異常機臺的檢測方法和檢測設備的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種異常機臺的檢測方法和檢測設備。其中，該方法包括：接收晶圓抽取設備發(fā)送的對應至少兩臺機臺的抽取順序信息，其中，該至少兩臺機臺分別對應不同的抽取順序信息；在該晶圓按照該抽取順序信息依次通過該至少兩臺機臺的腔體后，根據該抽取順序信息獲取該至少兩個機臺的腔體對應的晶圓在該FOUP中的第一編號；在該晶圓通過全部機臺后，獲取缺陷晶圓在該FOUP中對應的第二編號；根據該第二編號與第一編號的對應關系確定該至少兩個機臺中異常的機臺的腔體。通過本發(fā)明，解決了無法精確確認異常機臺的問題，實現(xiàn)了精確確認發(fā)生異常的機臺的腔體的效果。
【專利說明】
異常機臺的檢測方法和檢測設備
技術領域
[0001]本發(fā)明涉及晶圓制造領域，具體而言，涉及一種異常機臺的檢測方法和檢測設備。
【背景技術】
[0002]晶圓缺陷有的是在晶圓工藝過程中，由于溫度、壓力、介質組分濃度，工藝機臺，操作人員，工廠環(huán)境等變化而引起的；有的則是在晶體形成后，由于質點的熱運動或受應力作用而產生，它們可以在晶格內迀移，以至消失，同時又可有新的缺陷產生，從而造成晶圓的低良率。
[0003]現(xiàn)有技術中，為了檢測出造成缺陷晶圓的機臺，會將只通過該缺陷晶圓的腔體對應的機臺找出來，但是，采用這種方式往往會找出很多機臺，而無法進一步確認是哪一個機臺異常。
[0004]針對上述的無法精確確認異常機臺的問題，目前尚未提出有效的解決方案。

【發(fā)明內容】

[0005]本發(fā)明實施例提供了一種異常機臺的檢測方法和檢測設備，從而精確地確認發(fā)生異常的機臺的腔體。
[0006]根據本發(fā)明實施例的一個方面，提供了一種異常機臺的檢測方法，包括:接收晶圓抽取設備發(fā)送的對應至少兩臺機臺的抽取順序信息，其中，所述抽取順序信息包括所述晶圓抽取設備在晶圓盒FOUP中根據FOUP編號依次抽取晶圓的順序，所述至少兩臺機臺分別對應不同的抽取順序信息；在所述晶圓按照所述抽取順序信息依次通過所述至少兩臺機臺的腔體后，根據所述抽取順序信息獲取所述至少兩個機臺的腔體對應的晶圓在所述FOUP中的第一編號；在所述晶圓通過全部機臺后，獲取缺陷晶圓在所述FOUP中對應的第二編號；根據所述第二編號與第一編號的對應關系確定所述至少兩個機臺中異常的機臺的腔體。
[0007]可選地，在所述至少兩個機臺包括至少兩個腔體時，所述根據所述第二編號與第一編號的對應關系確定所述至少兩個機臺中異常的機臺的腔體包括:在所述第一編號與所述第二編號相同時，確定所述第一編號對應的機臺的腔體異常。
[0008]可選地，在所述至少兩個機臺包括一個腔體時，所述根據所述第二編號與第一編號的對應關系確定所述至少兩個機臺中異常的機臺的腔體包括:在所述第二編號包含在所述第一編號中且所述第二編號在所述第一編號中對應的編號為連續(xù)編號，確定所述第一編號對應的機臺的腔體異常。
[0009]可選地，所述接收晶圓抽取設備發(fā)送的對應至少兩臺機臺的抽取順序信息包括:接收晶圓抽取設備對應所述至少兩臺機臺中的第一機臺發(fā)送的第一抽取順序信息；在所述晶圓按照所述第一抽取順序信息依次通過所述第一機臺后且所述晶圓抽取設備按照所述FOUP編號重新將所述晶圓放置在所述FOUP中時，接收晶圓抽取設備對應所述至少兩臺機臺中的第二機臺發(fā)送的第二抽取順序信息。
[0010]可選地，在所述確定所述第一編號對應的機臺的腔體異常后，所述方法還包括:發(fā)出提示消息并展示所述第一編號對應的機臺的標識信息。
[0011]根據本發(fā)明實施例的另一方面，還提供了一種檢測設備，包括:接收單元，用于接收晶圓抽取設備發(fā)送的對應至少兩臺機臺的抽取順序信息，其中，所述抽取順序信息包括所述晶圓抽取設備在晶圓盒FOUP中根據FOUP編號依次抽取晶圓的順序，所述至少兩臺機臺分別對應不同的抽取順序信息；獲取單元，在所述晶圓按照所述抽取順序信息依次通過所述至少兩臺機臺的腔體后，根據所述接收單元接收的所述抽取順序信息獲取所述至少兩個機臺的腔體對應的晶圓在所述FOUP中的第一編號，在所述晶圓通過全部機臺后，獲取缺陷晶圓在所述FOUP中對應的第二編號；確定單元，用于根據所述獲取單元獲取的第二編號與第一編號的對應關系確定所述至少兩個機臺中異常的機臺的腔體。
[0012]可選地，所述確定單元還包括:第一確定模塊，用于若所述至少兩個機臺包括至少兩個腔體，在所述第一編號與所述第二編號相同時，確定所述第一編號對應的機臺的腔體異常。
[0013]可選地，所述確定單元還包括:第二確定模塊，用于若所述至少兩個機臺包括一個腔體，在所述第二編號包含在所述第一編號中且所述第二編號在所述第一編號中對應的編號為連續(xù)編號，確定所述第一編號對應的機臺的腔體異常。
[0014]可選地，所述接收單元包括:第一接收模塊，用于接收晶圓抽取設備對應所述至少兩臺機臺中的第一機臺發(fā)送的第一抽取順序信息；第二接收模塊，用于在所述晶圓按照所述第一接收模塊接收的第一抽取順序信息依次通過所述第一機臺后且所述晶圓抽取設備按照所述FOUP編號重新將所述晶圓放置在所述FOUP中時，接收晶圓抽取設備對應所述至少兩臺機臺中的第二機臺發(fā)送的第二抽取順序信息。
[0015]可選地，所述裝置還包括:提示單元，用于在所述確定單元確定所述第一編號對應的機臺的腔體異常后，發(fā)出提示消息并展示所述第一編號對應的機臺的標識信息。
[0016]在本發(fā)明實施例中，檢測設備接收晶圓抽取設備發(fā)送的對應至少兩臺機臺的抽取順序信息，并根據該抽取順序信息獲取該至少兩個機臺的腔體對應的晶圓在該FOUP中的第一編號，在該晶圓通過全部機臺后，獲取缺陷晶圓在該FOUP中對應的第二編號，根據該第二編號與第一編號的對應關系確定該至少兩個機臺中異常的機臺的腔體，這樣，由于不同的機臺采用不同的順序抽取晶圓，從而能夠根據缺陷晶圓的編號準確的找到異常機臺的腔體。通過本發(fā)明，解決了無法精確確認異常機臺的問題，實現(xiàn)了精確確認發(fā)生異常的機臺的腔體的效果。
【附圖說明】
[0017]此處所說明的附圖用來提供對本發(fā)明的進一步理解，構成本申請的一部分，本發(fā)明的示意性實施例及其說明用于解釋本發(fā)明，并不構成對本發(fā)明的不當限定。在附圖中:
[0018]圖1是根據本發(fā)明實施例的一種異常機臺的檢測方法的流程示意圖；
[0019]圖2是根據本發(fā)明實施例的一種異常機臺的檢測設備的結構示意圖；
[0020]圖3是根據本發(fā)明實施例的一種可選的異常機臺的檢測設備的結構示意圖；
[0021]圖4是根據本發(fā)明實施例的另一種可選的異常機臺的檢測設備的結構示意圖；
[0022]圖5是根據本發(fā)明實施例的第三種可選的異常機臺的檢測設備的結構示意圖；
[0023]圖6是根據本發(fā)明實施例的第四種可選的異常機臺的檢測設備的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0024]為了使本技術領域的人員更好地理解本發(fā)明方案，下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分的實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都應當屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0025]需要說明的是，本發(fā)明的說明書和權利要求書及上述附圖中的術語“第一”、“第二”等是用于區(qū)別類似的對象，而不必用于描述特定的順序或先后次序。應該理解這樣使用的數據在適當情況下可以互換，以便這里描述的本發(fā)明的實施例能夠以除了在這里圖示或描述的那些以外的順序實施。此外，術語“包括”和“具有”以及他們的任何變形，意圖在于覆蓋不排他的包含，例如，包含了一系列步驟或單元的過程、方法、系統(tǒng)、產品或設備不必限于清楚地列出的那些步驟或單元，而是可包括沒有清楚地列出的或對于這些過程、方法、產品或設備固有的其它步驟或單元。
[0026]根據本發(fā)明實施例提供一種異常機臺的檢測方法，如圖1所示，本發(fā)明的執(zhí)行主體可以是異常機臺的檢測設備，該方法可以包括:
[0027]步驟S101、接收晶圓抽取設備發(fā)送的對應至少兩臺機臺的抽取順序信息。
[0028]其中，該抽取順序信息包括該晶圓抽取設備在晶圓盒FOUP中根據FOUP編號依次抽取該晶圓的順序，該至少兩臺機臺分別對應不同的抽取順序信息。
[0029]需要說明的是，該抽取順序信息可以預先通過控制系統(tǒng)進行設置，該控制系統(tǒng)將設置好的抽取順序信息下發(fā)至對應機臺的晶圓抽取設備，晶圓抽取設備則根據該抽取順序信息抽取通過該機臺的晶圓。
[0030]可選地，接收晶圓抽取設備對應該至少兩臺機臺中的第一機臺發(fā)送的第一抽取順序信息。
[0031]在該晶圓按照該第一抽取順序信息依次通過該第一機臺后且該晶圓抽取設備按照該FOUP編號重新將該晶圓放置在該FOUP中時，接收晶圓抽取設備對應該至少兩臺機臺中的第二機臺發(fā)送的第二抽取順序信息。
[0032]這樣，在FOUP中的全部晶圓通過一個機臺后，晶圓抽取設備將晶圓重新按照FOUP編號放入FOUP中，保證了晶圓在通過不同機臺時對應不同的抽取順序。
[0033]步驟S103、在該晶圓按照該抽取順序信息依次通過該至少兩臺機臺的腔體后，根據該抽取順序信息獲取該至少兩個機臺的腔體對應的晶圓在該FOUP中的第一編號。
[0034]其中，在該至少兩個機臺包括至少兩個腔體時，晶圓抽取設備依次按照抽取順序信息中的抽取順序抽取FOUP中的晶圓，并將抽取的第一個晶圓放入機臺對應的第一腔體中，將抽取的第二個晶圓放入機臺對應的第一腔體中，依次類推，直至將所有的晶圓都放入機臺中。
[0035]示例地，以一個FOUP中包括25個晶圓，一個機臺包括3個腔體為例進行說明，該3個腔體分別記為ApAjP A 3，該25個晶圓在FOUP中的編號依次為I至25，則該FOUP在通過機臺時，晶圓抽取設備根據晶圓在FOUP中的編號按照預設順序(這里以按照I至25的順序)抽取晶圓，如將編號I的晶圓通過A1，將編號2的晶圓通過A2，將編號3的晶圓通過A3，將編號4的晶圓通過A1，將編號5的晶圓通過A2，將編號6的晶圓通過A3,以此類推，則最終通過A1晶圓在FOUP中的編號為1、4、7、10、13、16、19、22和25，通過B 2的晶圓在FOUP中的編號為2、5、8、11、14、17、20和23，通過83的晶圓在？0即中的編號為3、6、9、12、15、18、21 和 24。
[0036]步驟S105、在該晶圓通過全部機臺后，獲取缺陷晶圓在該FOUP中對應的第二編號;
[0037]步驟S107、根據該第二編號與第一編號的對應關系確定該至少兩個機臺中異常的機臺的腔體。在本發(fā)明實施例中，檢測設備接收晶圓抽取設備發(fā)送的對應至少兩臺機臺的抽取順序信息，并根據該抽取順序信息獲取該至少兩個機臺的腔體對應的晶圓在該FOUP中的第一編號，在該晶圓通過全部機臺后，獲取缺陷晶圓在該FOUP中對應的第二編號，根據該第二編號與第一編號的對應關系確定該至少兩個機臺中異常的機臺的腔體，這樣，由于不同的機臺采用不同的順序抽取晶圓，從而能夠根據缺陷晶圓的編號準確的找到異常機臺的腔體。
[0038]可選地，在該至少兩個機臺包括至少兩個腔體時，上述步驟S104具體為:在該第一編號與該第二編號相同時，確定該第一編號對應的機臺的腔體異常。
[0039]示例地，以一個FOUP中的晶圓通過兩臺機臺完成晶圓制程為例進行說明，該一個FOUP中包括25個晶圓，該25個晶圓在FOUP中的編號依次為I至25，該兩臺機臺分別記為機臺A和機臺B，該機臺A包括3個腔體，分別記為Ap AjP A 3，該機臺B包括3個腔體，分別記為BjP B 3，該FOUP中的晶圓首先通過機臺A，晶圓抽取設備可以根據晶圓在FOUP中的編號按照
[0040]“16-18-14-13-5-25-23-3-10-24-19-4-2-20-15-6-22-11-17-1-21-9-12-7-8”
[0041]的順序依次抽取該FOUP中的晶圓并通過機臺A的各腔體，這樣，通過晶圓在FOUP中的編號為16、13、23、24、2、6、17、9和8，通過六2的晶圓在FOUP中的編號為18、5、3、19、20、22、1和12，通過六3的晶圓在FOUP中的編號為14、25、10、4、15、11、21和7，晶圓抽取設備將上述各腔體對應的編號信息發(fā)送至檢測設備，檢測設備將上述編號信息存儲在數據庫中，該FOUP中的晶圓在通過機臺A后，晶圓抽取設備將晶圓根據在FOUP的編號按順序重新放置在FOUP中，并繼續(xù)通過機臺B中的各腔體。
[0042]晶圓抽取設備可以根據晶圓在FOUP中的編號按照
[0043]“1-2-3-4-5-6-7-8-9-10-11-12-13-14-15-16-17-18-19-20-21-22-23-24-25”
[0044]的順序依次抽取該FOUP中的晶圓并通過機臺B的各腔體，這樣，通過晶圓在FOUP中的編號為1、4、7、10、13、16、19、22和25，通過82的晶圓在FOUP中的編號為2、5、8、
11、14、17、20和23，通過83的晶圓在FOUP中的編號為3、6、9、12、15、18、21和24，晶圓抽取設備將上述各腔體對應的編號信息發(fā)送至檢測設備，檢測設備將上述編號信息存儲在數據庫中，該FOUP中的晶圓在通過機臺B后，晶圓抽取設備將晶圓根據在FOUP的編號按順序重新放置在FOUP中，此時，若檢測設備確定3、6、9、12、15、18、21和24為缺陷晶圓，由于該缺陷晶圓的編號與通過機臺B的腔體B3對應的晶圓的編號完全相同(即通過機臺B的腔體B3的晶圓都產生了缺陷)，則該檢測設備即可確定機臺B的腔體B 3為異常的機臺腔體。需要說明的是，這里只是舉例說明，本發(fā)明對上述機臺的數目，機臺的腔體的數目和一個FOUP中的晶圓的數目等參數不作限定。
[0045]可選地，在該至少兩個機臺包括一個腔體時，上述步驟S104具體為:
[0046]在該第二編號包含在該第一編號中且該第二編號在該第一編號中對應的編號為連續(xù)編號，確定該第一編號對應的機臺的腔體異常。
[0047]示例地，以一個FOUP中的晶圓通過兩臺機臺完成晶圓制程為例進行說明，該一個FOUP中包括25個晶圓，該25個晶圓在FOUP中的編號依次為I至25，該兩臺機臺分別記為機臺A和機臺B，該機臺A包括I個腔體，記為Al，該機臺B包括I個腔體，記為BI，該FOUP中的晶圓首先通過機臺A，晶圓抽取設備可以根據晶圓在FOUP中的編號按照“16-18-14-13-5-25-23-3-10-24-19-4-2-20-15-6-22-11-17-1-21-9-12-7-8”
[0048]的順序依次抽取該FOUP中的晶圓并通過機臺A的腔體A1,晶圓抽取設備將上述各腔體對應的編號信息發(fā)送至檢測設備，檢測設備將上述編號信息存儲在數據庫中，該FOUP中的晶圓在通過機臺A后，晶圓抽取設備將晶圓根據在FOUP的編號按順序重新放置在FOUP中，并繼續(xù)通過機臺B中的各腔體，晶圓抽取設備可以根據晶圓在FOUP中的編號按照
[0049]“1-2-3-4-5-6-7-8-9-10-11-12-13-14-15-16-17-18-19-20-21-22-23-24-25”
[0050]的順序依次抽取該FOUP中的晶圓并通過機臺B的腔體B1,晶圓抽取設備將上述腔體B1對應的編號信息發(fā)送至檢測設備，檢測設備將上述編號信息存儲在數據庫中，該FOUP中的晶圓在通過機臺B后，晶圓抽取設備將晶圓根據在FOUP的編號按順序重新放置在FOUP中，此時，若檢測設備確定3、4、5、10、19、23、24和25為缺陷晶圓，由于該缺陷晶圓的編號包含在通過機臺A的腔體A1對應的晶圓的編號中且在該AJt應的晶圓的編號為連續(xù)編號，則該檢測設備即可確定機臺A的腔體A1為異常的機臺腔體。這里只是舉例說明，本發(fā)明對上述機臺的數目，機臺的腔體的數目和一個FOUP中的晶圓的數目等參數不作限定。
[0051]需要說明的是，上述的連續(xù)編號指的是第二編號的每個編號在第一編號中的位置是連續(xù)的，如，第二編號為“3、4、5、10、19、23、24和25”，第一編號為
[0052]“16-18-14-13-5-25-23-3-10-24-19-4-2-20-15-6-22-11-17-1-21-9-12-7-8”
[0053]由此可見，第一編號中的“5、25、23、3、10、24、19和4”與第二編號在位置上是連續(xù)的(8卩“5、25、23、3、10、24、19和4”各編號之間不包括第二編號沒有的編號)；若上述第一編號為
[0054]“16-18-14-13-5-8-25-23-3-10-24-19-4-2-20-15-6-22-11-17-1-21-9-12-7”
[0055]由此可見，第一編號雖然包括第二編號“3、4、5、10、19、23、24和25”，但由于第一編號中的“5、6、25、23、3、10、24、19和4”，在“5”和“25”之間多了一個“6”，并且該“6”不屬于第二編號，則確定該第二編號在該第一編號中對應的編號為不連續(xù)編號。
[0056]可選地，在確定該第一編號對應的機臺的腔體異常后，發(fā)出提示消息并展示該第一編號對應的機臺的標識信息，以告知相關操作人員異常的機臺腔體，方便操作人員及時發(fā)現(xiàn)異常的機臺腔體，提升用戶體驗。
[0057]在本發(fā)明一種可能的實現(xiàn)方式中，可以通過以下三種方式提醒操作人員:
[0058]方式一:檢測設備發(fā)出警報并通過顯示屏顯示異常的機臺腔體的標識信息。
[0059]其中，檢測設備可以在預設時間內發(fā)出警報并通過顯示屏顯示異常的機臺腔體的標識信息。
[0060]方式二:檢測設備通過顯示屏顯示報警信息和異常的機臺腔體的標識信息。
[0061]其中，終端可以在預設時間內顯示報警信息和異常的機臺腔體的標識信息。
[0062]例如，該檢測設備設置有報警指示燈，當通過該報警指示燈報警時，該報警指示燈常亮或者閃爍，并通過在該檢測設備上設置的人機交互的界面顯示異常的機臺腔體的標識信息；或者，在該檢測設備上設置的人機交互的界面上顯示該報警信息和異常的機臺腔體的標識信息，當然，本發(fā)明并不局限于上述實施方式，其他能夠實現(xiàn)報警的方式也落在本發(fā)明的保護范圍之內。
[0063]方式三:檢測設備在發(fā)出警報的同時顯示報警信息和異常的機臺腔體的標識信息。
[0064]根據本發(fā)明實施例提供一種異常機臺的檢測設備20，如圖2所示，該檢測設備20可以包括:
[0065]接收單元21，用于接收晶圓抽取設備發(fā)送的對應至少兩臺機臺的抽取順序信息，其中，該抽取順序信息包括該晶圓抽取設備在晶圓盒FOUP中根據FOUP編號依次抽取晶圓的順序，該至少兩臺機臺分別對應不同的抽取順序信息；
[0066]獲取單元22，用于在該晶圓按照該抽取順序信息依次通過該至少兩臺機臺的腔體后，根據該接收單元21接收的該抽取順序信息獲取該至少兩個機臺的腔體對應的晶圓在該FOUP中的第一編號，在該晶圓通過全部機臺后，獲取缺陷晶圓在該FOUP中對應的第二編號;
[0067]確定單元23，用于根據該獲取單元22獲取的第二編號與第一編號的對應關系確定該至少兩個機臺中異常的機臺的腔體。
[0068]在本發(fā)明實施例中，檢測設備接收晶圓抽取設備發(fā)送的對應至少兩臺機臺的抽取順序信息，并根據該抽取順序信息獲取該至少兩個機臺的腔體對應的晶圓在該FOUP中的第一編號，在該晶圓通過全部機臺后，獲取缺陷晶圓在該FOUP中對應的第二編號，根據該第二編號與第一編號的對應關系確定該至少兩個機臺中異常的機臺的腔體，這樣，由于不同的機臺采用不同的順序抽取晶圓，從而能夠根據缺陷晶圓的編號準確的找到異常機臺的腔體。
[0069]可選地，如圖3所示，該確定單元23可以包括:第一確定模塊231，用于若該至少兩個機臺包括至少兩個腔體，在該第一編號與該第二編號相同時，確定該第一編號對應的機臺的腔體異常。
[0070]可選地，如圖4所示，該確定單元23還包括:第二確定模塊232，用于若該至少兩個機臺包括一個腔體，在該第二編號包含在該第一編號中且該第二編號在該第一編號中對應的編號為連續(xù)編號，確定該第一編號對應的機臺的腔體異常。
[0071]可選地，如圖5所示，該接收單元21包括:第一接收模塊211，用于接收晶圓抽取設備對應該至少兩臺機臺中的第一機臺發(fā)送的第一抽取順序信息；第二接收模塊212，用于在該晶圓按照該第一接收模塊211接收的第一抽取順序信息依次通過該第一機臺后且該晶圓抽取設備按照該FOUP編號重新將該晶圓放置在該FOUP中時，接收晶圓抽取設備對應該至少兩臺機臺中的第二機臺發(fā)送的第二抽取順序信息。
[0072]可選地，如圖6所示，該檢測設備20還包括:提示單元24，用于在該確定單元23確定該第一編號對應的機臺的腔體異常后，發(fā)出提示消息并展示該第一編號對應的機臺的標識信息。
[0073]這樣，通過采用上述檢測設備，由于不同的機臺采用不同的順序抽取晶圓，從而能夠根據缺陷晶圓的編號準確的找到異常機臺的腔體。
[0074]需要說明的是，所屬本領域的技術人員可以清楚地了解到，為描述的方便和簡潔，上述描述的檢測設備的具體工作過程和描述，可以參考上述方法實施例中的對應過程，在此不再贅述。
[0075]以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本發(fā)明的保護范圍。
【主權項】
1.一種異常機臺的檢測方法，其特征在于，包括: 接收晶圓抽取設備發(fā)送的對應至少兩臺機臺的抽取順序信息，其中，所述抽取順序信息包括所述晶圓抽取設備在晶圓盒FOUP中根據FOUP編號依次抽取晶圓的順序，所述至少兩臺機臺分別對應不同的抽取順序信息； 在所述晶圓按照所述抽取順序信息依次通過所述至少兩臺機臺的腔體后，根據所述抽取順序信息獲取所述至少兩個機臺的腔體對應的晶圓在所述FOUP中的第一編號； 在所述晶圓通過全部機臺后，獲取缺陷晶圓在所述FOUP中對應的第二編號； 根據所述第二編號與第一編號的對應關系確定所述至少兩個機臺中異常的機臺的腔體。2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在所述至少兩個機臺包括至少兩個腔體時，所述根據所述第二編號與第一編號的對應關系確定所述至少兩個機臺中異常的機臺的腔體包括: 在所述第一編號與所述第二編號相同時，確定所述第一編號對應的機臺的腔體異常。3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在所述至少兩個機臺包括一個腔體時，所述根據所述第二編號與第一編號的對應關系確定所述至少兩個機臺中異常的機臺的腔體包括: 在所述第二編號包含在所述第一編號中且所述第二編號在所述第一編號中對應的編號為連續(xù)編號，確定所述第一編號對應的機臺的腔體異常。4.根據權利要求1至3任一項所述的方法，其特征在于，所述接收晶圓抽取設備發(fā)送的對應至少兩臺機臺的抽取順序信息包括: 接收晶圓抽取設備對應所述至少兩臺機臺中的第一機臺發(fā)送的第一抽取順序信息； 在所述晶圓按照所述第一抽取順序信息依次通過所述第一機臺后且所述晶圓抽取設備按照所述FOUP編號重新將所述晶圓放置在所述FOUP中時，接收晶圓抽取設備對應所述至少兩臺機臺中的第二機臺發(fā)送的第二抽取順序信息。5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，在所述確定所述第一編號對應的機臺的腔體異常后，所述方法還包括: 發(fā)出提示消息并展示所述第一編號對應的機臺的標識信息。6.一種檢測設備，其特征在于，包括: 接收單元，用于接收晶圓抽取設備發(fā)送的對應至少兩臺機臺的抽取順序信息，其中，所述抽取順序信息包括所述晶圓抽取設備在晶圓盒FOUP中根據FOUP編號依次抽取晶圓的順序，所述至少兩臺機臺分別對應不同的抽取順序信息； 獲取單元，在所述晶圓按照所述抽取順序信息依次通過所述至少兩臺機臺的腔體后，根據所述接收單元接收的所述抽取順序信息獲取所述至少兩個機臺的腔體對應的晶圓在所述FOUP中的第一編號，在所述晶圓通過全部機臺后，獲取缺陷晶圓在所述FOUP中對應的第二編號； 確定單元，用于根據所述獲取單元獲取的第二編號與第一編號的對應關系確定所述至少兩個機臺中異常的機臺的腔體。7.根據權利要求6所述的設備，其特征在于，所述確定單元還包括: 第一確定模塊，用于若所述至少兩個機臺包括至少兩個腔體，在所述第一編號與所述第二編號相同時，確定所述第一編號對應的機臺的腔體異常。8.根據權利要求6所述的設備，其特征在于，所述確定單元還包括: 第二確定模塊，用于若所述至少兩個機臺包括一個腔體，在所述第二編號包含在所述第一編號中且所述第二編號在所述第一編號中對應的編號為連續(xù)編號，確定所述第一編號對應的機臺的腔體異常。9.根據權利要求6至8任一項所述的設備，其特征在于，所述接收單元包括: 第一接收模塊，用于接收晶圓抽取設備對應所述至少兩臺機臺中的第一機臺發(fā)送的第一抽取順序信息； 第二接收模塊，用于在所述晶圓按照所述第一接收模塊接收的第一抽取順序信息依次通過所述第一機臺后且所述晶圓抽取設備按照所述FOUP編號重新將所述晶圓放置在所述FOUP中時，接收晶圓抽取設備對應所述至少兩臺機臺中的第二機臺發(fā)送的第二抽取順序信息。10.根據權利要求9所述的設備，其特征在于，所述設備還包括: 提示單元，用于在所述確定單元確定所述第一編號對應的機臺的腔體異常后，發(fā)出提示消息并展示所述第一編號對應的機臺的標識信息。
【文檔編號】H01L21/67GK105990178SQ201510087644
【公開日】2016年10月5日
【申請日】2015年2月25日
【發(fā)明人】劉穎奇
【申請人】中芯國際集成電路制造(上海)有限公司