多探針時序測試點測機的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體測試、LED測試、集成電路測試領域，尤其涉及一種點測機。
【背景技術】
[0002]點測機是一種用于集成電路，LED晶圓，二極管晶圓等半導體電性測試設備。點測機測試電性是半導體制造工藝當中的一個不可或缺的工序，近年來，隨著光電、半導體產業(yè)的迅猛發(fā)展，高集成和高性能的半導體晶圓需求也越來越大，在晶圓大批量生產中，往往在一片晶圓同時制作成百上千個芯片，通過點測機進行晶圓切割前的電性測試。
[0003]隨著技術的發(fā)展，晶圓的尺寸也越來越大，同時一片晶圓內所集成的芯片也越來越多，這就需要更多的測試時間來完成一片晶圓的測試。
[0004]傳統(tǒng)的測試方式是使用I臺點測機+測試儀表，點測機是使用一種X、Y兩軸疊加的方式，上部為X軸組件，下部為Y軸組件，X軸組件上疊加Θ軸軸和Z軸組件，由X軸組件、Y軸組件帶動Θ軸組件做前后左右的移動，由Θ軸組件提供晶圓旋轉，進行對位，Z軸組件負責晶圓上下移動，測試探針組件，晶圓測試時測試探針組件不動，由Z軸上下移動使測試探針組件與晶圓接觸與分離，但是由于傳統(tǒng)點測機測試探針只有一根，故每次機械部分移動結束，只能測試一顆芯片，然后就再次進行機械部分的移動，這就致使整個測試效率比較低下，導致機械部分磨損較大，壽命相對較短。
【實用新型內容】
[0005]本實用新型所要解決的技術問題是提供一種測試效率高、且能夠減小機械部分磨損的多探針時序測試點測機，以克服現有技術存在的不足。
[0006]為解決上述技術問題，本實用新型采用如下技術方案:
[0007]一種多探針時序測試點測機，包括測試探針組件、Y軸組件、設于Y軸組件上的X軸組件、設于X軸組件上的Z軸組件以及設于Z軸組件上的θ軸組件，所述Θ軸組件具有吸盤，其特征在于:其特征在于:所述測試探針組件有多個，分布在所述吸盤四周，所述測試探針組件的測試探針指向所述吸盤。
[0008]所述吸盤上方設有固定板，所述固定板中間具有暴露所述吸盤的洞口，多個所述測試探針組件固定在洞口邊緣。
[0009]所述X軸組件由X軸板和驅動所述X軸板的X軸直線往復驅動機構構成；所述Y軸組件由Y軸板和驅動Y軸板的Y軸直線往復驅動結構構成；所述Y軸板水平設置，所述X軸板水平設置在Y軸板上并與Y軸板垂直。
[0010]所述Z軸組件由Z軸塊和驅動所述Z軸塊的Z軸直線上下驅動機構構成，所述Z軸塊垂直設置在X軸板上。
[0011]所述Θ軸組件由吸盤和驅動所述吸盤自轉的角度調整機構構成，所述Θ軸組件設置在Z軸塊上。
[0012]所述測試探針組件還包括相對于Θ軸組件組件進行上、下、前、后、左、右調節(jié)的運動機構，所述運動機構設置在固定板上，所述測試探針設置在運動機構上。
[0013]所述測試探針組件有2個或者3個或者5個。
[0014]采用上述技術方案，本實用新型進行一次機械移動可以按時序完成晶圓片上多個點的測試，能夠有效地提升設備的產能，減少設備測試移動的次數，延長設備的使用壽命，充分滿足了高效、延長設備使用壽命的目的，市場前景廣闊。
【附圖說明】
[0015]下面結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型進行詳細說明:
[0016]圖1為本實用新型的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0017]如圖1所示，本實施例的多探針時序測試點測機，包括X軸組件101、Y軸組件102、Z軸組件103、Θ軸組件104、固定板100以及測試探針組件110-Α，110-Β(本實施例僅以2點測試為例，但本專利不限制為2點)。:
[0018]X軸組件101由X軸板106和驅動X軸板106的X軸直線往復驅動機構構成，該X軸板106水平設置。
[0019]Y軸組件102與X軸組件101水平垂直結合布置，由Y軸板105和驅動Y軸板的Y軸直線往復驅動機構構成。X軸板106水平設置于Y軸板105上，X軸板106與Y軸板105
相互垂直。
[0020]Z軸組件103垂直于X軸板，由Z軸塊和驅動Z軸塊Z軸直線上下運動機構構成。
[0021]Θ軸組件104由吸盤107和驅動吸盤107自轉的角度調整機構構成。Θ軸組件104設于Z軸組件103的Z軸塊上。
[0022]測試探針組件110-AU10-B由相對于Θ軸組件104進行上、下、前、后、左、右調節(jié)的調節(jié)機構120-Α、120-Β和測試探針121-Α、121-Β構成。
[0023]在吸盤107的上方設有固定板100，該固定板100中間具有暴露吸盤107的圓形洞口。其中，測試探針組件110-AU10-B固定在固定板100的洞口邊緣，測試探針121-Α、121-Β分別固定在調節(jié)結構上120-Α、120-Β，使測試探針相對于Θ軸組件104可做上、下、
前、后、左、右移動。
[0024]可以理解的是，上述X軸直線往復驅動機構、Y軸直線往復驅動機構、Z軸直線上下運動機構可以為滾珠絲桿機構或者直線電機或皮帶傳動機構或直線氣缸機構，角度調整機構可以為電機齒輪機構。
[0025]使用時，晶圓片放置于吸盤107上，可通過Θ軸組件做角度調整，并可在Z軸組件103的帶動下做上下方向的運動，Z軸組件103由固定在X軸板106之上，并由X軸組件101的帶動下做直線前后運動，X軸組件101由固定在Y軸板105之上，并由Y軸組件102的帶動下做直線左右運動，測試探針組件110-AU10-B固定在固定板100之上，并通過運動機構120-Α、120-Β調整好相對Θ軸組件之吸盤107的位置，使得測試探針組件110_Α、110_Β便可相對于晶圓片做上下、左右、前后、旋轉四軸運動，在機械機構移動完成后，由該設備內的控制系統(tǒng)控制測試探針組件110-Α對其對應位置的晶圓片上的芯片的進行測試，測試探針組件110-Α完成測試后，再控制測試組件110-Β對其對應位置的晶圓片上的芯片的進行測試，測試組件IlO-B完成測試后，這樣移動一次就可以實現兩點測試，然后再進行下一輪的機械移動并完成下一輪兩個點的測試。
[0026]本實施例僅以配置兩個測試探針組件，可以理解的是，測試探針組件可以為3個，5個甚至更多。
[0027]由于本實用新型由于采用多組測試探針組件，能夠有效地提升設備的產能，減少設備測試移動的次數，延長設備的使用壽命，充分滿足了高效、延長設備使用壽命的目的，市場前景廣闊。
[0028]以上所述，僅是本實用新型的較佳實施例，并非對本實用新型作任何形式上的限制，任何所屬技術領域中具有通常知識者，若在不脫離本實用新型所提出的權利要求的保護范圍內，利用本實用新型所揭示的技術內容所作出的局部更動或修飾的等效實施例，并且未脫離本實用新型的技術特征內容，均仍屬本實用新型技術特征的范圍內。
【主權項】
1.一種多探針時序測試點測機，包括測試探針組件、Y軸組件、設于Y軸組件上的X軸組件、設于X軸組件上的Z軸組件以及設于Z軸組件上的Θ軸組件，所述Θ軸組件具有吸盤，其特征在于:所述測試探針組件有多個，分布在所述吸盤四周，所述測試探針組件的測試探針指向所述吸盤。
2.根據權利要求1所述的多探針時序測試點測機，其特征在于:所述吸盤上方設有固定板，所述固定板中間具有暴露所述吸盤的洞口，多個所述測試探針組件固定在洞口邊緣。
3.根據權利要求1或2所述的多探針時序測試點測機，其特征在于:所述X軸組件由X軸板和驅動所述X軸板的X軸往復驅動機構構成；所述Y軸組件由Y軸板和驅動Y軸板的Y軸往復驅動結構構成；所述Y軸板水平設置，所述X軸板水平設置在Y軸板上并與Y軸板垂直。
4.根據權利要求3所述的多探針時序測試點測機，其特征在于:所述Z軸組件由Z軸塊和驅動所述Z軸塊的Z軸上下驅動機構構成，所述Z軸塊垂直設置在X軸板上。
5.根據權利要求4所述的多探針時序測試點測機，其特征在于:所述Θ軸組件由吸盤和驅動所述吸盤自轉的角度調整機構構成，所述Θ軸組件設置在Z軸塊上。
6.根據權利要求2所述的多探針時序測試點測機，其特征在于:所述測試探針組件還包括相對于Θ軸組件組件進行上、下、前、后、左、右調節(jié)的運動機構，所述運動機構設置在固定板上，所述測試探針設置在運動機構上。
7.根據權利要求1或2所述的多探針時序測試點測機，其特征在于:所述測試探針組件有2個或者3個或者5個。
【專利摘要】本實用新型公開了一種多探針時序測試點測機，包括測試探針組件、Y軸組件、設于Y軸組件上的X軸組件、設于X軸組件上的Z軸組件以及設于Z軸組件上的θ軸組件，所述θ軸組件具有吸盤，所述測試探針組件有多個，分布在所述吸盤四周，所述測試探針組件的測試探針指向所述吸盤。本實用新型進行一次機械移動可以按時序完成晶圓片上多個點的測試，能夠有效地提升設備的產能，減少設備測試移動的次數，延長設備的使用壽命，充分滿足了高效、延長設備使用壽命的目的，市場前景廣闊。
【IPC分類】H01L21-66
【公開號】CN204361056
【申請?zhí)枴緾N201520043171
【發(fā)明人】丁波, 李軼, 陳瀚, 侯金松
【申請人】上海微世半導體有限公司
【公開日】2015年5月27日
【申請日】2015年1月21日