一種晶圓干燥裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體制造技術領域，特別是涉及一種晶圓干燥裝置。
【背景技術】
[0002]在半導體制造過程中，進行濕法刻蝕之后需要對晶圓進行干燥處理。干燥處理首先將晶圓放置在水槽中進行清洗，去除所述晶圓表面的廢液或顆粒，接著將所述晶圓移至干燥槽中繼續(xù)進行氣體烘干，達到晶圓干燥的目的。如果干燥效果不理想，直接后果是產生水痕缺陷，而水痕缺陷是引發(fā)產量損失的主要原因，這就使得晶圓干燥處理成為清洗之后最重要的一道工序，決定了清洗工藝的品質。
[0003]現(xiàn)有技術中基本都是使用氮氣(N2)和異丙醇(IPA)作為干燥媒介，其干燥原理為:利用IPA與去離子水表面張力的不同，即晶圓表面的IPA濃度大于去離子水濃度，故表面張力減小，將晶圓表面殘留的水分子吸收流回水槽。具體地說，洗滌完畢后，晶圓表面會殘留有水滴，將潮濕的晶圓輸送到干燥槽內進行干燥。IPA由氮氣作為傳輸氣體，把氮氣導入加熱的IPA，使高揮發(fā)性的IPA產生氣態(tài)IPA傳入干燥槽內，從而使清洗后的晶圓表面得以干燥，避免水痕、顆粒及其他金屬雜質殘留在晶圓表面。
[0004]一般，提供IPA的裝置(即干燥氣體供給裝置10A)如圖1所示，在水槽1lA中放置液態(tài)的干燥液槽102A(IPA容器)，利用水浴加熱IPA，使IPA揮發(fā)成氣態(tài)，與水槽1lA還連接了一條液位管103A，用來控制水槽1lA中水的水位，防止水溢出，在液位管103A上安裝了各種傳感器，其中在液位管103A靠近上方的位置設置一個報警傳感器104A，一旦水位控制不當，超過報警傳感器104A高度時，傳感器就會報警警示。目前這種利用液位管進行液位控制的方式，由于液位管中的水具有一定溫度，容易蒸發(fā)，蒸發(fā)的水蒸氣接觸報警傳感器產生誤報警操作，使整個干燥過程停止，導致晶圓不能完全干燥，表面產生水痕而報廢。
[0005]因此，提供一種改進的晶圓干燥裝置，防止液位管上的報警傳感器發(fā)生誤操作，是本領域技術人員需要解決的課題。
【實用新型內容】
[0006]鑒于以上所述現(xiàn)有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種晶圓干燥裝置，用于解決現(xiàn)有技術中液位管上的報警傳感器容易發(fā)生誤報警的問題。
[0007]為實現(xiàn)上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種晶圓干燥裝置，所述晶圓干燥裝置至少包括干燥氣體供給裝置，所述干燥氣體供給裝置至少包括:
[0008]水槽；
[0009]用來裝載干燥液的干燥液槽，放置于水槽中，利用水槽中的水加熱干燥液產生干燥氣體；
[0010]液位管，和所述水槽相連接，所述水槽中的水上升至液位管一定高度，在液位管中水面滴有密封油，并且在液位管的頂端貼設有熱敏電阻片；
[0011]報警傳感器，安裝在液位管上，當液位管中的水上升超過所述報警傳感器位置時，報警傳感器發(fā)出警報。
[0012]作為本實用新型晶圓干燥裝置的一種優(yōu)化的結構，所述密封油為真空泵油。
[0013]作為本實用新型晶圓干燥裝置的一種優(yōu)化的結構，所述熱敏電阻片通電后的加熱溫度范圍為75±2°C。
[0014]作為本實用新型晶圓干燥裝置的一種優(yōu)化的結構，所述液位管的頂部還安裝有自動排氣閥，當液位管內氣壓超過0.15Mpa時，自動排氣閥會自動打開進行排壓。
[0015]作為本實用新型晶圓干燥裝置的一種優(yōu)化的結構，所述密封油通過注油口滴加在液位管的水面上，所述注油口設置在水面和報警傳感器之間，并通過注油控制閥控制油量。
[0016]作為本實用新型晶圓干燥裝置的一種優(yōu)化的結構，所述干燥液為異丙醇，加熱后異丙醇揮發(fā)成為異丙醇氣體，所述干燥液槽中還通有N2氣。
[0017]作為本實用新型晶圓干燥裝置的一種優(yōu)化的結構，所述晶圓干燥裝置還包括用來清洗和干燥晶圓的處理槽，所述處理槽由一蓋體覆蓋。
[0018]作為本實用新型晶圓干燥裝置的一種優(yōu)化的結構，所述干燥液槽通過管道和所述蓋體連接。
[0019]如上所述，本實用新型的晶圓干燥裝置，所述晶圓干燥裝置至少包括干燥氣體供給裝置，所述干燥氣體供給裝置至少包括:水槽；用來裝載干燥液的干燥液槽，放置于水槽中，利用水槽中的水加熱干燥液產生干燥氣體；液位管，和所述水槽相連接，所述水槽中的水上升至液位管一定高度，在液位管中水面滴有密封油，并且在液位管的頂端貼設有熱敏電阻片；報警傳感器，安裝在液位管上，當液位管中的水上升超過所述報警傳感器位置時，報警傳感器發(fā)出警報。本實用新型通過在液位管中滴加密封油，并在液位管上方包覆壓敏電阻片，可以減少水蒸氣在液位管管壁上的粘附，從而降低水蒸氣對報警傳感器的影響。
【附圖說明】
[0020]圖1為現(xiàn)有技術中的晶圓干燥裝置示意圖。
[0021]圖2為本實用新型晶圓干燥裝置中的干燥氣體供給裝置示意圖。
[0022]圖3為本實用新型晶圓干燥裝置的整體示意圖。
[0023]元件標號說明
[0024]10，1A干燥氣體供給裝置
[0025]101，1lA 水槽
[0026]102, 102A 干燥液槽
[0027]103, 103A 液位管
[0028]104, 104A 報警傳感器
[0029]105密封油
[0030]106熱敏電阻片
[0031]107自動排氣閥
[0032]108注油控制閥
[0033]201處理槽
[0034]202蓋體
【具體實施方式】
[0035]以下由特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式，熟悉此技術的人士可由本說明書所揭露的內容輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點及功效。
[0036]請參閱附圖。須知，本說明書所附圖式所繪示的結構、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內容，以供熟悉此技術的人士了解與閱讀，并非用以限定本實用新型可實施的限定條件，故不具技術上的實質意義，任何結構的修飾、比例關系的改變或大小的調整，在不影響本實用新型所能產生的功效及所能達成的目的下，均應仍落在本實用新型所揭示的技術內容得能涵蓋的范圍內。同時，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實用新型可實施的范圍，其相對關系的改變或調整，在無實質變更技術內容下，當亦視為本實用新型可實施的范疇。
[0037]現(xiàn)有的異丙醇依靠水槽里的熱水進行加熱，但是控制水槽中液位的報警傳感器會由于液位管里的水蒸氣導致誤動作，使整個晶圓干燥過程停止，晶圓表面留下水痕而報廢。有鑒于此，本實用新型提供一種新的晶圓干燥裝置，在該裝置的液位管的水面上滴加有密封油，并且液位管的頂部用壓敏電阻片包覆，這樣可以減少水蒸氣凝結在液位管上，避免報警傳感器的誤動作。以下將詳細闡述本實用新型的晶圓干燥裝置的原理及實施方式，使本領域技術人員不需要創(chuàng)造性勞動即可理解本實用新型的晶圓干燥裝置。
[0038]如