法蘭和鏡片一體式射頻激光器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及射頻激光器，具體涉及法蘭和鏡片一體式的射頻激光器。
【背景技術(shù)】
[0002]目前市場(chǎng)上存在的傳統(tǒng)的射頻激光器都是采用法蘭和鏡片分體結(jié)構(gòu)。
[0003]傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)的射頻激光器主要存在以下缺陷:
[0004](1)鏡片調(diào)節(jié)困難，調(diào)節(jié)精度低，
[0005](2)鏡片冷卻困難，
[0006](3)密封困難，安裝麻煩。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]鑒于上述背景情況，本發(fā)明提供一種法蘭和鏡片一體式射頻激光器。
[0008]根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供一種法蘭和鏡片一體式射頻激光器，即將法蘭和鏡片做成一個(gè)整體。
[0009]優(yōu)選地，法蘭和鏡片一體式射頻激光器，采用法蘭和鏡片一體式結(jié)構(gòu)。
[0010]優(yōu)選地，法蘭和鏡片一體式射頻激光器，是在射頻激光器的前后真空密封法蘭的內(nèi)端面上加工出光學(xué)反射鏡。
[0011]優(yōu)選地，法蘭和鏡片一體式射頻激光器，一體式的法蘭和鏡片具有光學(xué)角度調(diào)節(jié)功能。
[0012]優(yōu)選地，法蘭和鏡片一體式射頻激光器，一體式的法蘭和鏡片是指直接在一塊整體的法蘭內(nèi)側(cè)加工有光學(xué)反射鏡。本發(fā)明所指的整體法蘭是一整塊金屬加工的或幾塊金屬焊接后形成一個(gè)整體再加工的。
[0013]優(yōu)選地，一體式的法蘭和鏡片的調(diào)節(jié)軸上有頂柱，頂柱與頂絲的接觸端是球面。
[0014]優(yōu)選地，一體式的法蘭和鏡片的調(diào)節(jié)軸周圍分布有調(diào)節(jié)隔離槽。
[0015]優(yōu)選地，一體式的法蘭和鏡片的調(diào)節(jié)隔離槽在其兩端面是相對(duì)應(yīng)的，外端面的調(diào)節(jié)隔離槽深，內(nèi)端面的調(diào)節(jié)隔離槽淺。
[0016]優(yōu)選地，一體式的法蘭和鏡片的兩調(diào)節(jié)隔離槽中間是可調(diào)節(jié)區(qū)，可調(diào)節(jié)區(qū)的寬度在1到3毫米之間。
[0017]優(yōu)選地，本發(fā)明的射頻激光器采用了一體式的法蘭和鏡片。
[0018]與傳統(tǒng)的射頻激光器相比，法蘭和鏡片一體式射頻激光器的優(yōu)點(diǎn)如下:鏡片調(diào)節(jié)簡(jiǎn)單，精度高，安裝方便，易冷卻，光電轉(zhuǎn)換效率高。
【附圖說明】
[0019]結(jié)合以下附圖來詳細(xì)描述本發(fā)明的示例實(shí)施例，
[0020]圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的示例實(shí)施例的法蘭和鏡片一體式射頻激光器的剖視圖；
[0021]圖2示出了根據(jù)本發(fā)明的示例實(shí)施例的一體的全反法蘭和全反射鏡的剖視圖。
[0022]圖3示出了根據(jù)本發(fā)明的示例實(shí)施例的一體的半反法蘭和半反射鏡的剖視圖。
[0023]附圖中，相同或相似的部件由相同或相似的參考標(biāo)號(hào)表示。
【具體實(shí)施方式】
[0024]以下結(jié)合附圖來詳細(xì)描述本發(fā)明的示例實(shí)施例的法蘭和鏡片一體式射頻激光器。
[0025]如圖1所示，法蘭和鏡片一體式射頻激光器主要由激光器殼體6、正極板7、負(fù)極板20、等離子區(qū)21、射頻電極8、一體的全反法蘭12和全反射鏡22、一體的半反法蘭26和半反射鏡19組成。
[0026]如圖2所示，在全反法蘭12的左端面上，在其中心位置加工出全反射鏡22，在全反射鏡22的外側(cè)加工出調(diào)節(jié)隔離槽9，在調(diào)節(jié)隔離槽9的外圍再加工出全反法蘭12與激光器殼體6 (見圖1)的密封槽；在全反法蘭12的右端面上，相對(duì)應(yīng)于調(diào)節(jié)隔離槽9加工出調(diào)節(jié)隔離槽11，調(diào)節(jié)隔離槽11槽深大于調(diào)節(jié)隔離槽9，最后形成可調(diào)節(jié)區(qū)10，可調(diào)節(jié)區(qū)10的寬度在I到3毫米之間；在全反法蘭12的圓周面上，加工出安裝頂柱24的孔，并在相同位置加工出調(diào)節(jié)頂絲25用的螺紋孔，頂柱24的一端加工成球面23。
[0027]如圖3所示，在半反法蘭26的右端面的中心位置將嵌入式鏡塊18焊接到半反法蘭26右端面的中心孔中，焊接位置如圖焊接點(diǎn)3，從而形成變形隔離槽17，在嵌入式鏡塊18上加工出半反射鏡19，在半反法蘭26右端面的外圍加工出銦密封槽4和儲(chǔ)銦槽5，在半反法蘭26的左端面，相對(duì)應(yīng)于調(diào)節(jié)隔離槽17加工出調(diào)節(jié)隔離槽2，調(diào)節(jié)隔離槽2槽深大于調(diào)節(jié)隔離槽17，最后形成可調(diào)節(jié)區(qū)16，可調(diào)節(jié)區(qū)16的寬度在I到3毫米之間；，在半反法蘭26的圓周面上，加工出安裝頂柱24的孔，并在相同位置加工出調(diào)節(jié)頂絲25用的螺紋孔；在半反法蘭26的左端面中心位置安裝輸出窗I。頂柱24的一端加工成球面23。
[0028]以上對(duì)本發(fā)明的示例實(shí)施例的詳細(xì)描述是為了說明和描述的目的而提供。不是為了窮盡或?qū)⒈景l(fā)明限制為所公開的精確形式。顯然，許多變型和改變對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員而言是顯而易見的。實(shí)施例的選擇和描述是為了最佳地說明本發(fā)明的原理及其實(shí)際應(yīng)用，從而使本領(lǐng)域其他技術(shù)人員能夠理解本發(fā)明的各種實(shí)施例和適于特定使用預(yù)期的各種變型。本發(fā)明的實(shí)施例可以省略上述技術(shù)特征中的一些技術(shù)特征，僅解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的部分技術(shù)問題。而且，所公開的技術(shù)特征可以進(jìn)行任意組合。本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求及其等價(jià)物來限定，本領(lǐng)域技術(shù)其他人員可以對(duì)所附權(quán)利要求中所公開的技術(shù)方案進(jìn)行各種變型和組合。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種法蘭和鏡片一體式射頻激光器，所述法蘭和鏡片一體式射頻激光器整體采用前中后結(jié)構(gòu)，激光器外殼是激光器的基礎(chǔ)，位于中部，全反射鏡片和全反法蘭位于激光器的后部，半反射鏡片和半反法蘭位于前部；一體式的法蘭和鏡片是指直接在一塊整體的法蘭內(nèi)側(cè)加工有光學(xué)反射鏡。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的法蘭和鏡片一體式射頻激光器，其特征在于:射頻激光器端面的真空密封法蘭和鏡片采用的是一體式結(jié)構(gòu)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的法蘭和鏡片一體式射頻激光器，其特征在于:在射頻激光器的前后真空密封法蘭的內(nèi)端面上加工出光學(xué)反射鏡。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的法蘭和鏡片一體式射頻激光器，其特征在于:一體式的法蘭和鏡片具有光學(xué)角度調(diào)節(jié)功能。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的法蘭和鏡片一體式射頻激光器，其特征在于:一體式的法蘭和鏡片的調(diào)節(jié)軸上有頂柱，頂柱與頂絲的接觸端是球面。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的法蘭和鏡片一體式射頻激光器，其特征在于:一體式的法蘭和鏡片的調(diào)節(jié)軸周圍分布有調(diào)節(jié)隔離槽。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的法蘭和鏡片一體式射頻激光器，其特征在于:一體式的法蘭和鏡片的調(diào)節(jié)隔離槽在其兩端面是相對(duì)應(yīng)的，外端面的調(diào)節(jié)隔離槽深，內(nèi)端面的調(diào)節(jié)隔離槽淺。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的法蘭和鏡片一體式射頻激光器，其特征在于:一體式的法蘭和鏡片的兩調(diào)節(jié)隔離槽中間是可調(diào)節(jié)區(qū)，可調(diào)節(jié)區(qū)的寬度在1到3毫米。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的法蘭和鏡片一體式射頻激光器，其特征在于:該射頻激光器采用了一體式的法蘭和鏡片。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種射頻激光器，一種法蘭和鏡片一體式射頻激光器，包括一體式的法蘭和鏡片、激光器外殼、激光腔、正負(fù)極板、射頻單元、控制系統(tǒng)；法蘭和鏡片一體式射頻激光器整體采用前中后結(jié)構(gòu)，激光器外殼是激光器的基礎(chǔ)，它位于中部，全反射鏡片和全反法蘭位于激光器的后部，半反射鏡片和半反法蘭位于前部，其他部分均附著于激光器殼體上。
【IPC分類】H01S3/02, H01S3/081
【公開號(hào)】CN105390910
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510734560
【發(fā)明人】徐海軍
【申請(qǐng)人】北京熱刺激光技術(shù)有限責(zé)任公司
【公開日】2016年3月9日
【申請(qǐng)日】2015年11月3日