用于打印成膜工藝的凹槽結(jié)構(gòu)及其制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種用于打印成膜工藝的凹槽結(jié)構(gòu)及其制作方法，通過將凹槽結(jié)構(gòu)設(shè)計成由第一堤壩圍攏成的第一凹槽和由第二堤壩圍攏成的第二凹槽的層疊結(jié)構(gòu)，且所述第一凹槽與第二凹槽相互貫通且中心軸線相同，所述第二凹槽的開口最小處大于所述第一凹槽的開口最大處，所述第一堤壩圍攏成第一凹槽的傾斜內(nèi)周面為親水性表面，所述第一堤壩的上表面、第二堤壩圍攏成第二凹槽的傾斜內(nèi)周面、以及第二堤壩的上表面均為疏水性表面，進(jìn)而能夠在不降低像素密度的前提下增加用于打印成膜的凹槽的開口大小，使得墨滴更容易滴入凹槽中，降低對打印設(shè)備精度的要求，降低高分辨率OLED顯示面板的制作難度，提升產(chǎn)品競爭力。
【專利說明】
用于打印成膜工藝的凹槽結(jié)構(gòu)及其制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及有機(jī)發(fā)光二極管顯示器件制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于打印成膜工藝的凹槽結(jié)構(gòu)及其制作方法。
【背景技術(shù)】
[0002]有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light Emitting Display，0LED)顯示器件具有自發(fā)光、驅(qū)動電壓低、發(fā)光效率高、響應(yīng)時間短、清晰度與對比度高、近180°視角、使用溫度范圍寬，可實現(xiàn)柔性顯示與大面積全色顯示等諸多優(yōu)點，被業(yè)界公認(rèn)為是最有發(fā)展?jié)摿Φ娘@示
目.ο
[0003]OLED顯示器件的結(jié)構(gòu)一般包括:基板、陽極、陰極以及夾在陽極與陰極之間的有機(jī)功能層。其中有機(jī)功能層，一般包括空穴傳輸功能層(Hole Transport Layer，HTL)、發(fā)光功能層(Emissive Layer，EML)、及電子傳輸功能層(Electron Transport Layer，ETL)。每個功能層可以是一層，或者一層以上，例如空穴傳輸功能層，可以細(xì)分為空穴注入層(HoleInject1n Layer，HIL)和空穴傳輸層；電子傳輸功能層，可以細(xì)分為電子傳輸層和電子注入層(Electron Inject1n Layer，EIL) ALED顯示器件的發(fā)光原理為半導(dǎo)體材料和有機(jī)發(fā)光材料在電場驅(qū)動下，通過載流子注入和復(fù)合導(dǎo)致發(fā)光。
[0004]OLED顯示器件的制作方法通常為，先在基板上形成陽極，在該陽極上形成空穴傳輸層，在空穴傳輸層上形成發(fā)光功能層，在發(fā)光功能層上形成電子傳輸功能層，在電子傳輸功能層上形成陰極，其中陰極與陽極的材料通常采用氧化銦錫(ITO)t3HTUEMUETL等有機(jī)功能層的制備方式通常包括真空熱蒸鍍(Vacuum Thermal Evaporat1n)與溶液成膜(Solut1n Process)兩種。
[0005]所謂溶液成膜即是把所需材料經(jīng)過處理，比如分散成納米級的微小顆粒，然后溶解在相應(yīng)的溶液中，再應(yīng)用成膜設(shè)備將該溶液沉積在基板表面，待溶劑揮發(fā)后，即可在基板表面形成所需薄膜。成膜的具體方式又可以細(xì)分為噴墨打印(Ink-jet Printing)、連續(xù)打印(Nozzle Printing)、滾筒打印(Roller Printing)、旋轉(zhuǎn)涂布(Spin Coating)等。
[0006]在應(yīng)用打印成膜工藝的基板上，通常會制作凹槽，用來限制住墨水，通過干燥烘烤后，墨水收縮在該凹槽限制的范圍內(nèi)形成薄膜。請參閱圖1，所述凹槽120由設(shè)于基板100、及ITO陽極130四周邊緣上的堤壩110圍成，如圖2所示，高精度的打印機(jī)將墨水準(zhǔn)確的滴入凹槽120中，通過在凹槽120內(nèi)沉積墨水，形成空穴注入層140、空穴傳輸層150、發(fā)光功能層160等有機(jī)功能層。
[0007]隨著顯示技術(shù)的不斷發(fā)展，顯示面板的分辨率也越來越高，要實現(xiàn)高分辨率的產(chǎn)品，則需要將像素設(shè)計的比較小，隨之也需要將凹槽的開口設(shè)計的更小(如寬度40um或以下)。這對打印設(shè)備提出了很苛刻的要求，目前市場上幾乎沒有可以打印高像素密度(pixels per inch，PPI)的成膜設(shè)備，如圖3所示，如果打印設(shè)備精度不足或者凹槽的開口太小，從打印設(shè)備內(nèi)滴落的墨滴可能不會落到預(yù)期的凹槽開口中去，進(jìn)而引起制程不良，造成產(chǎn)品穩(wěn)定性下降。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明的目的在于提供一種用于打印成膜工藝的凹槽結(jié)構(gòu)，能夠在不降低像素密度的前提下增加用于打印成膜的凹槽的開口大小，降低對打印設(shè)備精度的要求，降低高分辨率OLED顯示面板的制作難度，提升產(chǎn)品競爭力。
[0009]本發(fā)明的目的還在于提供一種用于打印成膜工藝的凹槽的制作方法，采用該方法制得的凹槽能夠在不降低像素密度的前提下增加用于打印成膜的凹槽的開口大小，降低對打印設(shè)備精度的要求，降低高分辨率OLED顯示面板的制作難度，提升產(chǎn)品競爭力。
[0010]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種用于打印成膜工藝的凹槽結(jié)構(gòu)，該凹槽結(jié)構(gòu)位于基板上，包括:第一堤壩、由第一堤壩圍攏成的第一凹槽、設(shè)于第一堤壩上的第二堤壩、及由第二堤壩圍攏成的第二凹槽；
[0011]所述第一凹槽與第二凹槽相互貫通且中心軸線相同，所述第二凹槽的開口最小處大于所述第一凹槽的開口最大處；
[0012]所述第一堤壩圍攏成第一凹槽的傾斜內(nèi)周面為親水性表面;所述第一堤壩的上表面、第二堤壩圍攏成第二凹槽的傾斜內(nèi)周面、以及第二堤壩的上表面均為疏水性表面。
[0013]所述凹槽結(jié)構(gòu)用于OLED顯示器件的有機(jī)功能層的打印成膜，所述基板上設(shè)有陽極，所述第一堤壩設(shè)于所述陽極的四周邊緣及基板上。
[0014]所述第一凹槽的開口大小根據(jù)所述OLED顯示器件的像素密度確定。
[0015]還包括層疊設(shè)置于所述第二堤壩上的多個擴(kuò)大堤壩、以及由所述多個擴(kuò)大堤壩圍攏成的多個擴(kuò)大凹槽；
[0016]所述多個擴(kuò)大凹槽的開口自下而上逐漸增大，且上層的擴(kuò)大凹槽的開口最小處大于下層的擴(kuò)大凹槽的開口最大處；
[0017]所述多個擴(kuò)大凹槽均與第一凹槽和第二凹槽相互貫通且中心軸線相同；
[0018]所述擴(kuò)大堤壩圍攏成擴(kuò)大凹槽的傾斜內(nèi)周面、以及擴(kuò)大堤壩的上表面均為疏水性表面。
[0019]所述第二堤壩的底角到第一堤壩的頂角的距離不超過打印成膜時墨滴的半徑的三分之二。
[0020]所述第二堤壩的底角到第一堤壩的頂角的距離為10?20μπι。
[0021]本發(fā)明還提供一種用于打印成膜工藝的凹槽的制作方法，包括如下步驟:
[0022]步驟1、提供一基板和第一堤壩材料，用第一堤壩材料通過涂布、干燥、及蝕刻工藝在所述基板上形成第一堤壩、及由第一堤壩圍攏成的第一凹槽；
[0023]步驟2、提供第二堤壩材料，用第二堤壩材料通過涂布、干燥、及蝕刻工藝在所述第一堤壩上形成第二堤壩、及由第二堤壩圍攏成的第二凹槽；
[0024]所述第一凹槽與第二凹槽相互貫通且中心軸線相同，所述第二凹槽的開口最小處大于所述第一凹槽的開口最大處；
[0025]所述第一堤壩圍攏成第一凹槽的傾斜內(nèi)周面為親水性表面;所述第一堤壩的上表面、第二堤壩圍攏成第二凹槽的傾斜內(nèi)周面、以及第二堤壩的上表面均為疏水性表面。
[0026]所述凹槽結(jié)構(gòu)用于OLED顯示器件的有機(jī)功能層的打印成膜，所述基板上設(shè)有陽極，所述第一堤壩設(shè)于所述陽極的四周邊緣及基板上;所述第一凹槽的開口大小根據(jù)所述OLED顯示器件的像素密度確定。
[0027]所述第二堤壩的底角到第一堤壩的頂角的距離不超過打印成膜時墨滴的半徑的三分之二。
[0028]所述第二堤壩的底角到第一堤壩的頂角的距離為10?20μπι。
[0029]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明提供了一種用于打印成膜工藝的凹槽結(jié)構(gòu)，通過將凹槽結(jié)構(gòu)設(shè)計成由第一堤壩圍攏成的第一凹槽和由第二堤壩圍攏成的第二凹槽的層疊結(jié)構(gòu)，且所述第一凹槽與第二凹槽相互貫通且中心軸線相同，所述第二凹槽的開口最小處大于所述第一凹槽的開口最大處，所述第一堤壩圍攏成第一凹槽的傾斜內(nèi)周面為親水性表面，所述第一堤壩的上表面、第二堤壩圍攏成第二凹槽的傾斜內(nèi)周面、以及第二堤壩的上表面均為疏水性表面，進(jìn)而能夠在不降低像素密度的前提下增加用于打印成膜的凹槽的開口大小，使得墨滴更容易滴入凹槽中，降低對打印設(shè)備精度的要求，降低高分辨率OLED顯示面板的制作難度，提升產(chǎn)品競爭力。本發(fā)明還提供了一種用于打印成膜工藝的凹槽的制作方法，采用該方法的制得的凹槽能夠在不降低像素密度的前提下增加用于打印成膜的凹槽的開口大小，降低對打印設(shè)備精度的要求，降低高分辨率OLED顯示面板的制作難度，提升產(chǎn)品競爭力，且制作方法簡單快捷。
【附圖說明】
[0030]為了能更進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征以及技術(shù)內(nèi)容，請參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說明與附圖，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對本發(fā)明加以限制。
[0031]附圖中，
[0032]圖1為現(xiàn)有的用于打印成膜工藝的凹槽結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖2為圖1所示的凹槽結(jié)構(gòu)中凹槽與墨水的關(guān)系示意圖；
[0034]圖3為現(xiàn)有技術(shù)中當(dāng)像素密度增大凹槽開口減小時墨滴滴落到凹槽外的示意圖；
[0035]圖4為本發(fā)明的用于打印成膜工藝的凹槽結(jié)構(gòu)示意圖暨采用該凹槽結(jié)構(gòu)進(jìn)行打印成膜時墨滴滴落過程的示意圖；
[0036]圖5為本發(fā)明的用于打印成膜工藝的凹槽的制作方法的流程圖。
【具體實施方式】
[0037]為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明所采取的技術(shù)手段及其效果，以下結(jié)合本發(fā)明的優(yōu)選實施例及其附圖進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0038]請參閱圖4，本發(fā)明首先提供一種用于打印成膜工藝的凹槽結(jié)構(gòu)，該凹槽結(jié)構(gòu)位于基板10上，包括:第一堤壩11、由第一堤壩11圍攏成的第一凹槽14、設(shè)于第一堤壩11上的第二堤壩12、及由第二堤壩12圍攏成的第二凹槽15;
[0039]所述第一凹槽14與第二凹槽15相互貫通且中心軸線相同，所述第二凹槽15的開口最小處大于所述第一凹槽14的開口最大處；
[0040]所述第一堤壩11圍攏成第一凹槽14的傾斜內(nèi)周面為親水性表面;所述第一堤壩11的上表面、第二堤壩12圍攏成第二凹槽15的傾斜內(nèi)周面、以及第二堤壩12的上表面均為疏水性表面。
[0041]具體地，所述凹槽結(jié)構(gòu)用于OLED顯示器件的有機(jī)功能層的打印成膜，所述基板10上設(shè)有陽極13，所述第一堤壩11設(shè)于所述陽極13的四周邊緣及基板10上，采用上述凹槽結(jié)構(gòu)打印成膜時，只要打印設(shè)備能夠?qū)⒛?drop)滴入到第二凹槽15內(nèi)即可成功打印，當(dāng)墨滴未能成功滴入第一凹槽14內(nèi)而滴入第二凹槽15內(nèi)第一凹槽14外時，由于所述第一堤壩11的上表面、第二堤壩12圍攏成第二凹槽15的傾斜內(nèi)周面、以及第二堤壩12的上表面均為疏水性表面的特性，墨滴會順著第二堤壩12圍攏成第二凹槽15的傾斜內(nèi)周面和第一堤壩11的上表面流入到第一凹槽14內(nèi)，而所述第一堤壩11圍攏成第一凹槽14的傾斜內(nèi)周面為親水性表面則可以成功將墨滴鎖定在第一凹槽14內(nèi)，以沉積成膜。
[0042]至此，也即僅需要打印設(shè)備的精度能夠達(dá)到將墨滴準(zhǔn)確滴入相當(dāng)于第二凹槽15的開口內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)時，即可成功制作像素開口相當(dāng)于第一凹槽14的開口大小的OLED顯示器件，將上述凹槽結(jié)構(gòu)應(yīng)用于高分辨率的OLED顯示器件的制作過程中，能夠有效降低對打印設(shè)備精度的要求，降低高分辨率OLED顯示面板的制作難度，提升產(chǎn)品競爭力。
[0043]具體的，所述基板10為薄膜晶體管陣列基板。
[0044]具體地，所述第一凹槽14的開口大小根據(jù)所述OLED顯示器件的像素密度確定。
[0045]進(jìn)一步地，上述用于打印成膜的凹槽結(jié)構(gòu)并不局限于雙層堤壩的結(jié)構(gòu)，還可以在第二堤壩12上繼續(xù)層疊設(shè)置多個擴(kuò)大堤壩、并由所述多個擴(kuò)大堤壩圍攏成的多個擴(kuò)大凹槽，通過該多個擴(kuò)大凹槽可進(jìn)一步的增大用于打印成膜的凹槽的凹槽開口，進(jìn)一步降低墨水滴入凹槽內(nèi)的難度。
[0046]具體地。所述多個擴(kuò)大凹槽的開口自下而上逐漸增大，且上層的擴(kuò)大凹槽的開口最小處大于下層的擴(kuò)大凹槽的開口最大處，所述多個擴(kuò)大凹槽均與第一凹槽14與第二凹槽15相互貫通且中心軸線相同，所述擴(kuò)大堤壩圍攏成擴(kuò)大凹槽的傾斜內(nèi)周面、以及擴(kuò)大堤壩的上表面均為疏水性表面。也即對于該凹槽結(jié)構(gòu)來說，除去第一堤壩11圍攏成第一凹槽14的傾斜內(nèi)周面外，其余表面均應(yīng)為疏水性表面以利于墨滴流入第一凹槽14，而第一凹槽14的傾斜內(nèi)周面為親水性表面，以利于墨水的沉積。
[0047]需要說明的是，所述第二堤壩12的底角到第一堤壩11的頂角的距離X不超過打印成膜時墨滴的半徑的三分之二。
[0048]優(yōu)選地，所述第二堤壩12的底角到第一堤壩11的頂角的距離X為10?20μπι。所述第一凹槽14和第二凹槽15的下表面的開口均小于上表面的開口，也即所述第一凹槽14和第二凹槽15的形狀可以為倒置的梯形體或倒置的圓臺。
[0049]具體地，在制作OLED顯示器件時通過將相應(yīng)的墨水材料沉積到該第一凹槽14內(nèi)可以制作OLED顯示器件空穴注入層、空穴傳輸層、發(fā)光功能層等有機(jī)功能層。
[0050]請參閱圖5，本發(fā)明還提供一種用于打印成膜工藝的凹槽的制作方法，包括如下步驟:
[0051]步驟1、提供一基板10和第一堤壩材料，用第一堤壩材料通過涂布、干燥、及蝕刻工藝在所述基板10上形成第一堤壩11、及由第一堤壩11圍攏成的第一凹槽14。
[0052]具體地，所述步驟I包括:首先在第一基板10上涂布第一堤壩材料，隨后干燥所述第一堤壩材料，形成由第一堤壩材料固化成的薄膜，然后在所述第一堤壩材料的薄膜上進(jìn)行蝕刻，形成第一堤壩11、及由第一堤壩11圍攏成的第一凹槽14。
[0053]進(jìn)一步地，所述凹槽結(jié)構(gòu)用于OLED顯示器件的有機(jī)功能層的打印成膜，所述第一堤壩11、及由第一堤壩11圍攏成的第一凹槽14對應(yīng)所述OLED顯示器件的像素結(jié)構(gòu)陣列排布于基板10上。所述第一凹槽14的開口大小根據(jù)所述OLED顯示器件的像素密度確定。
[0054]具體的，所述基板10為薄膜晶體管陣列基板。
[0055]步驟2、提供第二堤壩材料，用第二堤壩材料通過涂布、干燥、及蝕刻工藝在所述第一堤壩11上形成第二堤壩12、及由第二堤壩12圍攏成的第二凹槽15。
[0056]具體地，所述步驟2包括:首先在第一堤壩11上涂布第二堤壩材料，隨后干燥所述第二堤壩材料，形成由第二堤壩材料固化成的薄膜，然后在所述第二堤壩材料的薄膜上進(jìn)行蝕刻，形成第二堤壩12、及由第二堤壩12圍攏成的第二凹槽15。
[0057]進(jìn)一步地，所述凹槽結(jié)構(gòu)用于OLED顯示器件的有機(jī)功能層的打印成膜，所述第二堤壩12、及由第二堤壩12圍攏成的第二凹槽15對應(yīng)所述OLED顯示器件的像素結(jié)構(gòu)陣列排布于基板10上。
[0058]具體地，所述第一凹槽14與第二凹槽15相互貫通且中心軸線相同，所述第二凹槽15的開口最小處大于所述第一凹槽14的開口最大處；
[0059]所述第一堤壩11圍攏成第一凹槽14的傾斜內(nèi)周面為親水性表面;所述第一堤壩11的上表面、第二堤壩12圍攏成第二凹槽15的傾斜內(nèi)周面、以及第二堤壩12的上表面均為疏水性表面。
[0060]具體地，所述凹槽結(jié)構(gòu)用于OLED顯示器件的有機(jī)功能層的打印成膜，所述基板10上設(shè)有陽極13，所述第一堤壩11設(shè)于所述陽極13的四周邊緣及基板10上，采用上述凹槽結(jié)構(gòu)打印成膜時，只要打印設(shè)備能夠?qū)⒛蔚稳氲降诙疾?5內(nèi)即可成功打印，當(dāng)墨滴未能成功第一凹槽14內(nèi)而滴入第二凹槽15內(nèi)第一凹槽14外時，由于所述第一堤壩11的上表面、第二堤壩12圍攏成第二凹槽15的傾斜內(nèi)周面、以及第二堤壩12的上表面均為疏水性表面的特性，墨滴會順著第二堤壩12圍攏成第二凹槽15的傾斜內(nèi)周面和第一堤壩11的上表面流入到第一凹槽14內(nèi)，而所述第一堤壩11圍攏成第一凹槽14的傾斜內(nèi)周面為親水性表面則可以成功將墨滴鎖定在第一凹槽14內(nèi)，以沉積成膜。
[0061]至此，也即僅需要打印設(shè)備的精度能夠達(dá)到將墨滴準(zhǔn)確滴入相當(dāng)于第二凹槽15的開口內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)時，即可成功制作像素開口相當(dāng)于第一凹槽14的開口大小的OLED顯示器件，將上述凹槽結(jié)構(gòu)應(yīng)用于高分辨率的OLED顯示器件的制作過程中，能夠有效降低對打印設(shè)備精度的要求，降低高分辨率OLED顯示面板的制作難度，提升產(chǎn)品競爭力。
[0062]進(jìn)一步地，上述用于打印成膜的凹槽結(jié)構(gòu)并不局限于雙層堤壩的結(jié)構(gòu)，還可以在第二堤壩12上繼續(xù)層疊設(shè)置多個擴(kuò)大堤壩、并由所述多個擴(kuò)大堤壩圍攏成的多個擴(kuò)大凹槽，通過該多個擴(kuò)大凹槽可進(jìn)一步的增大用于打印成膜的凹槽的凹槽開口，進(jìn)一步降低墨水滴入凹槽內(nèi)的難度。
[0063]具體地。所述多個擴(kuò)大凹槽的開口自下而上逐漸增大，且上層的擴(kuò)大凹槽的開口最小處大于下層的擴(kuò)大凹槽的開口最大處，所述多個擴(kuò)大凹槽均與第一凹槽14與第二凹槽15相互貫通且中心軸線相同，所述擴(kuò)大堤壩圍攏成擴(kuò)大凹槽的傾斜內(nèi)周面、以及擴(kuò)大堤壩的上表面均為疏水性表面。也即對于該凹槽結(jié)構(gòu)來說除去第一堤壩11圍攏成第一凹槽14的傾斜內(nèi)周面外，其余表面均應(yīng)為疏水性表面以利于墨滴流入第一凹槽14，而第一凹槽14的傾斜內(nèi)周面為親水性表面，以利于墨水的沉積。
[0064]需要說明的是，所述第二堤壩12的底角到第一堤壩11的頂角的距離X不超過打印成膜時墨滴的半徑的三分之二。
[0065]優(yōu)選地，所述第二堤壩12的底角到第一堤壩11的頂角的距離X為10?20μπι。所述第一凹槽14和第二凹槽15的下表面的開口均小于上表面的開口，也即所述第一凹槽14和第二凹槽15的形狀可以為倒置的梯形體或倒置的圓臺。
[0066]具體地，在制作OLED顯示器件時通過將相應(yīng)的墨水材料沉積到該第一凹槽14內(nèi)可以制作OLED顯示器件空穴注入層、空穴傳輸層、發(fā)光功能層等有機(jī)功能層。
[0067]綜上所述，本發(fā)明提供了一種用于打印成膜工藝的凹槽結(jié)構(gòu)，通過將凹槽結(jié)構(gòu)設(shè)計成由第一堤壩圍攏成的第一凹槽和由第二堤壩圍攏成的第二凹槽的層疊結(jié)構(gòu)，且所述第一凹槽與第二凹槽相互貫通且中心軸線相同，所述第二凹槽的開口最小處大于所述第一凹槽的開口最大處，所述第一堤壩圍攏成第一凹槽的傾斜內(nèi)周面為親水性表面，所述第一堤壩的上表面、第二堤壩圍攏成第二凹槽的傾斜內(nèi)周面、以及第二堤壩的上表面均為疏水性表面，進(jìn)而能夠在不降低像素密度的前提下增加用于打印成膜的凹槽的開口大小，使得墨滴更容易滴入凹槽中，降低對打印設(shè)備精度的要求，降低高分辨率OLED顯示面板的制作難度，提升產(chǎn)品競爭力。本發(fā)明還提供了一種用于打印成膜工藝的凹槽的制作方法，采用該方法的制得的凹槽能夠在不降低像素密度的前提下增加用于打印成膜的凹槽的開口大小，降低對打印設(shè)備精度的要求，降低高分辨率OLED顯示面板的制作難度，提升產(chǎn)品競爭力，且制作方法簡單快捷。
[0068]以上所述，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案和技術(shù)構(gòu)思作出其他各種相應(yīng)的改變和變形，而所有這些改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項】
1.一種用于打印成膜工藝的凹槽結(jié)構(gòu)，其特征在于，該凹槽結(jié)構(gòu)位于基板(10)上，包括:第一堤壩(11)、由第一堤壩(11)圍攏成的第一凹槽(14)、設(shè)于第一堤壩(11)上的第二堤壩(12)、及由第二堤壩(12)圍攏成的第二凹槽(15); 所述第一凹槽(14)與第二凹槽(15)相互貫通且中心軸線相同，所述第二凹槽(15)的開口最小處大于所述第一凹槽(14)的開口最大處； 所述第一堤壩(11)圍攏成第一凹槽(14)的傾斜內(nèi)周面為親水性表面;所述第一堤壩(11)的上表面、第二堤壩(12)圍攏成第二凹槽(15)的傾斜內(nèi)周面、以及第二堤壩(12)的上表面均為疏水性表面。2.如權(quán)利要求1所述的用于打印成膜工藝的凹槽結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述凹槽結(jié)構(gòu)用于OLED顯示器件的有機(jī)功能層的打印成膜，所述基板(10)上設(shè)有陽極(13)，所述第一堤壩(11)設(shè)于所述陽極(13)的四周邊緣及基板(10)上。3.如權(quán)利要求2所述的用于打印成膜工藝的凹槽結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一凹槽(14)的開口大小根據(jù)所述OLED顯示器件的像素密度確定。4.如權(quán)利要求1所述的用于打印成膜工藝的凹槽結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括層疊設(shè)置于所述第二堤壩(12)上的多個擴(kuò)大堤壩、以及由所述多個擴(kuò)大堤壩圍攏成的多個擴(kuò)大凹槽； 所述多個擴(kuò)大凹槽的開口自下而上逐漸增大，且上層的擴(kuò)大凹槽的開口最小處大于下層的擴(kuò)大凹槽的開口最大處； 所述多個擴(kuò)大凹槽均與第一凹槽(14)和第二凹槽(15)相互貫通且中心軸線相同； 所述擴(kuò)大堤壩圍攏成擴(kuò)大凹槽的傾斜內(nèi)周面、以及擴(kuò)大堤壩的上表面均為疏水性表面。5.如權(quán)利要求1所述的用于打印成膜工藝的凹槽結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第二堤壩(12)的底角到第一堤壩(11)的頂角的距離不超過打印成膜時墨滴的半徑的三分之二。6.如權(quán)利要求5所述的用于打印成膜工藝的凹槽結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第二堤壩(12)的底角到第一堤壩(11)的頂角的距離為10?20μπι。7.—種用于打印成膜工藝的凹槽的制作方法，其特征在于，包括如下步驟: 步驟1、提供一基板(10)和第一堤壩材料，用第一堤壩材料通過涂布、干燥、及蝕刻工藝在所述基板(10)上形成第一堤壩(11)、及由第一堤壩(11)圍攏成的第一凹槽(14); 步驟2、提供第二堤壩材料，用第二堤壩材料通過涂布、干燥、及蝕刻工藝在所述第一堤壩(11)上形成第二堤壩(12)、及由第二堤壩(12)圍攏成的第二凹槽(15); 所述第一凹槽(14)與第二凹槽(15)相互貫通且中心軸線相同，所述第二凹槽(15)的開口最小處大于所述第一凹槽(14)的開口最大處； 所述第一堤壩(11)圍攏成第一凹槽(14)的傾斜內(nèi)周面為親水性表面;所述第一堤壩(11)的上表面、第二堤壩(12)圍攏成第二凹槽(15)的傾斜內(nèi)周面、以及第二堤壩(12)的上表面均為疏水性表面。8.如權(quán)利要求7所述的用于打印成膜工藝的凹槽的制作方法，其特征在于，所述凹槽結(jié)構(gòu)用于OLED顯示器件的有機(jī)功能層的打印成膜，所述基板(10)上設(shè)有陽極(13)，所述第一堤壩(11)設(shè)于所述陽極(13)的四周邊緣及基板(10)上;所述第一凹槽(14)的開口大小根據(jù)所述OLED顯示器件的像素密度確定。9.如權(quán)利要求7所述的用于打印成膜工藝的凹槽的制作方法，其特征在于，所述第二堤壩(12)的底角到第一堤壩(11)的頂角的距離不超過打印成膜時墨滴的半徑的三分之二。10.如權(quán)利要求9所述的用于打印成膜工藝的凹槽的制作方法，其特征在于，所述第二堤壩(12)的底角到第一堤壩(11)的頂角的距離為10?20μπι。
【文檔編號】H01L51/56GK105895818SQ201610236054
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2016年4月15日
【發(fā)明人】郝鵬, 呂伯彥
【申請人】深圳市華星光電技術(shù)有限公司