一種承片臺系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備的制作工藝技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種承片臺系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體專用設(shè)備制造過程中，晶圓減薄機(jī)的承片臺系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)磨削質(zhì)量的關(guān)鍵部件，磨削過程中，晶圓吸附在承片臺系統(tǒng)上，進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，磨削主軸高速旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)晶圓磨削工藝過程。傳統(tǒng)的承片臺系統(tǒng)主要就實(shí)現(xiàn)晶圓的承載，晶圓吸附過程中，對無切邊的晶圓吸附效果比較好，如圖1所示為現(xiàn)有技術(shù)中陶瓷吸盤的結(jié)構(gòu)示意圖；但對一些帶切邊的4寸、5寸、6寸以及8寸的晶圓，由于切邊的存在，會(huì)引起真空的降低，同時(shí)在磨削過程中，磨削液、磨削顆粒會(huì)順著陶瓷盤進(jìn)入管道，從而引起真空栗、控制閥等性能的下降，可靠性的降低，對設(shè)備存在極大的危害性，影響設(shè)備的運(yùn)行可靠性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種承片臺系統(tǒng)，解決了現(xiàn)有技術(shù)中因?yàn)榍羞叺拇嬖趯?dǎo)致的真空降低以及磨削液、磨削顆粒進(jìn)入設(shè)備的問題。
[0004]為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供實(shí)施例提供一種承片臺系統(tǒng)，包括:
[0005]承載系統(tǒng)；以及
[0006]安裝于所述承載系統(tǒng)上的陶瓷吸盤，所述陶瓷吸盤帶有切邊；
[0007]帶切邊的晶圓放置于所述陶瓷吸盤上，所述承載系統(tǒng)帶動(dòng)所述陶瓷吸盤和所述晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)，對所述晶圓進(jìn)行磨削；其中，所述陶瓷吸盤的切邊與所述晶圓的切邊重合。
[0008]其中，所述承載系統(tǒng)上設(shè)置有定位裝置，所述定位裝置用于確定所述承載系統(tǒng)停止轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)所述陶瓷吸盤的切邊的位置。
[0009]其中，所述承載系統(tǒng)包括:
[0010]與所述陶瓷吸盤連接的托盤；
[0011]與所述托盤固定連接的連接板；
[0012]與所述連接板可轉(zhuǎn)動(dòng)連接的安裝座；以及
[0013]與所述安裝座固定連接的驅(qū)動(dòng)裝置；
[0014]所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述連接板和所述托盤在所述安裝座上轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0015]其中，所述定位裝置包括:
[0016]與所述安裝座固定連接的傳感器；以及
[0017]與所述托盤固定連接的傳感器擋光片；
[0018]所述傳感器擋光板隨所述托盤和陶瓷吸盤轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)所述陶瓷吸盤停止轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，所述傳感器擋光片停在所述傳感器的位置，觸發(fā)所述傳感器發(fā)送陶瓷吸盤的切邊與所述傳感器的相對位置給一控制系統(tǒng)，由所述控制系統(tǒng)確定所述陶瓷吸盤的切邊的位置。
[0019]其中，所述驅(qū)動(dòng)裝置包括:
[0020]驅(qū)動(dòng)電機(jī)；
[0021]與所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接的聯(lián)軸器；
[0022]與所述聯(lián)軸器連接的第一軸承，所述第一軸承上設(shè)置有第一齒輪；
[0023]與所述第一齒輪嚙合的第二齒輪，所述第二齒輪設(shè)置于第二軸承上，連接板安裝于所述第二齒輪上；
[0024]所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過所述聯(lián)軸器驅(qū)動(dòng)所述第一齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，所述第一齒輪帶動(dòng)所述第二齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)連接板、托盤和陶瓷吸盤轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0025]其中，所述第一齒輪采用鋁青銅材料制作，所述第二齒輪采用尼龍材料制作。
[0026]其中，所述陶瓷吸盤能夠兼容不同尺寸的帶切邊的晶圓。
[0027]其中，所述陶瓷吸盤的切邊的長度小于對應(yīng)尺寸的晶圓的切邊的長度。
[0028]本發(fā)明的上述技術(shù)方案至少具有如下有益效果:
[0029]本發(fā)明實(shí)施例的承片臺系統(tǒng)中，通過將陶瓷吸盤設(shè)置為帶有切邊的陶瓷吸盤，并將陶瓷吸盤的切邊與晶圓的切邊重合放置，從而通過承載系統(tǒng)帶動(dòng)陶瓷吸盤和晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對晶圓的磨削。由于陶瓷吸盤設(shè)計(jì)為帶切邊的結(jié)構(gòu)，在真空吸附晶圓的過程中，不會(huì)發(fā)生泄漏，磨削液等不會(huì)順著管道進(jìn)入管路，能夠提高設(shè)備的可靠性。
【附圖說明】
[0030]圖1表示現(xiàn)有技術(shù)中陶瓷吸盤的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031]圖2表示本發(fā)明實(shí)施例提供的承片臺系統(tǒng)的陶瓷吸盤的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0032]圖3表示本發(fā)明實(shí)施例提供的承片臺系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖4表示本發(fā)明實(shí)施例提供的承片臺系統(tǒng)的剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0034]為使本發(fā)明要解決的技術(shù)問題、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖及具體實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0035]本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中因?yàn)榍羞叺拇嬖趯?dǎo)致的真空降低以及磨削液、磨削顆粒進(jìn)入設(shè)備的問題，提供一種承片臺系統(tǒng)，通過將陶瓷吸盤設(shè)置為帶有切邊的陶瓷吸盤，并將陶瓷吸盤的切邊與晶圓的切邊重合放置，從而通過承載系統(tǒng)帶動(dòng)陶瓷吸盤和晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對晶圓的磨削。由于陶瓷吸盤設(shè)計(jì)為帶切邊的結(jié)構(gòu)，在真空吸附晶圓的過程中，不會(huì)發(fā)生泄漏，磨削液等不會(huì)順著管道進(jìn)入管路，能夠提高設(shè)備的可靠性。
[0036]如圖2、圖3所示，本發(fā)明實(shí)施例提供一種承片臺系統(tǒng)，包括:
[0037]承載系統(tǒng)；以及
[0038]安裝于所述承載系統(tǒng)上的陶瓷吸盤3，所述陶瓷吸盤3帶有切邊31，所述陶瓷吸盤的結(jié)構(gòu)如圖2所示；
[0039]如圖3所示，帶切邊的晶圓放置于所述陶瓷吸盤3上，所述承載系統(tǒng)帶動(dòng)所述陶瓷吸盤3和所述晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)，對所述晶圓進(jìn)行磨削；其中，所述陶瓷吸盤3的切邊31與所述晶圓的切邊重合。
[0040]本發(fā)明的上述實(shí)施例中，將帶有切邊晶圓的吸附在承片臺系統(tǒng)的陶瓷吸盤3上，晶圓完全覆蓋其陶瓷吸盤3的真空吸盤，且晶圓的切邊與陶瓷吸盤3的切邊31重合，則在磨削晶圓的過程中，不會(huì)發(fā)生泄漏，磨削液也不會(huì)順著管道進(jìn)入管路，提高了承片臺系統(tǒng)的可靠性。本發(fā)明實(shí)施例主要用于對晶圓進(jìn)行加工的半導(dǎo)體專用設(shè)備。
[0041]由于本發(fā)明實(shí)施例采用帶有切邊的陶瓷吸盤3，則其晶圓不能隨意放置，為了保證其陶瓷吸盤3的切邊31與晶圓的切邊重合，則在需要放置晶圓時(shí)需了解陶瓷吸盤的切邊的位置，且放置晶圓時(shí)需控制承載系統(tǒng)停止轉(zhuǎn)動(dòng)，以便于晶圓的放置，故本發(fā)明實(shí)施例需了解承載系統(tǒng)停止時(shí)陶瓷吸盤3的位置。具體的，本發(fā)明實(shí)施例提供一定位裝置實(shí)現(xiàn)對陶瓷吸盤的切邊的定位，即所述承載系統(tǒng)上設(shè)置有定位裝置，所述定位裝置用于確定所述承載系統(tǒng)停止轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)所述陶瓷吸盤3的切邊31的位置。
[0042]故當(dāng)承載系統(tǒng)停止轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，定位裝置能夠確定陶瓷吸盤3的切邊31的位置，其位置可通過坐標(biāo)系或者相對于一固定物件的位置來表示，需要說明的是，若采用坐標(biāo)系標(biāo)識其位置，需首先明確一固定的圓點(diǎn)。
[0043]具體的，本發(fā)明的上述實(shí)施例中，如圖4所示，所述承載系統(tǒng)包括:
[0044]與所述陶瓷吸盤3連接的托盤4 ；
[0045]與所述托盤4固定連接的連接板5 ；
[0046]與所述連接板5可轉(zhuǎn)動(dòng)連接的安裝座10 ;以及
[0047]與所述安裝座10固定連接的驅(qū)動(dòng)裝置；
[0048]所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述連接板5和所述托盤4在所述安裝座10上轉(zhuǎn)動(dòng)。即如圖2及圖3所示，本發(fā)明實(shí)施例提供的承載系統(tǒng)主要通過驅(qū)動(dòng)裝置來驅(qū)動(dòng)連接板5、托盤4以及陶瓷吸盤3 —起轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)放置于陶瓷吸盤3上的晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)晶圓的磨削工藝。
[0049]需要說明的是，其托盤4的形狀與陶瓷吸盤3的形狀一致，托盤4的大小與陶瓷吸盤3的外圍大小一致，也可略大于其陶瓷吸盤3的外圍大小。其連接板5通常采用圓柱形狀，其連接板5與托盤