基板承載裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型總體來(lái)說(shuō)涉及光電顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種用于支撐基板的基板承載裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在光電顯示技術(shù)領(lǐng)域，經(jīng)常需要制作具有陣列圖形的基板，例如OLED基板。通常在陣列圖形制作的各個(gè)制程中，基板需要固定于一固定裝置上。
[0003]傳統(tǒng)的基板承載裝置包括一基座，待加工的基板直接放置于基座的頂面。由于基板放置在基座上之后需矯正位置，因此基板上經(jīng)常產(chǎn)生劃傷而影響基板質(zhì)量。
[0004]為減小基板在矯正過(guò)程中與基座之間的摩擦，在基座上固定有支撐柱，支撐柱略高于基座的頂面，基板支撐在多個(gè)支撐柱上。使用這種具有支撐柱的基座承載基板，在矯正基板時(shí)，雖然能一定程度上減小基板的劃傷，但仍不夠理想，支撐柱仍然會(huì)劃傷或刮傷基板。
[0005]在所述【背景技術(shù)】部分公開(kāi)的上述信息僅用于加強(qiáng)對(duì)本實(shí)用新型的背景的理解，因此它可以包括不構(gòu)成對(duì)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的現(xiàn)有技術(shù)的信息。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]本實(shí)用新型公開(kāi)一種能減輕基板劃傷的基板承載裝置。
[0007]本實(shí)用新型的額外方面和優(yōu)點(diǎn)將部分地在下面的描述中闡述，并且部分地將從描述中變得顯然，或者可以通過(guò)本實(shí)用新型的實(shí)踐而習(xí)得。
[0008]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面，一種基板承載裝置，包括基座、多個(gè)支柱和多個(gè)滾珠。基座具有一頂面和一底面，基座內(nèi)設(shè)有多個(gè)安裝通孔；所述多個(gè)支柱能分別安裝于所述基座的所述多個(gè)安裝通孔內(nèi)；多個(gè)滾珠分別可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)于所述多個(gè)支柱的頂部，所述滾珠凸出所述基座頂面，并且所述多個(gè)滾珠的頂端在同一平面上。
[0009]根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施方式，所述滾珠凸出所述基座頂面2-3_。
[0010]根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施方式，所述支柱為圓柱形，通過(guò)螺紋配合安裝于所述基座。
[0011]根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施方式，所述支柱的頂面為球面形凹部，所述滾珠放置于所述凹部。
[0012]根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施方式，還包括設(shè)置于所述支柱頂部的凹槽，所述凹槽的頂端面低于所述基座的頂面或者與所述頂面平齊，且具有容置所述滾珠的凹部。
[0013]根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施方式，所述凹槽與所述支柱為一體結(jié)構(gòu)。
[0014]根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施方式，所述凹槽具有彈性，且所述凹槽的凹部直徑小于所述滾珠12mm。
[0015]根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施方式，所述支柱為圓柱形，通過(guò)螺紋配合安裝于所述基座。
[0016]根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施方式，所述凹槽的外徑大于所述支柱的直徑，所述基座內(nèi)的安裝通孔為上大下小的階梯孔，所述凹槽容置于所述階梯孔的較大部分內(nèi)，所述支柱通過(guò)螺紋配合安裝于所述階梯孔的較小部分內(nèi)。
[0017]根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施方式，所述支柱的下端部向下延伸出所述基座的底面，所述基板承載裝置還包括多個(gè)鎖緊件，每一個(gè)鎖緊件設(shè)置于一個(gè)所述支柱的下端部。
[0018]根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施方式，所述滾珠和/或所述凹槽材質(zhì)為聚苯并咪唑材質(zhì)。
[0019]由上述技術(shù)方案可知，本實(shí)用新型的基板承載裝置的優(yōu)點(diǎn)和積極效果在于:
[0020]本實(shí)用新型中，多個(gè)支柱的頂部分別設(shè)有可轉(zhuǎn)動(dòng)的滾珠，滾珠凸出基座頂面，且多個(gè)滾珠的頂端在同一平面上，所述基板可以支撐于多個(gè)滾珠上。在矯正基板位置過(guò)程中，滾珠可以轉(zhuǎn)動(dòng)，基板與基座之間的摩擦為滾動(dòng)摩擦。與傳統(tǒng)技術(shù)中基板與基座之間的滑動(dòng)摩擦相比，本實(shí)用新型中，基板與基座之間摩擦力大為減小，因此能有效降低基板劃傷或刮傷的風(fēng)險(xiǎn)，提高基板圖形質(zhì)量。
【附圖說(shuō)明】
[0021]通過(guò)參照附圖詳細(xì)描述其示例實(shí)施方式，本實(shí)用新型的上述和其它特征及優(yōu)點(diǎn)將變得更加明顯。
[0022]圖1示出根據(jù)本實(shí)用新型一示例實(shí)施方式的基板承載裝置的剖視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]圖2是圖1的俯視圖。
[0024]圖3示出根據(jù)本實(shí)用新型另一示例實(shí)施方式的基板承載裝置的剖視結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0025]現(xiàn)在將參考附圖更全面地描述示例實(shí)施方式。然而，示例實(shí)施方式能夠以多種形式實(shí)施，且不應(yīng)被理解為限于在此闡述的實(shí)施方式；相反，提供這些實(shí)施方式使得本實(shí)用新型將全面和完整，并將示例實(shí)施方式的構(gòu)思全面地傳達(dá)給本領(lǐng)域的技術(shù)人員。圖中相同的附圖標(biāo)記表示相同或類(lèi)似的結(jié)構(gòu)，因而將省略它們的詳細(xì)描述。
[0026]基板承載裝置實(shí)施方式I
[0027]參見(jiàn)圖1和圖2。本實(shí)用新型一示例實(shí)施方式的基板承載裝置，包括基座1、多個(gè)支柱2和多個(gè)滾珠3。
[0028]基座1，可以是一石英板，具有一頂面和一底面?；鵌內(nèi)設(shè)有多個(gè)安裝通孔，本實(shí)施方式中示出3個(gè)安裝通孔，在其他實(shí)施方式中，安裝通孔數(shù)目不以3個(gè)為限，可以更多。并且根據(jù)需要多個(gè)安裝通孔可以布置成不同的形狀。安裝通孔可以是螺紋孔。
[0029]多個(gè)支柱2能分別安裝于基座I的多個(gè)安裝通孔內(nèi)。支柱2可以為圓柱形，通過(guò)螺紋配合安裝于基座I。支柱2的頂面為球面形凹部。
[0030]在另一實(shí)施方式中，基板承載裝置還可包括多個(gè)鎖緊件如鎖緊螺母5。多個(gè)支柱2的下端部延伸出基座I的下表面，多個(gè)鎖緊螺母5分別通過(guò)螺紋配合連接于多個(gè)支柱2的下端部，以將支柱2鎖緊于基座I。
[0031]多個(gè)滾珠3分別可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)于多個(gè)支柱2的頂部，例如多個(gè)滾珠3分別放置于支柱2頂端的球面形凹部。滾珠3凸出基座I頂面，并且多個(gè)滾珠3的頂端面在同一平面上，從而基板100可以由多個(gè)滾珠3支撐。滾珠3凸出基座I頂面的高度可以是2-3_，一方面可以避免基板100直接接觸基座1，另一方面在基板100與基座I之間維持一間隙，來(lái)自于基座I下方的底座加熱裝置的熱流能在該間隙內(nèi)流動(dòng)，從而使基板100能被均勻加熱，有利于提高基板上圖案的質(zhì)量。
[0032]滾珠3的材質(zhì)可以是聚苯并咪唑(PBI)材質(zhì)。PBI是當(dāng)今最高級(jí)別的工程塑料。PBI材質(zhì)的滾珠3耐高溫，長(zhǎng)期工作溫度可達(dá)310°C，瞬時(shí)耐受溫度可達(dá)760V ；PBI材質(zhì)的滾珠3耐腐蝕在酸堿環(huán)境中仍保持穩(wěn)定特性；并且具有高強(qiáng)度、高硬度；其高純度灰分可控制在2ppm以下。
[0033]基板承載裝置實(shí)施方式2
[0034]參見(jiàn)圖3。本實(shí)用新型另一示例實(shí)施方式的基板承載裝置，包括基座1、多個(gè)支柱2和多個(gè)滾珠3，其與第一實(shí)施方式的不同之處在于:
[0035]該實(shí)施方式中，基板承載裝置還包括凹槽4，凹槽4設(shè)置于支柱2頂部，其頂部具有容置滾珠3的凹部。
[0036]凹槽4與支柱2可以為一體結(jié)構(gòu)，也可以是相互獨(dú)立的結(jié)構(gòu)再固定連接在一起。凹槽4材質(zhì)可以為PBI材質(zhì)。當(dāng)將支柱2安裝于基座I內(nèi)時(shí)，凹槽4的頂端面低于基座I的頂面或者與頂面平齊。
[0037]在另一實(shí)施方式中，凹槽4具有彈性，且凹槽4的凹部直徑略小于滾珠3，例如凹槽4的凹部直徑小于滾珠3直徑l-2mm。這樣，滾珠3在凹槽4凹部?jī)?nèi)的安裝更加牢固，即使將基座I翻轉(zhuǎn)180°，滾珠3也不會(huì)掉落。
[0038]在另一實(shí)施方式中，基座I內(nèi)的安裝通孔為上大下小的階梯孔，凹槽4的外徑大于支柱2的直徑，凹槽4容置于階梯孔的較大部分內(nèi)，支柱2為圓柱形，具有外螺紋，通過(guò)螺紋配合安裝于基座I的階梯孔的較小部分內(nèi)。
[0039]以上具體地示出和描述了本實(shí)用新型的示例性實(shí)施方式。應(yīng)該理解，本實(shí)用新型不限于所公開(kāi)的實(shí)施方式，相反，本實(shí)用新型意圖涵蓋包含在所附權(quán)利要求的精神和范圍內(nèi)的各種修改和等效布置。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種基板承載裝置，其特征在于，包括: 基座(I)，具有一頂面和一底面，基座(I)內(nèi)設(shè)有多個(gè)安裝通孔； 多個(gè)支柱(2)，所述多個(gè)支柱(2)能分別安裝于所述基座(I)的所述多個(gè)安裝通孔內(nèi)； 多個(gè)滾珠(3)，分別可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)于所述多個(gè)支柱(2)的頂部，所述滾珠(3)凸出所述基座(I)頂面，并且所述多個(gè)滾珠(3)的頂端在同一平面上。
2.如權(quán)利要求1所述的基板承載裝置，其特征在于，所述滾珠(3)凸出所述基座(I)頂面 2-3mm0
3.如權(quán)利要求1所述的基板承載裝置，其特征在于，所述支柱(2)為圓柱形，通過(guò)螺紋配合安裝于所述基座(I)。
4.如權(quán)利要求3所述的基板承載裝置，其特征在于，所述支柱(2)的頂面為球面形凹部，所述滾珠(3)放置于所述凹部。
5.如權(quán)利要求1所述的基板承載裝置，其特征在于，還包括設(shè)置于所述支柱(2)頂部的凹槽(4)，所述凹槽(4)的頂端面低于所述基座(I)的頂面或者與所述頂面平齊，且具有容置所述滾珠(3)的凹部。
6.如權(quán)利要求5所述的基板承載裝置，其特征在于，所述凹槽(4)與所述支柱(2)為一體結(jié)構(gòu)。
7.如權(quán)利要求5所述的基板承載裝置，其特征在于，所述凹槽(4)具有彈性，且所述凹槽(4)的凹部直徑小于所述滾珠(3)l-2mm。
8.如權(quán)利要求5所述的基板承載裝置，其特征在于，所述支柱(2)為圓柱形，通過(guò)螺紋配合安裝于所述基座(I)。
9.如權(quán)利要求8所述的基板承載裝置，其特征在于，所述凹槽(4)的外徑大于所述支柱(2)的直徑，所述基座(I)內(nèi)的安裝通孔為上大下小的階梯孔，所述凹槽(4)容置于所述階梯孔的較大部分內(nèi)，所述支柱(2)通過(guò)螺紋配合安裝于所述階梯孔的較小部分內(nèi)。
10.如權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的基板承載裝置，其特征在于，所述支柱(2)的下端部向下延伸出所述基座的底面，所述基板承載裝置還包括: 多個(gè)鎖緊件，分別設(shè)置于所述多個(gè)所述支柱(2)的下端部。
11.如權(quán)利要求5-9任一項(xiàng)所述的基板承載裝置，其特征在于，所述滾珠(3)和/或所述凹槽(4)材質(zhì)為聚苯并咪唑材質(zhì)。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)一種基板承載裝置，包括基座、多個(gè)支柱和多個(gè)滾珠?；哂幸豁斆婧鸵坏酌?，基座內(nèi)設(shè)有多個(gè)安裝通孔；多個(gè)支柱能分別安裝于基座的多個(gè)安裝通孔內(nèi)；多個(gè)滾珠分別可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)于多個(gè)支柱的頂部，滾珠凸出基座頂面，并且多個(gè)滾珠的頂端在同一平面上。本實(shí)用新型中，多個(gè)支柱的頂部分別設(shè)有可轉(zhuǎn)動(dòng)的滾珠，滾珠凸出基座頂面，且多個(gè)滾珠的頂端面在同一平面上，基板可以支撐于多個(gè)滾珠上。在矯正基板位置過(guò)程中，滾珠可以轉(zhuǎn)動(dòng)，基板與基座之間的摩擦為滾動(dòng)摩擦。與傳統(tǒng)技術(shù)中基板與基座之間的滑動(dòng)摩擦相比，本實(shí)用新型中，基板與基座之間摩擦力大為減小，因此能有效降低基板劃傷或刮傷的風(fēng)險(xiǎn)，提高基板圖形質(zhì)量。
【IPC分類(lèi)】H01L21-687
【公開(kāi)號(hào)】CN204558440
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520181218
【發(fā)明人】郭世佳
【申請(qǐng)人】上海和輝光電有限公司
【公開(kāi)日】2015年8月12日
【申請(qǐng)日】2015年3月27日