位置的位置，便于進(jìn)電組件與配套27MM螺絲的取出，這樣便完成進(jìn)電組件的拆卸，安裝只需反步驟操作便可。
[0022]以上所述僅是本專利的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本專利技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和替換，這些改進(jìn)和替換也應(yīng)視為本專利的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種PECVD沉積爐限位裝置，包括固定在沉積爐上的固定裝置(1)，其特征在于，所述固定裝置(I)通過滑動(dòng)桿(3)與限位卡槽(2)活動(dòng)連接，所述滑動(dòng)桿(3)下端設(shè)有角鐵(4)，所述角鐵(4)設(shè)有呈同一直線的若干限位孔(5)，所述角鐵(4)與限位裝置(6)連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種PECVD沉積爐限位裝置，其特征在于，所述限位裝置(6)包括上固定塊(7)、下固定塊(8)和限位塊(9)，所述上固定塊(7)與下固定塊(8)通過彈簧銷(61)連接，所述限位塊(9)設(shè)有兩個(gè)帶孔銷(62)，所述兩個(gè)帶孔銷(62)之間設(shè)有固定槽(64 )，所述下固定塊(8 )頂端設(shè)有兩個(gè)可插入帶孔銷(62 )的固定鍵(63 )，所述下固定塊(8 )的下端設(shè)有U型環(huán)(10)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種PECVD沉積爐限位裝置，其特征在于，所述限位卡槽(2)為弧形。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種PECVD沉積爐限位裝置，其特征在于，所述滑動(dòng)桿(3)通過銷子(11)固定。
【專利摘要】一種PECVD沉積爐限位裝置，包括固定在沉積爐上的固定裝置，所述固定裝置通過滑動(dòng)桿與限位卡槽活動(dòng)連接，所述滑動(dòng)桿下端設(shè)有角鐵，所述角鐵設(shè)有呈同一直線的若干限位孔，所述角鐵與限位裝置連接，其結(jié)構(gòu)合理、受力科學(xué)、裝卸方便，可以降低產(chǎn)品報(bào)廢率和成本，減少技術(shù)人員的勞動(dòng)強(qiáng)度。
【IPC分類】C23C16/54, H01L31/18
【公開號(hào)】CN204885203
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520685013
【發(fā)明人】楊建 , 徐森
【申請(qǐng)人】山東禹城漢能薄膜太陽能有限公司
【公開日】2015年12月16日
【申請(qǐng)日】2015年9月7日