一種柔性顯示面板及其制作方法和柔性顯示裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種柔性顯示面板及其制作方法和柔性顯示裝置，該制作方法包括：提供一剛性承載基底；在剛性承載基底上形成切割線結(jié)構(gòu)，每一切割線結(jié)構(gòu)圍成一閉合區(qū)域，該閉合區(qū)域中用于設(shè)置至少一個子面板；在剛性承載基底上形成柔性基底；在柔性基底上形成顯示器件膜層和保護膜層；其中，該切割線結(jié)構(gòu)能夠?qū)碜杂趧傂猿休d基底一側(cè)的平行光線匯聚到柔性基底的與切割線結(jié)構(gòu)對應(yīng)的區(qū)域上。從而在采用激光照射方式將柔性基底從剛性承載基板上剝離時，由于切割線結(jié)構(gòu)對激光的匯聚作用，切割線結(jié)構(gòu)對應(yīng)處的能量要遠高于其他位置，因而可以同時將柔性顯示面板切割成多個子面板，即，剝離工藝和切割工藝在一個工序中完成，降低了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率。
【專利說明】
一種柔性顯示面板及其制作方法和柔性顯示裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種柔性顯示面板及其制作方法和柔性顯示 裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 柔性顯示是下一代顯示技術(shù)的重要發(fā)展方向，柔性顯示器件具有可彎曲、不易碎、 超輕超薄、低功耗、便攜等特點，在電子書、移動通信設(shè)備、筆記本、電視、公共信息顯示等領(lǐng) 域具有廣闊的應(yīng)用前景和良好的發(fā)展預期。
[0003] 目前柔性顯示器件的制備方法通常是將柔性基底通過某種方式貼附在剛性承載 基底上，例如：通過粘結(jié)劑、犧牲層、涂覆（coating)等，然后在柔性基底上制備顯示器件 (0LED/LCD/PLED)和保護膜層，完成后通過激光照射的方法將柔性顯示面板與剛性承載基 底分離，最后對分離后的柔性顯示面板進行刀具切割，后段模組組裝，形成最終的顯示器 件。
[0004] 激光照射(Laser Lift-Off)剝離柔性顯示面板的原理是用特定波長的激光來照 射柔性基底與剛性承載基板的分界面，其分界面上的柔性基底分子吸收激光能量，產(chǎn)生分 子斷鍵，既而與剛性承載基底分離。剝離下來的柔性顯示面板要進行切割工藝，即將大面板 切割成小面板，然后進行后段模組組裝。由于激光剝離后的柔性顯示面板成為軟性的，極易 彎曲，在搬送到激光切割或者刀具切割設(shè)備的過程中，只能采用特定的承載盤承載，這無疑 增加了生產(chǎn)成本。而且，在采用刀具切割時，柔性顯示面板上的保護膜層(例如無機阻隔膜 層)在刀具切割過程中，會因為刀具極高的下切壓力，發(fā)生破裂，既而影響最終柔性顯示元 件的特性。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005] 有鑒于此，本發(fā)明提供一種柔性顯示面板及其制作方法和切割方法，用于解決現(xiàn) 有的柔性顯示面板在制作過程中，剝離工藝和切割工藝分開進行而造成的成本高，生產(chǎn)效 率低的問題。
[0006] 為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種柔性顯示面板的制作方法，包括：
[0007] 提供一剛性承載基底；
[0008] 在所述剛性承載基底上形成切割線結(jié)構(gòu)，每一所述切割線結(jié)構(gòu)圍成一閉合區(qū)域， 所述閉合區(qū)域中用于設(shè)置至少一個子面板；
[0009] 在所述剛性承載基底上形成柔性基底；
[0010]在所述柔性基底上形成顯示器件膜層和保護膜層；
[0011] 其中，所述切割線結(jié)構(gòu)能夠?qū)碜杂谒鰟傂猿休d基底一側(cè)的平行光線匯聚到所 述柔性基底的與所述切割線結(jié)構(gòu)對應(yīng)的區(qū)域上。
[0012] 優(yōu)選地，所述柔性顯示面板的制作方法還包括：
[0013] 采用激光從所述剛性承載基底一側(cè)照射所述柔性顯示面板，使得所述柔性基底從 所述剛性承載基板上剝離，同時，所述剛性承載基底上的切割線結(jié)構(gòu)將對應(yīng)位置處的激光 匯聚到所述柔性基底的與所述切割線結(jié)構(gòu)對應(yīng)的區(qū)域上，使得所述柔性顯示面板沿所述切 割線結(jié)構(gòu)被切割成多個子面板。
[0014] 優(yōu)選地，所述激光為準分子激光。
[0015] 優(yōu)選地，所述激光的波長為308nm，能量為300~700MJ，頻率為200~300HZ。
[0016] 優(yōu)選地，所述在所述剛性承載基底上形成切割線結(jié)構(gòu)包括：
[0017] 在所述剛性承載基底的表面形成凹槽結(jié)構(gòu)，每一所述凹槽結(jié)構(gòu)圍成一閉合區(qū)域， 所述閉合區(qū)域中用于設(shè)置至少一個子面板，所述凹槽結(jié)構(gòu)的內(nèi)壁為弧面；
[0018]在所述凹槽結(jié)構(gòu)中形成填充結(jié)構(gòu)，所述填充結(jié)構(gòu)的折射率大于所述剛性承載基底 的折射率，所述凹槽結(jié)構(gòu)與所述填充結(jié)構(gòu)構(gòu)成所述切割線結(jié)構(gòu)。
[0019] 優(yōu)選地，采用光刻工藝在所述剛性承載基底的表面形成所述凹槽結(jié)構(gòu)。
[0020] 優(yōu)選地，所述凹槽結(jié)構(gòu)的弧面的半徑滿足以下條件：
其中，r為所述凹 槽結(jié)構(gòu)的弧面的半徑，f為所述弧面距離所述切割線結(jié)構(gòu)的光線匯聚點的距離，m為所述填 充結(jié)構(gòu)的折射率，n2為所述剛性承載基底采的折射率。
[0021] 優(yōu)選地，所述填充結(jié)構(gòu)為光學增透膜。
[0022] 優(yōu)選地，所述填充結(jié)構(gòu)采用硅的氮化物和/或硅的氧化物形成。
[0023]本發(fā)明還提供一種柔性顯示面板，采用上述方法制備。
[0024]本發(fā)明還提供一種柔性顯示裝置，包括上述柔性顯示面板。
[0025] 本發(fā)明的上述技術(shù)方案的有益效果如下：
[0026] 在剛性承載基底上形成具有光線匯聚作用的切割線結(jié)構(gòu)，當采用激光照射方式將 柔性基底從剛性承載基板上剝離時，由于切割線結(jié)構(gòu)對激光的匯聚作用，切割線結(jié)構(gòu)對應(yīng) 處的能量要遠高于其他位置，因而可以同時將柔性顯示面板切割成多個子面板，即，剝離工 藝和切割工藝在一個工序中完成，降低了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率。
【附圖說明】
[0027]圖1-圖5為本發(fā)明實施例的柔性顯示面板的制作方法流程示意圖；
[0028]圖6為圖2中的柔性顯示面板的俯視圖；
[0029] 圖7為圖5中的柔性顯示面板的局部放大示意圖。
【具體實施方式】
[0030] 下面將結(jié)合附圖和實施例，對本發(fā)明的【具體實施方式】作進一步詳細描述。以下實 施例用于說明本發(fā)明，但不用來限制本發(fā)明的范圍。
[0031] 請參考圖1-圖6,本發(fā)明實施例提供一種柔性顯示面板的制作方法，包括以下步 驟：
[0032]步驟S11:請參考圖1，提供一剛性承載基底101;
[0033] 所述剛性承載基底101可以為玻璃基底、陶瓷基底或者其他類型的剛性基底。
[0034] 步驟S12:請同時參考圖2和圖6,在所述剛性承載基底101上形成切割線結(jié)構(gòu)1011， 每一所述切割線結(jié)構(gòu)1011圍成一閉合區(qū)域，所述閉合區(qū)域中用于設(shè)置至少一個子面板;其 中，所述切割線結(jié)構(gòu)1011能夠?qū)碜杂谒鰟傂猿休d基底101-側(cè)的平行光線匯聚到所述 柔性顯示面板的柔性基底的與所述切割線結(jié)構(gòu)1011對應(yīng)的區(qū)域上。
[0035] 通常情況下，每一切割線結(jié)構(gòu)1011圍成的一個閉合區(qū)域中設(shè)置一個子面板。
[0036] 步驟S13:請參考圖3，在所述剛性承載基底101上形成柔性基底102;
[0037]步驟S14:請參考圖4,在所述柔性基底102上形成顯示器件膜層103和保護膜層 104〇
[0038] 通過上述方法可以制備未進行剝離工藝和切割工藝的柔性顯示面板。
[0039]后續(xù)制作工藝中，還需要將柔性顯示面板從剛性承載基板上剝離，以及將柔性顯 示面板切割成多個子面板，因而，請參考圖5,本發(fā)明實施例的柔性顯示面板的制作方法還 可以包括：
[0040] 步驟S15:采用激光200從所述剛性承載基底101-側(cè)照射所述柔性顯示面板，使得 所述柔性基底102從所述剛性承載基板101上剝離，同時，所述剛性承載基底101上的切割線 結(jié)構(gòu)1 〇 11將對應(yīng)位置處的激光匯聚到所述柔性基底102的與所述切割線結(jié)構(gòu)1011對應(yīng)的區(qū) 域上，使得所述柔性顯示面板沿所述切割線結(jié)構(gòu)1011被切割成多個子面板。
[0041] 通過上述方法，當采用激光從剛性承載基底101的一側(cè)照射所述柔性顯示面板時， 可以將柔性顯示面板從剛性承載基板101上剝離，同時，所述剛性承載基底101上的切割線 結(jié)構(gòu)1011可以將激光匯聚到所述柔性基底102的與所述切割線結(jié)構(gòu)1011對應(yīng)的區(qū)域上，因 而使得切割線結(jié)構(gòu)1011所在位置處的能量遠高于其他位置，柔性顯示面板在高能量的作用 下，會發(fā)生分解，從而可以將柔性顯示面板切割成多個子面板，即，本發(fā)明實施例中，將剝離 工藝和切割工藝合并，在一個工序里完成，從而大大節(jié)省了工藝時間，降低了生產(chǎn)成本，提 高了生產(chǎn)效率。同時，由于采用光線切割工藝切割柔性顯示面板，還可以避免因刀具切割造 成的柔性顯示面板的破損，提高了柔性顯示面板的制作良率。
[0042] 在本發(fā)明的一優(yōu)選實施例中，采用的激光可以為準分子激光。
[0043] 進一步優(yōu)選地，所述激光的波長為308nm，能量為300~700MJ，頻率為200~300HZ。
[0044] 上述實施例中提到剛性承載基底101上的切割線結(jié)構(gòu)1011具有匯聚光線的作用， 其結(jié)構(gòu)可以為多種類型，只要能夠?qū)碜杂趧傂猿休d基底101-側(cè)的平行光線匯聚到柔性 基底102的與所述切割線結(jié)構(gòu)1011對應(yīng)的區(qū)域上即可。
[0045] 下面舉例對切割線結(jié)構(gòu)1011的具體結(jié)構(gòu)及其制作方法進行說明。
[0046] 請參考圖7,本發(fā)明實施例的切割線結(jié)構(gòu)1011包括:開設(shè)于所述切割線結(jié)構(gòu)101上 的凹槽結(jié)構(gòu)301和填充于所述凹槽結(jié)構(gòu)301中的填充結(jié)構(gòu)302。
[0047] 所述凹槽結(jié)構(gòu)301圍成一閉合區(qū)域，所述閉合區(qū)域中用于設(shè)置至少一個子面板，所 述凹槽結(jié)構(gòu)301的內(nèi)壁為弧面。所述弧面可以為球形的一部分，也可以為拋物線弧面等類型 的弧面。在本發(fā)明的一優(yōu)選實施例中，所述弧面為球形的一部分，所述球形的半徑可以為λ/ 4，λ為激光照射工藝中采用的激光的波長。
[0048] 所述填充結(jié)構(gòu)302的折射率大于所述剛性承載基底101的折射率。優(yōu)選地，所述填 充結(jié)構(gòu)302為光學增透膜，其材質(zhì)要求對激光照射工藝中采用的激光具有較好的透射效果， 且其對光線吸收系數(shù)小于預設(shè)閾值，優(yōu)選地，所述填充結(jié)構(gòu)302采用硅的氮化物和/或硅的 氧化物形成。
[0049] 該填充結(jié)構(gòu)302可以為單層結(jié)構(gòu)，也可以為多層結(jié)構(gòu)，優(yōu)選地，厚度正好填滿所述 凹槽結(jié)構(gòu)301。
[0050] 所述凹槽結(jié)構(gòu)的弧面的半徑滿足以下條件 -其中，r為所述凹槽結(jié)構(gòu) ， 的弧面的半徑，f為所述弧面距離所述切割線結(jié)構(gòu)的光線匯聚點的距離，m為所述填充結(jié)構(gòu) 的折射率，n2為所述剛性承載基底采的折射率。
[0051] 由于所述填充結(jié)構(gòu)302的折射率大于所述剛性承載基底101的折射率，因而，光線 從光疏介質(zhì)（剛性承載基底101)射入到光密介質(zhì)(填充結(jié)構(gòu)302)時，會發(fā)生折射，改變傳播 方向，配合凹槽結(jié)構(gòu)301，可以使得平行光發(fā)生匯聚現(xiàn)象。
[0052] 上述結(jié)構(gòu)可以使得在切割線結(jié)構(gòu)1011的弧面表面(上表面)及切割線結(jié)構(gòu)與柔性 基底接觸的表面(下表面)的激光光程差為激光波長一半的奇數(shù)倍，從而上下表面的反射光 發(fā)生干涉相互抵消將激光能量全部聚焦到中心點處，達到切割柔性顯示面板的目的。
[0053]上述切割線結(jié)構(gòu)1011的形成步驟可以包括：
[0054]步驟S121:在所述剛性承載基底101的表面形成凹槽結(jié)構(gòu)301，
[0055]具體的，可以通過采用光刻工藝在所述剛性承載基底101的表面形成所述凹槽結(jié) 構(gòu) 301。
[0056]當剛性承載基底101為玻璃基底時，可以通過曝光、顯影以及干法刻蝕的工藝制作 所述凹槽結(jié)構(gòu)301。
[0057]步驟S122:在所述凹槽結(jié)構(gòu)301中形成填充結(jié)構(gòu)302。
[0058]本發(fā)明實施例還提供一種柔性顯示面板，采用上述的方法制備而成。
[0059]本發(fā)明實施例還提供一種柔性顯示裝置，包括上述柔性顯示面板。
[0060]以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員 來說，在不脫離本發(fā)明所述原理的前提下，還可以作出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也 應(yīng)視為本發(fā)明的保護范圍。
【主權(quán)項】
1. 一種柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，包括： 提供一剛性承載基底； 在所述剛性承載基底上形成切割線結(jié)構(gòu)，每一所述切割線結(jié)構(gòu)圍成一閉合區(qū)域，所述 閉合區(qū)域中用于設(shè)置至少一個子面板； 在所述剛性承載基底上形成柔性基底； 在所述柔性基底上形成顯示器件膜層和保護膜層； 其中，所述切割線結(jié)構(gòu)能夠?qū)碜杂谒鰟傂猿休d基底一側(cè)的平行光線匯聚到所述柔 性基底的與所述切割線結(jié)構(gòu)對應(yīng)的區(qū)域上。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，還包括： 采用激光從所述剛性承載基底一側(cè)照射所述柔性顯示面板，使得所述柔性基底從所述 剛性承載基板上剝離，同時，所述剛性承載基底上的切割線結(jié)構(gòu)將對應(yīng)位置處的激光匯聚 到所述柔性基底的與所述切割線結(jié)構(gòu)對應(yīng)的區(qū)域上，使得所述柔性顯示面板沿所述切割線 結(jié)構(gòu)被切割成多個子面板。3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，所述激光為準分子激 光。4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，所述激光的波長為 308nm，能量為300~700MJ，頻率為200~300HZ。5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，所述在所述剛性承載 基底上形成切割線結(jié)構(gòu)包括： 在所述剛性承載基底的表面形成凹槽結(jié)構(gòu)，每一所述凹槽結(jié)構(gòu)圍成一閉合區(qū)域，所述 閉合區(qū)域中用于設(shè)置至少一個子面板，所述凹槽結(jié)構(gòu)的內(nèi)壁為弧面； 在所述凹槽結(jié)構(gòu)中形成填充結(jié)構(gòu)，所述填充結(jié)構(gòu)的折射率大于所述剛性承載基底的折 射率，所述凹槽結(jié)構(gòu)與所述填充結(jié)構(gòu)構(gòu)成所述切割線結(jié)構(gòu)。6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，采用光刻工藝在所述 剛性承載基底的表面形成所述凹槽結(jié)構(gòu)。7. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，所述凹槽結(jié)構(gòu)的弧面 的半徑滿足以下條件J = 其中，r為所述凹槽結(jié)構(gòu)的弧面的半徑，f為所述弧面距 > 離所述切割線結(jié)構(gòu)的光線匯聚點的距離，m為所述填充結(jié)構(gòu)的折射率，n2為所述剛性承載基 底采的折射率。8. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，所述填充結(jié)構(gòu)為光學 增透膜。9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，所述填充結(jié)構(gòu)采用硅 的氮化物和/或硅的氧化物形成。10. -種柔性顯示面板，其特征在于，采用如權(quán)利要求1-9任一項所述的方法制備。11. 一種柔性顯示裝置，其特征在于，包括如權(quán)利要求10所述的柔性顯示面板。
【文檔編號】H01L51/56GK106024704SQ201610364506
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年5月27日
【發(fā)明人】高濤
【申請人】京東方科技集團股份有限公司