吸附式硅片分離裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于硅片插片設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種吸附式硅片分離裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在全自動插片機(jī)運(yùn)行過程中，首先要將一摞(1000片左右)硅片進(jìn)行每片分離，分離之后進(jìn)行單張硅片傳送。由于硅片與硅片之間會有一定的吸附力，因此現(xiàn)有技術(shù)中采用氣缸壓片的方式進(jìn)行連片、疊片的處理，由于氣缸壓片時為硬接觸，在壓片期間會對硅片本身造成損害。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型提供一種吸附式硅片分離裝置，以解決上述【背景技術(shù)】中提出的氣缸壓片會對硅片造成損壞的問題。
[0004]本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問題采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn):本實(shí)用新型提供一種吸附式硅片分離裝置，其特征在于:包括吸附座、輸送輪、從動軸、從動輪、驅(qū)動輪和驅(qū)動電機(jī)，所述的吸附座固定安裝在設(shè)備上，吸附座的邊緣設(shè)置有一個上下貫通的吸附孔，吸附孔上端連接吸水裝置，所述的輸送輪通過從動軸安裝在吸附座中部的空間內(nèi)，所述的驅(qū)動電機(jī)安裝在電機(jī)支座上，驅(qū)動電機(jī)的驅(qū)動軸上安裝有驅(qū)動輪，所述的從動軸的一端安裝有從動輪，驅(qū)動輪和從動輪通過傳動帶連接。
[0005]所述的吸附座和輸送輪的具體安裝結(jié)構(gòu)包括:隔套、左端蓋、軸承、小卡簧、大卡簧、右端蓋和壓板，所述的左端蓋設(shè)在靠近從動輪的一端，左端蓋與吸附座之間安裝有一個軸承，與從動軸之間設(shè)置有隔套，所述的輸送輪通過小卡簧安裝在從動軸上，輸送輪和從動軸之間設(shè)置有平鍵，所述的右端蓋設(shè)在遠(yuǎn)離從動輪的一端，右端蓋與吸附座之間也安裝有一個軸承，軸承遠(yuǎn)離右端蓋的一側(cè)設(shè)有大卡簧，所述的壓板通過螺釘安裝在從動軸的端部。
[0006]所述的輸送輪上設(shè)置有軟性防滑凸起。
[0007]所述的軸承為深溝球軸承。
[0008]所述的隔套由尼龍材料制成。
[0009]本實(shí)用新型的有益效果為:
[0010]1、本實(shí)用新型采用了無硬接觸的方式對硅片進(jìn)行連片、疊片的處理，從根本上避免了硅片分離過程中對硅片的損害；
[0011]2、采用帶傳動的方式為輸送輪提供驅(qū)動力，既保證了傳動的可靠性，也可在機(jī)構(gòu)卡死時保護(hù)驅(qū)動電機(jī)；
[0012]3、采用定位準(zhǔn)確、結(jié)構(gòu)簡單的吸附座和輸送輪安裝結(jié)構(gòu)，使設(shè)備工作穩(wěn)定，維修維護(hù)成本也很低。
【附圖說明】
[0013]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2是本實(shí)用新型吸附座和輸送輪具體安裝結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型做進(jìn)一步描述:
[0016]圖中:1-吸附座，2-吸附口，3-輸送輪，4-從動軸，5-從動輪，6_傳動帶，7_驅(qū)動電機(jī)，8-驅(qū)動輪B，9-電機(jī)支座，10-驅(qū)動軸，11-硅片，12-隔套，13-左端蓋，14-軸承，15-軟性防滑凸起，16-平鍵，17-小卡簧，18-大卡簧，19-右端蓋，20-壓板，21-螺釘。
[0017]實(shí)施例:
[0018]本實(shí)施例包括吸附座1、輸送輪3、從動軸4、從動輪5、驅(qū)動輪8和驅(qū)動電機(jī)7，所述的吸附座I固定安裝在設(shè)備上，吸附座I的邊緣設(shè)置有一個上下貫通的吸附孔2，吸附孔2上端連接吸水裝置，所述的輸送輪3通過從動軸4安裝在吸附座I中部的空間內(nèi)，所述的驅(qū)動電機(jī)7安裝在電機(jī)支座9上，驅(qū)動電機(jī)7的驅(qū)動軸10上安裝有驅(qū)動輪8，所述的從動軸4的一端安裝有從動輪5，驅(qū)動輪8和從動輪5通過傳動帶6連接。所述的吸附座I和輸送輪3的具體安裝結(jié)構(gòu)包括:隔套12、左端蓋13、軸承14、小卡簧17、大卡簧18、右端蓋19和壓板20，所述的左端蓋13設(shè)在靠近從動輪5的一端，左端蓋13與吸附座I之間安裝有一個軸承14，與從動軸4之間設(shè)置有隔套12，所述的輸送輪3通過小卡簧17安裝在從動軸4上，輸送輪3和從動軸4之間設(shè)置有平鍵16，所述的右端蓋19設(shè)在遠(yuǎn)離從動輪5的一端，右端蓋19與吸附座I之間也安裝有一個軸承14，軸承14遠(yuǎn)離右端蓋19的一側(cè)設(shè)有大卡簧18，所述的壓板20通過螺釘21安裝在從動軸4的端部。所述的輸送輪3上設(shè)置有軟性防滑凸起15。所述的軸承14為深溝球軸承。所述的隔套12由尼龍材料制成。
[0019]本實(shí)用新型采用了無硬接觸的方式對硅片11進(jìn)行連片、疊片的處理，從根本上避免了硅片11分離過程中對硅片11的損害；采用帶傳動的方式為輸送輪3提供驅(qū)動力，既保證了傳動的可靠性，也可在機(jī)構(gòu)卡死時保護(hù)驅(qū)動電機(jī)7 ;采用定位準(zhǔn)確、結(jié)構(gòu)簡單的吸附座I和輸送輪3安裝結(jié)構(gòu)，使設(shè)備工作穩(wěn)定，維修維護(hù)成本也很低。
[0020]利用本實(shí)用新型所述的技術(shù)方案，或本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型技術(shù)方案的啟發(fā)下，設(shè)計(jì)出類似的技術(shù)方案，而達(dá)到上述技術(shù)效果的，均是落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種吸附式硅片分離裝置，其特征在于:包括吸附座、輸送輪、從動軸、從動輪、驅(qū)動輪和驅(qū)動電機(jī)，所述的吸附座固定安裝在設(shè)備上，吸附座的邊緣設(shè)置有一個上下貫通的吸附孔，吸附孔上端連接吸水裝置，所述的輸送輪通過從動軸安裝在吸附座中部的空間內(nèi)，所述的驅(qū)動電機(jī)安裝在電機(jī)支座上，驅(qū)動電機(jī)的驅(qū)動軸上安裝有驅(qū)動輪，所述的從動軸的一端安裝有從動輪，驅(qū)動輪和從動輪通過傳動帶連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種吸附式硅片分離裝置，其特征在于:所述的吸附座和輸送輪的具體安裝結(jié)構(gòu)包括:隔套、左端蓋、軸承、小卡簧、大卡簧、右端蓋和壓板，所述的左端蓋設(shè)在靠近從動輪的一端，左端蓋與吸附座之間安裝有一個軸承，與從動軸之間設(shè)置有隔套，所述的輸送輪通過小卡簧安裝在從動軸上，輸送輪和從動軸之間設(shè)置有平鍵，所述的右端蓋設(shè)在遠(yuǎn)離從動輪的一端，右端蓋與吸附座之間也安裝有一個軸承，軸承遠(yuǎn)離右端蓋的一側(cè)設(shè)有大卡簧，所述的壓板通過螺釘安裝在從動軸的端部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種吸附式硅片分離裝置，其特征在于:所述的輸送輪上設(shè)置有軟性防滑凸起。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種吸附式硅片分離裝置，其特征在于:所述的軸承為深溝球軸承。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種吸附式硅片分離裝置，其特征在于:所述的隔套由尼龍材料制成。
【專利摘要】本實(shí)用新型屬于機(jī)械設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種吸附式硅片分離裝置，包括吸附座、輸送輪、從動軸、從動輪、驅(qū)動輪和驅(qū)動電機(jī)，所述的吸附座固定安裝在設(shè)備上，吸附座的邊緣設(shè)置有一個上下貫通的吸附孔，吸附孔上端連接吸水裝置，所述的輸送輪通過從動軸安裝在吸附座中部的空間內(nèi)，所述的驅(qū)動電機(jī)安裝在電機(jī)支座上，驅(qū)動電機(jī)的驅(qū)動軸上安裝有驅(qū)動輪，所述的從動軸的一端安裝有從動輪，驅(qū)動輪和從動輪通過傳動帶連接。本實(shí)用新型采用了無硬接觸的方式對硅片進(jìn)行連片、疊片的處理，從根本上避免了硅片分離過程中對硅片的損害；采用帶傳動的方式為輸送輪提供驅(qū)動力，既保證了傳動的可靠性，也可在機(jī)構(gòu)卡死時保護(hù)驅(qū)動電機(jī)。
【IPC分類】H01L21-67
【公開號】CN204391060
【申請?zhí)枴緾N201520070923
【發(fā)明人】單云超
【申請人】天津創(chuàng)昱達(dá)科技有限公司
【公開日】2015年6月10日
【申請日】2015年2月1日