0351 ]在本實(shí)施方式中，連接端子電子4515由與發(fā)光元件4511所具有的第一電極層4517 相同的導(dǎo)電膜形成，端子電極4516由與薄膜晶體管4509、4510所具有的源電極層和漏電極 層相同的導(dǎo)電膜形成。
[0352]連接端子電極4515通過(guò)各向異性導(dǎo)電膜4519電連接到FPC4518a所具有的端子。[0353]位于從發(fā)光元件4511的取出光的方向上的第二襯底4506需要具有透光性。在此情 況下，使用如玻璃板、塑料板、聚酯薄膜或丙烯酸薄膜等的具有透光性的材料。
[0354]此外，作為填料4507,除了氮及氬等的惰性氣體之外，還可以使用紫外線固化樹(shù)脂 或熱固化樹(shù)脂。可以使用PVC(聚氯乙烯）、丙烯酸樹(shù)脂、聚酰亞胺、環(huán)氧樹(shù)脂、硅酮樹(shù)脂、PVB (聚乙烯醇縮丁醛）、或EVA(乙烯-醋酸乙烯酯)等。在本實(shí)施方式中，作為填料4507使用氮。
[0355]另外，若有需要，也可以在發(fā)光元件的射出面上適當(dāng)?shù)卦O(shè)置諸如偏振片、圓偏振片 (包括橢圓偏振片）、相位差板(λ/4片、λ/2片）、彩色濾光片等的光學(xué)薄膜。另外，也可以在偏 振片或圓偏振片上設(shè)置抗反射膜。例如，可以進(jìn)行抗眩光處理，該處理利用表面的凹凸來(lái)擴(kuò) 散反射光并降低眩光。
[0356] 信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路4503a、4503b及掃描線驅(qū)動(dòng)電路4504a、4504b也可以作為在另行 準(zhǔn)備的襯底上由單晶半導(dǎo)體膜或多晶半導(dǎo)體膜形成的驅(qū)動(dòng)電路而安裝。此外，也可以另外 僅形成信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路或其一部分、或者掃描線驅(qū)動(dòng)電路或其一部分而安裝。本實(shí)施方式 不局限于圖24A和24B的結(jié)構(gòu)。
[0357]通過(guò)上述工序，可以制造可靠性高的發(fā)光顯示裝置(顯示面板)作為半導(dǎo)體裝置。
[0358]本實(shí)施方式可以與其他實(shí)施方式所記載的結(jié)構(gòu)適當(dāng)?shù)亟M合而實(shí)施。
[0359]實(shí)施方式8
[0360]本說(shuō)明書(shū)所公開(kāi)的半導(dǎo)體裝置的可以應(yīng)用于電子紙。電子紙可以用于用來(lái)顯示信 息的各種領(lǐng)域的電子設(shè)備。例如，可以將電子紙應(yīng)用于電子書(shū)籍（電子書(shū)）、招貼、電車等的 交通工具的車內(nèi)廣告、信用卡等的各種卡片中的顯示等。圖25A和25B以及圖26示出電子設(shè) 備的一個(gè)例子。
[0361]圖25A示出使用電子紙制造的招貼2631。在廣告介質(zhì)是紙的印刷物的情況下用手 進(jìn)行廣告的交換，但是如果使用本說(shuō)明書(shū)所公開(kāi)的電子紙，則可以在短時(shí)間內(nèi)改變廣告的 顯示內(nèi)容。此外，顯示不會(huì)打亂而可以獲得穩(wěn)定的圖像。另外，招貼也可以采用以無(wú)線的方 式收發(fā)信息的結(jié)構(gòu)。
[0362]此外，圖25B示出電車等的交通工具的車內(nèi)廣告2632。在廣告介質(zhì)是紙的印刷物的 情況下用手進(jìn)行廣告的交換，但是如果使用本說(shuō)明書(shū)所公開(kāi)的電子紙，則可以在短時(shí)間內(nèi) 不需要許多人手地改變廣告的顯示內(nèi)容。此外，顯示不會(huì)打亂而可以獲得穩(wěn)定的圖像。另 外，車內(nèi)廣告也可以采用以無(wú)線的方式收發(fā)信息的結(jié)構(gòu)。
[0363]另外，圖26不出電子書(shū)籍2700的一個(gè)例子。例如，電子書(shū)籍2700由兩個(gè)框體，即框 體2701及框體2703構(gòu)成。框體2701及框體2703由軸部2711形成為一體，且可以以該軸部 2711為軸進(jìn)行開(kāi)閉動(dòng)作。通過(guò)采用這種結(jié)構(gòu)，可以進(jìn)行如紙的書(shū)籍那樣的動(dòng)作。
[0364] 框體2701組裝有顯示部2705,而框體2703組裝有顯示部2707。顯示部2705及顯示 部2707的結(jié)構(gòu)既可以是顯示連屏畫(huà)面的結(jié)構(gòu)，又可以是顯示不同的畫(huà)面的結(jié)構(gòu)。通過(guò)采用 顯示不同的畫(huà)面的結(jié)構(gòu)，例如在右邊的顯示部（圖26中的顯示部2705)中可以顯示文章，而 在左邊的顯示部（圖26中的顯示部2707)中可以顯示圖像。
[0365]此外，在圖26中示出框體2701具備操作部等的例子。例如，在框體2701中，具備電 源2721、操作鍵2723、揚(yáng)聲器2725等。利用操作鍵2723可以翻頁(yè)。另外，也可以采用在與框體 的顯示部同一面上具備鍵盤、定位裝置等的結(jié)構(gòu)。另外，也可以采用在框體的背面或側(cè)面具 備外部連接用端子(耳機(jī)端子、USB端子或可與AC適配器及USB電纜等的各種電纜連接的端 子等）、記錄介質(zhì)插入部等的結(jié)構(gòu)。再者，電子書(shū)籍2700也可以具有電子詞典的功能。
[0366]此外，電子書(shū)籍2700也可以采用以無(wú)線的方式收發(fā)信息的結(jié)構(gòu)。還可以采用以無(wú) 線的方式從電子書(shū)籍服務(wù)器購(gòu)買所希望的書(shū)籍?dāng)?shù)據(jù)等，然后下載的結(jié)構(gòu)。
[0367]實(shí)施方式9
[0368]本說(shuō)明書(shū)所公開(kāi)的半導(dǎo)體裝置可以應(yīng)用于各種電子設(shè)備(包括游戲機(jī)）。作為電子 設(shè)備，例如可以舉出電視裝置(也稱為電視或電視接收機(jī)）、用于計(jì)算機(jī)等的監(jiān)視器、數(shù)碼相 機(jī)、數(shù)碼攝像機(jī)、數(shù)碼相框、移動(dòng)電話機(jī)(也稱為移動(dòng)電話、移動(dòng)電話裝置）、便攜式游戲機(jī)、 便攜式信息終端、聲音再現(xiàn)裝置、彈珠機(jī)等的大型游戲機(jī)等。
[0369] 圖27A示出電視裝置9600的一個(gè)例子。在電視裝置9600中，框體9601組裝有顯示部 9603。利用顯示部9603可以顯示映像。此外，在此示出利用支架9605支撐框體9601的結(jié)構(gòu)。 [0370]可以通過(guò)利用框體9601所具備的操作開(kāi)關(guān)、另外提供的遙控操作機(jī)9610進(jìn)行電視 裝置9600的操作。通過(guò)利用遙控操作機(jī)9610所具備的操作鍵9609,可以進(jìn)行頻道及音量的 操作，并可以對(duì)在顯示部9603上顯示的映像進(jìn)行操作。此外，也可以采用在遙控操作機(jī)9610 中設(shè)置顯示從該遙控操作機(jī)9610輸出的信息的顯示部9607的結(jié)構(gòu)。
[0371]另外，電視裝置9600采用具備接收機(jī)及調(diào)制解調(diào)器等的結(jié)構(gòu)?？梢酝ㄟ^(guò)利用接收 機(jī)接收一般的電視廣播。再者，通過(guò)調(diào)制解調(diào)器連接到有線或無(wú)線方式的通信網(wǎng)絡(luò)，從而也 可以進(jìn)行單向（從發(fā)送者到接收者)或雙向（在發(fā)送者和接收者之間或在接收者之間等）的 信息通信。
[0372] 圖27B示出數(shù)碼相框9700的一個(gè)例子。例如，在數(shù)碼相框9700中，框體9701組裝有 顯示部9703。顯示部9703可以顯示各種圖像，例如通過(guò)顯示使用數(shù)碼相機(jī)等拍攝的圖像數(shù) 據(jù)，可以發(fā)揮與一般的相框同樣的功能。
[0373]另外，數(shù)碼相框9700采用具備操作部、外部連接用端子(USB端子、可以與USB電纜 等的各種電纜連接的端子等）、記錄介質(zhì)插入部等的結(jié)構(gòu)。這種結(jié)構(gòu)也可以組裝到與顯示部 同一個(gè)面，但是通過(guò)將其設(shè)置在側(cè)面或背面上來(lái)提高設(shè)計(jì)性，所以是優(yōu)選的。例如，可以對(duì) 數(shù)碼相框的記錄介質(zhì)插入部插入儲(chǔ)存有使用數(shù)碼相機(jī)拍攝的圖像數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)器并提取圖 像數(shù)據(jù)，然后可以將所提取的圖像數(shù)據(jù)顯示于顯示部9703。
[0374]此外，數(shù)字相框9700也可以采用以無(wú)線的方式收發(fā)信息的結(jié)構(gòu)。還可以采用以無(wú) 線的方式提取所希望的圖像數(shù)據(jù)并進(jìn)行顯示的結(jié)構(gòu)。
[0375]圖28A示出一種便攜式游戲機(jī)，其由框體9881和框體9891的兩個(gè)框體構(gòu)成，并且通 過(guò)連接部9893可以開(kāi)閉地連接。框體9881安裝有顯示部9882,并且框體9891安裝有顯示部 9883。另外，圖28A所示的便攜式游戲機(jī)還具備揚(yáng)聲器部9884、記錄介質(zhì)插入部9886、LED燈 9890、輸入單元(操作鍵9885、連接端子9887、傳感器9888(包括測(cè)定如下因素的功能：力量、 位移、位置、速度、加速度、角速度、轉(zhuǎn)動(dòng)數(shù)、距離、光、液、磁、溫度、化學(xué)物質(zhì)、聲音、時(shí)間、硬 度、電場(chǎng)、電流、電壓、電力、輻射線、流量、濕度、傾斜度、振動(dòng)、氣味或紅外線）以及麥克風(fēng) 9889)等。當(dāng)然，便攜式游戲機(jī)的結(jié)構(gòu)不局限于上述結(jié)構(gòu)，只要采用至少具備本說(shuō)明書(shū)所公 開(kāi)的半導(dǎo)體裝置的結(jié)構(gòu)即可，且可以采用適當(dāng)?shù)卦O(shè)置有其它附屬設(shè)備的結(jié)構(gòu)。圖28A所示的 便攜式游戲機(jī)具有如下功能：讀出存儲(chǔ)在記錄介質(zhì)中的程序或數(shù)據(jù)并將其顯示在顯示部 上；以及通過(guò)與其他便攜式游戲機(jī)進(jìn)行無(wú)線通信而實(shí)現(xiàn)信息共享。另外，圖28A所示的便攜 式游戲機(jī)所具有的功能不局限于此，而可以具有各種各樣的功能。
[0376]圖28B示出大型游戲機(jī)的一種的自動(dòng)賭博機(jī)9900的一個(gè)例子。在自動(dòng)賭博機(jī)9900 的框體9901中安裝有顯示部9903。另外，自動(dòng)賭博機(jī)9900還具備如起動(dòng)桿或停止開(kāi)關(guān)等的 操作單元、投幣口、揚(yáng)聲器等。當(dāng)然，自動(dòng)賭博機(jī)9900的結(jié)構(gòu)不局限于此，只要采用至少具備 本說(shuō)明書(shū)所公開(kāi)的半導(dǎo)體裝置的結(jié)構(gòu)即可，且可以采用適當(dāng)?shù)卦O(shè)置有其它附屬設(shè)備的結(jié) 構(gòu)。因此，可以采用適當(dāng)?shù)卦O(shè)置有其它附屬設(shè)備的結(jié)構(gòu)。
[0377] 圖29A示出移動(dòng)電話機(jī)1000的一個(gè)例子。移動(dòng)電話機(jī)1000除了安裝在框體1001的 顯示部1002之外還具備操作按鈕1003、外部連接端口 1004、揚(yáng)聲器1005、麥克風(fēng)1006等。
[0378]圖29A所示的移動(dòng)電話機(jī)1000可以用手指等觸摸顯示部1002來(lái)輸入信息。此外，可 以用手指等觸摸顯示部1002來(lái)打電話或進(jìn)行電子郵件的輸入等的操作。
[0379]顯示部1002的畫(huà)面主要有三個(gè)模式。第一是以圖像的顯示為主的顯示模式，第二 是以文字等的信息的輸入為主的輸入模式，第三是顯示模式和輸入模式的兩個(gè)模式混合的 顯示+輸入模式。
[0380]例如，在打電話或制作電子郵件的情況下，將顯示部1002設(shè)定為以文字輸入為主 的文字輸入模式，并進(jìn)行在畫(huà)面上顯示的文字的輸入操作，即可。在此情況下，優(yōu)選的是，在 顯示部1002的畫(huà)面的大部分中顯示鍵盤或號(hào)碼按鈕。
[0381] 此外，通過(guò)在移動(dòng)電話機(jī)1000的內(nèi)部設(shè)置具有陀螺儀和加速度傳感器等檢測(cè)傾斜 度的傳感器的檢測(cè)裝置，來(lái)判斷移動(dòng)電話機(jī)1000的方向（豎向還是橫向），從而可以對(duì)顯示 部1002的畫(huà)面顯示進(jìn)行自動(dòng)切換。
[0382]通過(guò)觸摸顯示部1002或?qū)蝮w1001的操作按鈕1003進(jìn)行操作，切換畫(huà)面模式。還 可以根據(jù)顯示在顯示部1002上的圖像種類切換畫(huà)面模式。例如，當(dāng)顯示在顯示部上的圖像 信號(hào)為動(dòng)態(tài)圖像的數(shù)據(jù)時(shí)，將畫(huà)面模式切換成顯示模式，而當(dāng)顯示在顯示部上的圖像信號(hào) 為文字?jǐn)?shù)據(jù)時(shí)，將畫(huà)面模式切換成輸入模式。
[0383]另外，當(dāng)在輸入模式中通過(guò)檢測(cè)出顯示部1002的光傳感器所檢測(cè)的信號(hào)得知在一 定期間中沒(méi)有顯示部1002的觸摸操作輸入時(shí)，也可以以將畫(huà)面模式從輸入模式切換成顯示 模式的方式來(lái)進(jìn)行控制。
[0384]還可以將顯示部1002用作圖像傳感器。例如，通過(guò)用手掌或手指觸摸顯示部1002， 來(lái)拍攝掌紋、指紋等，而可以進(jìn)行個(gè)人識(shí)別。此外，通過(guò)在顯示部中使用發(fā)射近紅外光的背 光燈或發(fā)射近紅外光的感測(cè)光源，也可以拍攝手指靜脈、手掌靜脈等。
[0385]圖29B也是移動(dòng)電話機(jī)的一個(gè)例子。圖29B的移動(dòng)電話機(jī)，在框體9411中具有包括 顯示部9412以及操作鈕9413的顯示裝置9410,在框體9401中具有包括操作鈕9402、外部輸 入端子9403、麥克9404、揚(yáng)聲器9405以及來(lái)電話時(shí)發(fā)光的發(fā)光部9406的通信裝置9400,具有 顯示功能的顯示裝置9410與具有電話功能的通信裝置9400可以沿著箭頭所指的兩個(gè)方向 分離。所以可以將顯示裝置9410和通信裝置9400的短軸互相連接，或?qū)@示裝置9410和通 信裝置9400的長(zhǎng)軸互相連接。另外，當(dāng)僅需要顯示功能時(shí)，可以將通信裝置9400和顯示裝置 9410分開(kāi)而單獨(dú)使用顯示裝置9410。通信裝置9400和顯示裝置9410可以通過(guò)無(wú)線通信或有 線通信來(lái)進(jìn)行圖像或輸入信息的接收，并分別具有可進(jìn)行充電的電池。
[0386] 本說(shuō)明書(shū)根據(jù)2008年10月24日在日本專利局受理的日本專利申請(qǐng)編號(hào)2008-274634而制作，所述申請(qǐng)內(nèi)容包括在本說(shuō)明書(shū)中。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種半導(dǎo)體裝置的制造方法，包括如下步驟： 在具有絕緣表面的襯底上形成柵電極層； 在所述柵電極層上形成柵極絕緣層； 在所述柵電極層上形成氧化物半導(dǎo)體膜； 在所述柵電極層上形成導(dǎo)電膜； 在所述柵極絕緣層、所述氧化物半導(dǎo)體膜以及所述導(dǎo)電膜上形成第一掩模層； 使用所述第一掩模層在第一蝕刻工序中對(duì)所述氧化物半導(dǎo)體膜以及所述導(dǎo)電膜進(jìn)行 蝕刻，以形成氧化物半導(dǎo)體層以及導(dǎo)電層； 對(duì)所述第一掩模層進(jìn)行灰化以形成第二掩模層；以及 使用所述第二掩模層在第二蝕刻工序中對(duì)所述氧化物半導(dǎo)體層以及所述導(dǎo)電層進(jìn)行 蝕刻，以形成具有凹部的氧化物半導(dǎo)體層、源電極層以及漏電極層， 其中，所述第一掩模層使用曝光掩模形成， 并且，在所述第一蝕刻工序中使用利用蝕刻液的濕蝕刻， 并且，在所述第二蝕刻工序中使用利用蝕刻氣體的干蝕刻， 并且，在具有所述凹部的所述氧化物半導(dǎo)體層中，包含其厚度薄于與所述源電極層或 所述漏電極層重疊的區(qū)域的厚度的區(qū)域， 并且，具有所述凹部的所述氧化物半導(dǎo)體層的端部具有彎曲的表面。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置的制造方法，其中所述氧化物半導(dǎo)體膜含有銦、鎵 及鋅。3. -種半導(dǎo)體裝置的制造方法，包括如下步驟： 在具有絕緣表面的襯底上形成柵電極層； 在所述柵電極層上形成柵極絕緣層； 在所述柵電極層上形成第一氧化物半導(dǎo)體膜和第二氧化物半導(dǎo)體膜； 在所述柵電極層上形成導(dǎo)電膜； 在所述柵極絕緣層、所述第一氧化物半導(dǎo)體膜、所述第二氧化物半導(dǎo)體膜以及所述導(dǎo) 電膜上形成第一掩模層； 使用所述第一掩模層在第一蝕刻工序中對(duì)所述第一氧化物半導(dǎo)體膜、所述第二氧化物 半導(dǎo)體膜以及所述導(dǎo)電膜進(jìn)行蝕刻，以形成第一氧化物半導(dǎo)體層、第二氧化物半導(dǎo)體層以 及導(dǎo)電層； 對(duì)所述第一掩模層進(jìn)行灰化以形成第二掩模層；以及 使用所述第二掩模層在第二蝕刻工序中對(duì)所述第一氧化物半導(dǎo)體層、所述第二氧化物 半導(dǎo)體層以及所述導(dǎo)電層進(jìn)行蝕刻，以形成具有凹部的氧化物半導(dǎo)體層、源區(qū)、漏區(qū)、源電 極層以及漏電極層， 其中，所述第一掩模層使用曝光掩模形成， 并且，在所述第一蝕刻工序中使用利用蝕刻液的濕蝕刻， 并且，在所述第二蝕刻工序中使用利用蝕刻氣體的干蝕刻， 并且，在具有所述凹部的所述氧化物半導(dǎo)體層中，包含其厚度薄于與所述源區(qū)或所述 漏區(qū)重疊的區(qū)域的厚度的區(qū)域， 并且，具有所述凹部的所述氧化物半導(dǎo)體層的端部具有彎曲的表面。4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體裝置的制造方法，其中所述第一氧化物半導(dǎo)體膜以及 所述第二氧化物半導(dǎo)體膜分別含有銦、鎵及鋅。5. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體裝置的制造方法，其中所述第一氧化物半導(dǎo)體膜的電 導(dǎo)率低于所述第二氧化物半導(dǎo)體膜的電導(dǎo)率。6. 根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的半導(dǎo)體裝置的制造方法，其中所述蝕刻氣體含有氯。7. 根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的半導(dǎo)體裝置的制造方法，其中所述蝕刻氣體含有氧。8. 根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的半導(dǎo)體裝置的制造方法，其中在所述第一蝕刻工序中使用 磷酸、醋酸以及硝酸的混合溶液作為所述蝕刻液。9. 根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的半導(dǎo)體裝置的制造方法，其中所述曝光掩模使用半色調(diào)掩 ?；蚧疑{(diào)掩模。10. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置的制造方法，還包括以下步驟： 在形成所述氧化物半導(dǎo)體膜之前，在包括氬氣體的氣氛中對(duì)所述柵極絕緣層進(jìn)行反濺 射處理。11. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體裝置的制造方法，還包括以下步驟： 在形成所述第一氧化物半導(dǎo)體膜和所述第二氧化物半導(dǎo)體膜之前，在包括氬氣體的氣 氛中對(duì)所述柵極絕緣層進(jìn)行反濺射處理。12. 根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的半導(dǎo)體裝置的制造方法，其中所述氣氛包括氧。13. -種半導(dǎo)體裝置，包括： 在襯底上的柵電極層； 在所述柵電極層上的柵極絕緣層； 在所述柵電極層上的氧化物半導(dǎo)體層，在所述柵電極層和所述氧化物半導(dǎo)體層之間具 有所述柵極絕緣層，所述氧化物半導(dǎo)體層包括銦； 在所述氧化物半導(dǎo)體層上的源電極層；以及 在所述氧化物半導(dǎo)體層上的漏電極層， 其中，在所述源電極層和所述漏電極層之間的所述氧化物半導(dǎo)體層的上表面被蝕刻， 使得所述氧化物半導(dǎo)體層的一部分比所述氧化物半導(dǎo)體層在所述源電極層和所述漏電極 層之下的部分更薄， 并且，所述氧化物半導(dǎo)體層的第一部分延伸到所述源電極層和所述漏電極層的外側(cè)邊 緣之外， 并且，所述氧化物半導(dǎo)體層的所述第一部分比所述氧化物半導(dǎo)體層的第二部分更薄， 所述第二部分在所述源電極層和所述漏電極層之下， 并且，所述氧化物半導(dǎo)體層的端部具有彎曲的表面。14. 一種半導(dǎo)體裝置，包括： 在襯底上的柵電極層； 在所述柵電極層上的柵極絕緣層； 在所述柵電極層上的氧化物半導(dǎo)體層，在所述柵電極層和所述氧化物半導(dǎo)體層之間具 有所述柵極絕緣層，所述氧化物半導(dǎo)體層包括銦； 在所述氧化物半導(dǎo)體層上的源電極層； 在所述氧化物半導(dǎo)體層上的漏電極層；以及 在所述氧化物半導(dǎo)體層、所述源電極層和所述漏電極層上的絕緣層， 其中，在所述源電極層和所述漏電極層之間的所述氧化物半導(dǎo)體層的上表面被蝕刻， 使得所述氧化物半導(dǎo)體層的一部分比所述氧化物半導(dǎo)體層在所述源電極層和所述漏電極 層之下的部分更薄， 并且，所述氧化物半導(dǎo)體層的第一部分延伸到所述源電極層和所述漏電極層的外側(cè)邊 緣之外， 并且，所述氧化物半導(dǎo)體層的所述第一部分比所述氧化物半導(dǎo)體層的第二部分更薄， 所述第二部分在所述源電極層和所述漏電極層之下， 并且，所述氧化物半導(dǎo)體層的端部具有彎曲的表面， 并且，所述絕緣層與所述柵極絕緣層直接接觸。15. -種半導(dǎo)體裝置，包括： 在襯底上的柵電極層； 在所述柵電極層上的柵極絕緣層； 在所述柵電極層上的氧化物半導(dǎo)體層，在所述柵電極層和所述氧化物半導(dǎo)體層之間具 有所述柵極絕緣層，所述氧化物半導(dǎo)體層包括銦； 在所述氧化物半導(dǎo)體層上的源電極層； 在所述氧化物半導(dǎo)體層上的漏電極層；以及 在所述氧化物半導(dǎo)體層、所述源電極層和所述漏電極層上的絕緣層； 在所述絕緣層上的平坦化的絕緣層， 其中，在所述源電極層和所述漏電極層之間的所述氧化物半導(dǎo)體層的上表面被蝕刻， 使得所述氧化物半導(dǎo)體層的一部分比所述氧化物半導(dǎo)體層在所述源電極層和所述漏電極 層之下的部分更薄， 并且，所述氧化物半導(dǎo)體層的第一部分延伸到所述源電極層和所述漏電極層的外側(cè)邊 緣之外， 并且，所述氧化物半導(dǎo)體層的所述第一部分比所述氧化物半導(dǎo)體層的第二部分更薄， 所述第二部分在所述源電極層和所述漏電極層之下， 并且，所述氧化物半導(dǎo)體層的端部具有彎曲的表面。16. -種半導(dǎo)體裝置，包括： 在襯底上的柵電極層； 在所述柵電極層上的柵極絕緣層； 在所述柵電極層上的氧化物半導(dǎo)體層，在所述柵電極層和所述氧化物半導(dǎo)體層之間具 有所述柵極絕緣層，所述氧化物半導(dǎo)體層包括銦； 在所述氧化物半導(dǎo)體層上的源電極層；以及 在所述氧化物半導(dǎo)體層上的漏電極層， 在所述源電極層和所述漏電極層上的氧化硅膜， 在所述氧化硅膜上的氮化硅膜， 在所述氮化硅膜上的樹(shù)脂層， 在所述樹(shù)脂層上的像素電極層， 其中，在所述源電極層和所述漏電極層之間的所述氧化物半導(dǎo)體層的上表面被蝕刻， 使得所述氧化物半導(dǎo)體層的一部分比所述氧化物半導(dǎo)體層在所述源電極層和所述漏電極 層之下的部分更薄， 并且，所述氧化物半導(dǎo)體層的第一部分延伸到所述源電極層和所述漏電極層的外側(cè)邊 緣之外， 并且，所述氧化物半導(dǎo)體層的所述第一部分比所述氧化物半導(dǎo)體層的第二部分更薄， 所述第二部分在所述源電極層和所述漏電極層之下， 并且，所述氧化物半導(dǎo)體層的端部具有彎曲的表面。17. 根據(jù)權(quán)利要求13到16的任何一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置，其中所述氧化物半導(dǎo)體層還 包括鎵和鋅。18. 根據(jù)權(quán)利要求13到16的任何一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置，其中所述氧化物半導(dǎo)體層與 所述源電極層和所述漏電極層直接接觸。19. 根據(jù)權(quán)利要求13到16的任何一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置，其中所述氧化物半導(dǎo)體層具 有非晶結(jié)構(gòu)。20. -種液晶顯示裝置，包括根據(jù)權(quán)利要求16所述的半導(dǎo)體裝置。21. -種電致發(fā)光顯示裝置，包括根據(jù)權(quán)利要求16所述的半導(dǎo)體裝置。22. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的半導(dǎo)體裝置，其中所述樹(shù)脂層包括選自由聚酰亞胺、丙烯酸 樹(shù)脂、苯并環(huán)丁烯、聚酰胺和環(huán)氧樹(shù)脂組成的一組材料中的至少一個(gè)。
【專利摘要】本發(fā)明涉及半導(dǎo)體裝置的制造方法，其一個(gè)目的在于通過(guò)縮減曝光掩模數(shù)簡(jiǎn)化光刻工序，以低成本且高生產(chǎn)率地制造具有氧化物半導(dǎo)體的半導(dǎo)體裝置。在具有溝道蝕刻結(jié)構(gòu)的反交錯(cuò)型薄膜晶體管的半導(dǎo)體裝置的制造方法中，使用由透過(guò)的光成為多個(gè)強(qiáng)度的曝光掩模的多級(jí)灰度掩模形成的掩模層進(jìn)行氧化物半導(dǎo)體膜以及導(dǎo)電膜的蝕刻工序。在蝕刻工序中，第一蝕刻工序采用使用蝕刻液的濕蝕刻，而第二蝕刻工序采用使用蝕刻氣體的干蝕刻。
【IPC分類】H01L51/50, H01L21/336, H01L21/3065, H01L29/786, G02F1/1368, H01L29/66, H01L27/12
【公開(kāi)號(hào)】CN105448969
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510834526
【發(fā)明人】須沢英臣, 笹川慎也, 村岡大河, 伊藤俊一, 細(xì)羽幸
【申請(qǐng)人】株式會(huì)社半導(dǎo)體能源研究所
【公開(kāi)日】2016年3月30日
【申請(qǐng)日】2009年10月26日
【公告號(hào)】CN101728278A, US8242494, US8686417, US8980685, US20100102315, US20120286266, US20140179058