一種導(dǎo)電圖形的形成方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于透明導(dǎo)電薄膜材料領(lǐng)域，具體涉及一種可用于平板顯示器、觸摸屏、太陽能電池等裝置中電極配線的導(dǎo)電圖形的形成方法，特別是石墨烯導(dǎo)電圖形的形成方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在個(gè)人電腦、電視、手機(jī)、車載導(dǎo)航等電子設(shè)備上，液晶顯示元件、觸摸屏的使用得到了普及。對于這些液晶顯示元件、觸摸屏等器件而言，透明的配線、像素電極或端子的一部分中需要使用透明導(dǎo)電膜。作為透明導(dǎo)電膜的材料，一直以來，多使用氧化銦錫等材料，但由于銦元素是稀有金屬，并且銦的氧化物有毒，不環(huán)保。在此背景下，石墨烯材料受到了人們極大關(guān)注。
[0003]現(xiàn)有石墨烯圖案化有以下幾種技術(shù)，第一，采用目前成熟的半導(dǎo)體制程工藝來實(shí)現(xiàn)，即在石墨烯薄膜表面涂布光刻膠，通過曝光-顯影工藝得到圖案化的光刻膠，在對石墨烯薄膜進(jìn)行干刻，最后進(jìn)行光刻膠剝離，得到圖案化的石墨烯。但是由于石墨烯薄膜非常薄，使用目前常規(guī)的光刻膠在剝離時(shí)有可能會(huì)發(fā)生石墨烯薄膜脫落，或者光刻膠在石墨烯膜層上殘留的情況，進(jìn)而造成產(chǎn)品良率降低;開發(fā)特定的光刻膠材料和工藝會(huì)增加成本，提高量產(chǎn)難度。第二，先圖案化催化劑，生長得到圖案化的石墨烯再轉(zhuǎn)移。但是這種方法并不能將圖案化的石墨烯精確定位到器件襯底上。第三，利用模板壓印的方法，在需要石墨烯的地方印上石墨烯。但是這種方法對不同圖形的石墨烯，要求制作不同的模板，并且模板制造工藝復(fù)雜，成本很高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有的缺陷，提供了一種導(dǎo)電圖形的形成方法。
[0005 ]為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了如下的技術(shù)方案:
一種導(dǎo)電圖形的形成方法，包括如下步驟:
(1)通過UV半固化I吳將目標(biāo)基底與石墨稀貼合在一起；
(2)按預(yù)設(shè)的導(dǎo)電圖形，將處于導(dǎo)電圖形之外的石墨烯表面用防紫外線膜覆蓋；
(3)用紫外光照射石墨烯；
(4)除去防紫外線膜以及未固化的UV半固化膜，即得到粘在目標(biāo)基底上的導(dǎo)電圖形。
[0006]進(jìn)一步，所述UV半固化膜的厚度為1-50微米。
[0007]進(jìn)一步，所述目標(biāo)基底為玻璃、聚對苯二甲酸乙二醇酯膜、聚乙烯膜、聚丙烯膜或聚碳酸酯膜。
[0008]進(jìn)一步，步驟(4)未固化的UV半固化膜用有機(jī)溶劑洗去。
[0009]更進(jìn)一步，所述有機(jī)溶劑為乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙二醇甲醚或醋酸乙烯酯。
[0010]對于生長在金屬襯底上的石墨烯，先除去金屬襯底，再進(jìn)行步驟(2)的操作。金屬襯底可采用化學(xué)腐蝕法、機(jī)械剝離法或鼓泡法除去。
[0011]與現(xiàn)有石墨烯圖案化技術(shù)相比，本發(fā)明方法操作簡單、高效，成本低，可實(shí)現(xiàn)導(dǎo)電圖形的快速、批量制作。
【附圖說明】
[0012]附圖用來提供對本發(fā)明的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與本發(fā)明的實(shí)施例一起用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對本發(fā)明的限制。在附圖中:
圖1是本發(fā)明工藝流程示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0013]以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行說明，應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的優(yōu)選實(shí)施例僅用于說明和解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0014]實(shí)施例1
一種導(dǎo)電圖形的形成方法，工藝流程如圖1所示，步驟如下:
UV半固化膜是一種在常溫下為固態(tài)、具有一定的粘性，經(jīng)紫外光照射后可固化的材料，本發(fā)明UV半固化膜采用市售產(chǎn)品(型號:T8000，DIC株式會(huì)社)，UV半固化膜厚度為15微米，在UV半固化膜的兩面均具有離型膜。
[0015]防紫外線膜，采用市售產(chǎn)品(3M850B黑色PET保護(hù)膜，富德光光電有限公司)。
[0016](I)先撕除UV半固化膜其中一面的離型膜，用輥壓的方式將UV半固化膜貼合到目標(biāo)基板聚對苯二甲酸乙二醇酯膜(PET膜)上，得到PET/UV半固化膜/離型膜；
(2)將UV半固化膜剩下的另一面離型膜撕除，然后與采用常規(guī)氣相沉積法生長在銅箔上的石墨烯貼合，得到PET/UV半固化膜/石墨烯/銅箔；
(3)將PET/UV半固化膜/石墨烯/銅箔置于鹽酸和雙氧水的混合溶液中刻蝕，每隔3min取出用去離子水和乙醇清洗銅箔的表面，直至銅箔完全去除，最后用去離子水清洗，熱風(fēng)吹干，得到PET/UV半固化膜/石墨烯；
(4)圖形化處理:在PET/UV半固化膜/石墨烯的石墨烯一面，按照設(shè)計(jì)的導(dǎo)電圖形，將防紫外線膜貼在導(dǎo)電圖形之外剩余的石墨烯表面上，對除導(dǎo)電圖形之外的石墨烯進(jìn)行光照保護(hù)；
(5)對圖形化處理的石墨烯進(jìn)行UV光照射，經(jīng)UV光照射后，未貼防紫外線膜部分的UV半固化膜完全固化，從而使該部分的石墨烯牢牢的粘在PET上；
(6)撕除石墨烯上的防紫外線膜，由于固化后UV固化膜與石墨烯的結(jié)合力遠(yuǎn)強(qiáng)于未固化時(shí)UV半固化膜與石墨烯的結(jié)合力，貼有防紫外線膜部分的石墨烯能一并撕除，該部分余下的未固化的UV半固化膜用乙酸乙酯洗去，從而得到粘在PET上的石墨烯導(dǎo)電圖形。
[0017]最后應(yīng)說明的是:以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，盡管參照前述實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說明，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，其依然可以對前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種導(dǎo)電圖形的形成方法，包括如下步驟: (1)通過UV半固化I吳將目標(biāo)基底與石墨稀貼合在一起； (2)按預(yù)設(shè)的導(dǎo)電圖形，將處于導(dǎo)電圖形之外的石墨烯表面用防紫外線膜覆蓋； (3)用紫外光照射石墨烯； (4)除去防紫外線膜以及未固化的UV半固化膜，即得到粘在目標(biāo)基底上的導(dǎo)電圖形。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述導(dǎo)電圖形的形成方法，其特征在于:所述UV半固化膜的厚度為1-50微米。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述導(dǎo)電圖形的形成方法，其特征在于:所述目標(biāo)基底為玻璃、聚對苯二甲酸乙二醇酯膜、聚乙烯膜、聚丙烯膜或聚碳酸酯膜。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述導(dǎo)電圖形的形成方法，其特征在于:步驟(4)未固化的UV半固化膜用有機(jī)溶劑洗去。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述導(dǎo)電圖形的形成方法，其特征在于:所述有機(jī)溶劑為乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙二醇甲醚或醋酸乙烯酯。
【專利摘要】本發(fā)明公開一種導(dǎo)電圖形的形成方法，該方法包括如下步驟：（1）通過UV半固化膜將目標(biāo)基底與石墨烯貼合在一起；（2）按預(yù)設(shè)的導(dǎo)電圖形，將處于導(dǎo)電圖形之外的石墨烯表面用防紫外線膜覆蓋；（3）用紫外光照射石墨烯；（4）除去防紫外線膜以及未固化的UV半固化膜，即得到粘在目標(biāo)基底上的導(dǎo)電圖形。與現(xiàn)有石墨烯圖案化技術(shù)相比，本發(fā)明方法操作簡單、高效，成本低，可實(shí)現(xiàn)導(dǎo)電圖形的快速、批量制作。
【IPC分類】H01L21/263, H01L21/027, H01L21/48
【公開號】CN105551976
【申請?zhí)枴緾N201510983674
【發(fā)明人】王小蓓, 楊軍, 王煒, 譚化兵
【申請人】無錫格菲電子薄膜科技有限公司
【公開日】2016年5月4日
【申請日】2015年12月24日