一種太陽能電池片的生產(chǎn)工藝的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種太陽能電池片的生產(chǎn)工藝,其特征在于,包括以下步驟:硅片的檢測、表面制絨、清洗、擴散制結、去磷硅玻璃、等離子刻蝕、鍍減反射膜、絲網(wǎng)印刷、燒結和鍍反射膜,本發(fā)明通過采用特殊的表面制絨、擴散制結的生產(chǎn)工藝,從而增加了太陽能電池片的光能利用率;本發(fā)明還通過增加了背面鍍反射膜工藝,從而使透過太陽能電池片的光線,重新被二次利用,進而增加了太陽能電池片的光能利用率。
【專利說明】
一種太陽能電池片的生產(chǎn)工藝
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及太陽能電池的領域,特別是一種太陽能電池片的生產(chǎn)工藝的技術領域。
【【背景技術】】
[0002]太陽能是人類取之不盡用之不竭的可再生能源,也是清潔能源,不產(chǎn)生任何的環(huán)境污染。在太陽能的有效利用當中;大陽能光電利用是近些年來發(fā)展最快,最具活力的研究領域,是其中最受矚目的項目之一。為此,人們研制和開發(fā)了太陽能電池。制作太陽能電池主要是以半導體材料為基礎,其工作原理是利用光電材料吸收光能后發(fā)生光電于轉換反應,太陽電池是將太陽光能直接轉換為電能的半導體器件,太陽能電池片的是太陽能電池的重要組成部分,太陽能電池片一般分為單晶電池片和多晶電池片兩種,由于太陽能電池片的生產(chǎn)工藝的不足,現(xiàn)有太陽能電池片一般光能利用率都較差。
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【發(fā)明內容】
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[0003]本發(fā)明針對現(xiàn)有技術存在的上述不足,本發(fā)明提出了一種太陽能電池片的生產(chǎn)工藝,本發(fā)明通過采用特殊的生產(chǎn)工藝,從而大大提高了太陽能電池片的光能利用率。
[0004]為了實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提出了一種太陽能電池片的生產(chǎn)工藝,其特征在于,包括以下步驟:
[0005]a)硅片的檢測:首先來料硅片的表面不平整度、少子壽命、電阻率、P/N型和微裂紋進行檢測;
[0006]b)表面制絨:將步驟a)檢測合格的硅片放入制絨溶液中,進行表面腐蝕制絨;
[0007]c)清洗:將步驟b)表面制絨后的硅片放入HCl和HF的混合溶液中進行清洗;
[0008]d)擴散制結:將步驟c)清洗后的硅片放入擴散爐中進行擴散制結;
[0009]e)去磷硅玻璃:將步驟d)擴散制結后的硅片,放入HF酸中浸泡,以去除擴散制結后在娃片表面形成的一層磷娃玻璃;
[0010]f)等離子刻蝕:將步驟e)處理過后的硅片,進行等離子刻蝕處理,以去除硅片邊緣的PN結;
[0011]g)鍍減反射膜:將步驟f)等離子刻蝕處理后的硅片,在PECVD設備上,鍍一層減反射膜;
[0012]h)絲網(wǎng)印刷:將步驟g)做鍍減反射膜處理后的硅片,在絲網(wǎng)印刷上制備正負電機;
[0013]i)燒結:將步驟h)絲網(wǎng)印刷后的硅片,放入燒結爐中做燒結處理,從而得到粗制太陽能電池片;
[0014]j)鍍反射膜:將步驟i)粗制太陽能電池片的背面電極的一面,鍍一層銀反射膜,并淋層保護漆,從而得到太陽能電池片。
[0015]作為優(yōu)選,所述步驟b)的制絨溶液,在制造單晶太陽能電池片時,采用的是NaOH、Na2Si03、IPA的混合溶液,在制造多晶太陽能電池片時,采用的是HN03和HF的混合溶液。
[0016]作為優(yōu)選,所述步驟b)的腐蝕制絨的制絨溫度為70°C-80°C,所述步驟d)擴散制結時的溫度為850°C-900°C。
[0017]作為優(yōu)選,所述步驟g)鍍減反射膜的厚度為70nm-75nm,所述步驟d)擴散制結中,采用的擴散源為P0C13。
[0018]本發(fā)明的有益結果:本發(fā)明通過采用特殊的表面制絨、擴散制結的生產(chǎn)工藝,從而增加了太陽能電池片的光能利用率;本發(fā)明還通過增加了背面鍍反射膜工藝,從而使透過太陽能電池片的光線,重新被二次利用,進而增加了太陽能電池片的光能利用率。
【【具體實施方式】】
[0019]本發(fā)明提出了一種太陽能電池片的生產(chǎn)工藝,其特征在于,包括以下步驟:
[0020]a)硅片的檢測:首先來料硅片的表面不平整度、少子壽命、電阻率、P/N型和微裂紋進行檢測;b)表面制絨:將步驟a)檢測合格的硅片放入制絨溶液中,進行表面腐蝕制絨;c)清洗:將步驟b)表面制絨后的硅片放入HCl和HF的混合溶液中進行清洗;d)擴散制結:將步驟c)清洗后的硅片放入擴散爐中進行擴散制結;e)去磷硅玻璃:將步驟d)擴散制結后的硅片,放入HF酸中浸泡,以去除擴散制結后在硅片表面形成的一層磷硅玻璃;f)等離子刻蝕:將步驟e)處理過后的硅片,進行等離子刻蝕處理,以去除硅片邊緣的PN結;g)鍍減反射膜:將步驟f)等離子刻蝕處理后的硅片,在PECVD設備上,鍍一層減反射膜;h)絲網(wǎng)印刷:將步驟
g)做鍍減反射膜處理后的硅片,在絲網(wǎng)印刷上制備正負電機;i)燒結:將步驟h)絲網(wǎng)印刷后的硅片,放入燒結爐中做燒結處理,從而得到粗制太陽能電池片;j)鍍反射膜:將步驟i)粗制太陽能電池片的背面電極的一面,鍍一層銀反射膜,并淋層保護漆,從而得到太陽能電池片,所述步驟b)的制絨溶液,在制造單晶太陽能電池片時,采用的是Na0H、Na2Si03、IPA的混合溶液,在制造多晶太陽能電池片時,采用的是HN03和HF的混合溶液,所述步驟b)的腐蝕制絨的制絨溫度為70 0C-80 0C,所述步驟d)擴散制結時的溫度為850 V-900 V,所述步驟g)鍍減反射膜的厚度為70nm-75nm,所述步驟d)擴散制結中,采用的擴散源為P0C13。
[0021]本發(fā)明通過采用特殊的表面制絨、擴散制結的生產(chǎn)工藝,從而增加了太陽能電池片的光能利用率;本發(fā)明還通過增加了背面鍍反射膜工藝,從而使透過太陽能電池片的光線,重新被二次利用,進而增加了太陽能電池片的光能利用率。
[0022]上述實施例是對本發(fā)明的說明,不是對本發(fā)明的限定,任何對本發(fā)明簡單變換后的方案均屬于本發(fā)明的保護范圍。
【主權項】
1.一種太陽能電池片的生產(chǎn)工藝,其特征在于,包括以下步驟: a)硅片的檢測:首先來料硅片的表面不平整度、少子壽命、電阻率、P/N型和微裂紋進行檢測; b)表面制絨:將步驟a)檢測合格的硅片放入制絨溶液中,進行表面腐蝕制絨; c)清洗:將步驟b)表面制絨后的硅片放入HCl和HF的混合溶液中進行清洗; d)擴散制結:將步驟c)清洗后的硅片放入擴散爐中進行擴散制結; e)去磷硅玻璃:將步驟d)擴散制結后的硅片,放入HF酸中浸泡,以去除擴散制結后在硅片表面形成的一層磷娃玻璃; f)等離子刻蝕:將步驟e)處理過后的硅片,進行等離子刻蝕處理,以去除硅片邊緣的PN結; g)鍍減反射膜:將步驟f)等離子刻蝕處理后的硅片,在PECVD設備上,鍍一層減反射膜; h)絲網(wǎng)印刷:將步驟g)做鍍減反射膜處理后的硅片,在絲網(wǎng)印刷上制備正負電機; i)燒結:將步驟h)絲網(wǎng)印刷后的硅片,放入燒結爐中做燒結處理,從而得到粗制太陽能電池片; j)鍍反射膜:將步驟i)粗制太陽能電池片的背面電極的一面,鍍一層銀反射膜,并淋層保護漆,從而得到太陽能電池片。2.權利要求1所述一種太陽能電池片的生產(chǎn)工藝,其特征在于:所述步驟b)的制絨溶液,在制造單晶太陽能電池片時,采用的是Na0H、Na2Si03、IPA的混合溶液,在制造多晶太陽能電池片時,采用的是HN03和HF的混合溶液。3.權利要求1所述一種太陽能電池片的生產(chǎn)工藝,其特征在于:所述步驟b)的腐蝕制絨的制絨溫度為70°C_80°C,所述步驟d)擴散制結時的溫度為850°C-900°C。4.權利要求1所述一種太陽能電池片的生產(chǎn)工藝,其特征在于:所述步驟g)鍍減反射膜的厚度為70nm-75nm,所述步驟d)擴散制結中,采用的擴散源為P0C13。
【文檔編號】H01L31/056GK106098860SQ201610739116
【公開日】2016年11月9日
【申請日】2016年8月27日
【發(fā)明人】趙華飛
【申請人】浙江中晶新能源有限公司