一種抗電勢(shì)誘導(dǎo)衰減太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池技術(shù)領(lǐng)域，更具體的是涉及一種抗電勢(shì)誘導(dǎo)衰減太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]電勢(shì)誘導(dǎo)衰減(PID)是指在高溫、高濕和高電壓的作用下，太陽(yáng)能電池組件出現(xiàn)功率下降的現(xiàn)象。太陽(yáng)能電池組件在發(fā)電狀態(tài)下五年左右會(huì)出現(xiàn)不同程度的電勢(shì)誘導(dǎo)衰減現(xiàn)象，這成為目前光伏發(fā)電領(lǐng)域面臨的一個(gè)重大問(wèn)題。
[0003]目前電池端的抗PID技術(shù)主要集中在二氧化硅/氮化硅疊層技術(shù)上，這種復(fù)合膜的抗PID性能已經(jīng)得到行業(yè)的高度認(rèn)可。在二氧化硅/氮化硅疊層的制備上，二氧化硅層是重點(diǎn)，其直接影響到組件的抗PID性能，電池外觀和轉(zhuǎn)換效率。二氧化硅層的制備有兩種方法:一種是利用PECVD技術(shù)，對(duì)N20/SiH4電離沉積出二氧化硅層，但這種技術(shù)的二氧化硅層致密性差，對(duì)石墨舟和爐管損傷嚴(yán)重，還會(huì)降低電池的轉(zhuǎn)換效率；一種是在去PSG設(shè)備中增加臭氧氧化裝置，對(duì)硅片表面進(jìn)行氧化，形成二氧化硅層，這種技術(shù)成本低，工藝簡(jiǎn)單，還可以提高電池的轉(zhuǎn)換效率，是目前抗PID技術(shù)的重中之重。
[0004]臭氧抗PID技術(shù)也存在一些弊端，如電池外觀不良比例高，二氧化硅層的致密性有待提高等，也在制約著該技術(shù)的更大范圍推廣，因此，急需對(duì)臭氧抗PID技術(shù)進(jìn)行改良。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的就是為了解決現(xiàn)有技術(shù)之不足而提供的一種抗電勢(shì)誘導(dǎo)衰減太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)設(shè)備。
[0006]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:一種制造抗電勢(shì)誘導(dǎo)衰減太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)設(shè)備，包括依次排列連接的上料區(qū)、刻蝕槽、第一水槽、堿槽、第二水槽、HF酸槽、第三水槽、烘干槽和下料區(qū)；在所述烘干槽與下料區(qū)之間設(shè)有臭氧機(jī)，所述臭氧機(jī)包括水蒸氣清洗箱、干燥箱、臭氧氧化箱和退火箱，所述水蒸氣清洗箱、干燥箱、臭氧氧化箱和退火箱依次排列連接，在所述臭氧機(jī)下方設(shè)有輸送帶，所述水蒸氣清洗箱、干燥箱和臭氧氧化箱上連接有排氣管。
[0007]優(yōu)選的，所述輸送帶為多條滾輪構(gòu)成，滾輪為不銹鋼材質(zhì)。
[0008]優(yōu)選的，所述水蒸氣清洗箱包括水蒸氣產(chǎn)生器、水蒸氣噴頭和清洗箱體；所述水蒸氣產(chǎn)生器設(shè)置在清洗箱體內(nèi)，所述水蒸氣噴頭與所述水蒸氣產(chǎn)生器連通且水蒸氣噴頭的沿清洗箱體的輸出口方向噴灑。
[0009]優(yōu)選的，所述干燥箱由熱風(fēng)產(chǎn)生器、熱風(fēng)噴頭和干燥箱體組成；所述熱風(fēng)產(chǎn)生器設(shè)置在干燥箱體內(nèi)，所述熱風(fēng)噴頭與所述熱風(fēng)產(chǎn)生器連通且熱風(fēng)噴頭的沿干燥箱體的輸出口方向噴灑。
[0010]優(yōu)選的，所述臭氧氧化箱包括臭氧產(chǎn)生器、氣體混合器、第一加熱器、混合氣體噴頭和臭氧氧化箱體；所述臭氧產(chǎn)生器與氣體混合器連接并輸出混合氣體，混合氣體經(jīng)過(guò)第一加熱器流向混合氣體噴頭噴出且在干燥箱體輸出口方向循環(huán)噴灑。
[0011]優(yōu)選的，所述混合氣體噴頭為旋轉(zhuǎn)式混合氣體噴頭。
[0012]優(yōu)選的，所述退火箱包括第二加熱器和退火箱體，所述第二加熱器設(shè)置在退火箱體內(nèi)，第二加熱器向退火箱體輸出口方向熱輻射。
[0013]優(yōu)選的，所述輸送帶的下方還設(shè)置有尾氣回收管。
[0014]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所述一種抗電勢(shì)誘導(dǎo)衰減太陽(yáng)能電池的制備方法的有益效果為:本發(fā)明通過(guò)加入臭氧機(jī)，所述臭氧機(jī)包括水蒸氣清洗箱、干燥箱、臭氧氧化箱和退火箱，所述水蒸氣清洗箱、干燥箱、臭氧氧化箱和退火箱依次排列連接，在所述臭氧機(jī)下方設(shè)有輸送帶，所述水蒸氣清洗箱、干燥箱和臭氧氧化箱上連接有排氣管。本臭氧機(jī)的結(jié)構(gòu)合理、性能穩(wěn)定，娃片在同一生廣線上依次完成制備工藝，不但可以提尚了抗PID電池的良品率，還能提升了電池的抗PID性能，此外，致密的二氧化硅層優(yōu)異的鈍化作用還能提高電池的轉(zhuǎn)換效率。
【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1為現(xiàn)有技術(shù)的去PSG設(shè)備簡(jiǎn)圖；
[0016]圖2為本發(fā)明實(shí)施方式的去PSG和臭氧機(jī)集成設(shè)備簡(jiǎn)圖；
[0017]圖3為抗電勢(shì)誘導(dǎo)衰減太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)設(shè)備的工作流程圖；
[0018]圖4為本發(fā)明實(shí)施方式的臭氧機(jī)結(jié)構(gòu)圖；
[0019]圖5為臭氧機(jī)的工作流程圖；
[0020]圖6為本發(fā)明實(shí)施方式的水蒸氣清洗箱結(jié)構(gòu)圖；
[0021]圖7為本發(fā)明實(shí)施方式的干燥箱結(jié)構(gòu)圖；
【具體實(shí)施方式】
[0022]圖8為本發(fā)明實(shí)施方式的臭氧氧化箱結(jié)構(gòu)圖；
[0023]圖9為本發(fā)明實(shí)施方式的退火箱結(jié)構(gòu)圖。
[0024]下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過(guò)參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，旨在用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0025]下面結(jié)合附圖具體描述根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的抗電勢(shì)誘導(dǎo)衰減太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)設(shè)備。
[0026]現(xiàn)有技術(shù)的去PSG設(shè)備如圖1所示，硅片3經(jīng)歷依次排列連接的上料區(qū)、刻蝕槽、第一水槽、堿槽、第二水槽、HF酸槽、第三水槽、烘干槽和下料區(qū)，將硅片3正背面的PSG去除，將娃片3周邊的p-n結(jié)層去除。
[0027]本發(fā)明是在所述烘干槽與下料區(qū)之間加入臭氧機(jī)100，其集成在所述烘干槽所用設(shè)備中，集成后的設(shè)備簡(jiǎn)圖如圖2和圖4所示，即在現(xiàn)有技術(shù)的基礎(chǔ)上，在烘干槽和下料區(qū)中間安裝臭氧機(jī)100。
[0028]本發(fā)明是在所述烘干槽與下料區(qū)之間加入臭氧機(jī)100，所述臭氧機(jī)100包括水蒸氣清洗箱4、干燥箱5、臭氧氧化箱6和退火箱7，所述水蒸氣清洗箱4、干燥箱5、臭氧氧化箱6和退火箱7依次排列連接，在所述臭氧機(jī)100下方設(shè)有輸送帶2，所述水蒸氣清洗箱4、干燥箱5和臭氧氧化箱6上連接有排氣管，排氣管(圖中未視出)是為水蒸氣清洗箱4、干燥箱5和臭氧氧化箱6補(bǔ)充或者增加一定的氣體，使硅片3在經(jīng)過(guò)上述水蒸氣清洗箱4、干燥箱5和臭氧氧化箱6時(shí)，能快速和有效地噴曬在硅片3表面且作臭氧氧化處理。本臭氧機(jī)100的結(jié)構(gòu)合理、性能穩(wěn)定，硅片3在同一生產(chǎn)線上依次完成制備工藝，不但可以提高抗PID電池的良品率，還能提升電池的抗PID性能，此外，致密的二氧化硅層優(yōu)異的鈍化作用還能提高電池的轉(zhuǎn)換效率。
[0029]如圖3所示，抗電勢(shì)誘導(dǎo)衰減太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)設(shè)備的工作步驟:a)制絨:在硅片3表面形成絨面，降低太陽(yáng)光的反射率；b)熱擴(kuò)散制備p-n結(jié):利