單面研磨機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體加工領(lǐng)域，特別是一種適用于銅拋的單面研磨機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]在進(jìn)行單面研磨時，所選用的銅定盤表面加工有螺旋狀槽，通過螺旋槽來排出金剛砂研磨液，通常槽的深度為0.15毫米到0.2毫米。如果通過一次性加工開槽的話，通常會因為負(fù)載過重而造成定盤損傷。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的在于提供一種能夠防止開槽時銅定盤的損傷的單面研磨機(jī)。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型單面研磨機(jī)，包括:銅定盤，在所述銅定盤的底部設(shè)有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸與變頻器馬達(dá)連接；監(jiān)測器，所述監(jiān)測器設(shè)置在所述轉(zhuǎn)軸上；修面機(jī)，在所述修面機(jī)的一端連接有刀具，所述刀具位于所述銅定盤的上方。
[0005]所述監(jiān)測器為原點(diǎn)傳感器及角度檢測編碼器。
[0006]本實用新型單面研磨機(jī)增加了原點(diǎn)傳感器和角度檢測編碼器，以實現(xiàn)定位定角度功能。每次開槽加工前，讓開槽加工的位置每次都保持相同，減少第一次開槽深度，分?jǐn)?shù)次加工，這樣能夠防止開槽時銅定盤的損傷。
【附圖說明】
[0007]圖1為本實用新型單面研磨機(jī)結(jié)構(gòu)示意圖。
[0008]本實用新型單面研磨機(jī)附圖中附圖標(biāo)記說明:
[0009]1-銅定盤2-轉(zhuǎn)軸 3-原點(diǎn)傳感器
[0010]4_角度檢測編碼器5_修面機(jī) 6_刀具
【具體實施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖對本實用新型單面研磨機(jī)作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0012]如圖1所示，本實用新型單面研磨機(jī)，在銅定盤I旋轉(zhuǎn)軸2上設(shè)置角度檢測編碼器4并同時增加基準(zhǔn)板。在銅定盤I旋轉(zhuǎn)軸2外側(cè)設(shè)置原點(diǎn)傳感器3，感應(yīng)出基準(zhǔn)板位置以定位原點(diǎn)。
[0013]開槽時，讓修面機(jī)5移動到加工開始位置，旋轉(zhuǎn)銅定盤I讓其停在原點(diǎn)位置，。另夕卜，為防止速度波動導(dǎo)致槽距偏差，通過角度檢測編碼器4監(jiān)視銅定盤I速度，必要時調(diào)整修面機(jī)5的送出速度，第一次加工完成后，讓修面機(jī)5和銅定盤I移動到加工開始位置，減小修面機(jī)5的刀具6的加工量，再次開始加工。通過減小單次加工量，重復(fù)以上動作分多次加工的方式，能夠防止損傷并開出較深的溝槽。
[0014]本實用新型單面研磨機(jī)增加了原點(diǎn)傳感器和角度檢測編碼器，以實現(xiàn)定位定角度功能。每次開槽加工前，讓開槽加工的位置每次都保持相同，減少第一次開槽深度，分?jǐn)?shù)次加工，這樣能夠防止開槽時銅定盤的損傷。
[0015]以上已對本實用新型創(chuàng)造的較佳實施例進(jìn)行了具體說明，但本實用新型創(chuàng)造并不限于所述實施例，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不違背本發(fā)明創(chuàng)造精神的前提下還可作出種種的等同的變型或替換，這些等同的變型或替換均包含在本申請權(quán)利要求所限定的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.單面研磨機(jī)，其特征在于，包括: 銅定盤，在所述銅定盤的底部設(shè)有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸與變頻器馬達(dá)連接； 監(jiān)測器，所述監(jiān)測器設(shè)置在所述轉(zhuǎn)軸上； 修面機(jī)，在所述修面機(jī)的一端連接有刀具，所述刀具位于所述銅定盤的上方。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單面研磨機(jī)，其特征在于，所述監(jiān)測器為原點(diǎn)傳感器及角度檢測編碼器。
【專利摘要】本實用新型單面研磨機(jī)，包括：銅定盤，在所述銅定盤的底部設(shè)有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸與變頻器馬達(dá)連接；監(jiān)測器，所述監(jiān)測器設(shè)置在所述轉(zhuǎn)軸上；修面機(jī)，在所述修面機(jī)的一端連接有刀具，所述刀具位于所述銅定盤的上方。所述監(jiān)測器為原點(diǎn)傳感器及角度檢測編碼器。本實用新型單面研磨機(jī)增加了原點(diǎn)傳感器和角度檢測編碼器，以實現(xiàn)定位定角度功能。每次開槽加工前，讓開槽加工的位置每次都保持相同，減少第一次開槽深度，分?jǐn)?shù)次加工，這樣能夠防止開槽時銅定盤的損傷。
【IPC分類】H01L21-67
【公開號】CN204361057
【申請?zhí)枴緾N201420745413
【發(fā)明人】郡司拓, 賀賢漢
【申請人】上海漢虹精密機(jī)械有限公司
【公開日】2015年5月27日
【申請日】2014年12月2日