一種頂針機構(gòu)的定位裝置及反應(yīng)腔室的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于半導(dǎo)體設(shè)備制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種頂針機構(gòu)的定位裝置及反應(yīng)腔室。
【背景技術(shù)】
[0002]在進行工藝時，通常借助機械手等傳輸裝置將基片傳輸至反應(yīng)腔室內(nèi)，且與頂針機構(gòu)配合來實現(xiàn)將基片放置在反應(yīng)腔室內(nèi)用于承載基片的卡盤上。
[0003]圖1為頂針機構(gòu)的立體圖。圖2為卡盤和頂針機構(gòu)安裝的立體圖。圖3為圖1所示的頂針機構(gòu)安裝的剖視圖。請一并參閱圖1、圖2和圖3,頂針機構(gòu)包括至少三個頂針10、支撐盤11和升降驅(qū)動單元12，至少三個頂針10設(shè)置在支撐盤11，支撐盤11通過螺釘13與升降驅(qū)動單元12固定，并且，在卡盤14上設(shè)置有與頂針10的數(shù)量和位置一一對應(yīng)的通孔，每個頂針10自與之對應(yīng)的通孔貫穿卡盤14，且可在該通孔內(nèi)進行升降，升降驅(qū)動單元12用于驅(qū)動至少三個頂針10上升，以使至少三個頂針10將位于傳輸裝置上的基片頂起，且在傳輸裝置傳出反應(yīng)腔室后，升降驅(qū)動單12驅(qū)動至少三個頂針10的頂端下降至卡盤14上表面的下方，以使位于至少三個頂針10上的基片放置在卡盤14的上表面上；另外，卡盤14套置在至少三個頂針10上，且安裝在安裝盤15上。
[0004]在實際應(yīng)用中，由于頂針10采用易碎的陶瓷材料制成，且其直徑一般較小(例如，3mm),當(dāng)頂針10相對與之對應(yīng)的卡盤14上通孔的位置不準(zhǔn)確時安裝卡盤14容易造成陶瓷頂針斷裂。為此，在安裝卡盤14之前需要采用定位裝置對至少三個頂針10的位置進行定位，圖4為定位裝置的立體圖，圖5為圖4所示的定位裝置的俯視圖。圖6為安裝定位銷的立體圖。請一并參閱圖4、圖5和圖6，在定位裝置20的上設(shè)置有兩個頂針定位孔21，且在其下表面上設(shè)置有兩個定位銷柱22，并對應(yīng)地在支撐盤11上設(shè)置有與之對應(yīng)的銷孔，在安裝盤15上還設(shè)置有用于固定安裝定位銷24的凹槽，并對應(yīng)地在定位裝置20的兩端設(shè)置有安裝定位銷孔25，下面詳細地描述該定位裝置的定位過程:將安裝定位銷24安裝在安裝盤15上的凹槽內(nèi)，將支撐盤11與頂針升降單元通過螺釘13固定，且螺釘13不需要擰緊，以使支撐盤11可以活動；將定位裝置20的安裝定位銷孔25對應(yīng)套置在安裝定位銷24上，并使定位裝置20沿安裝定位銷24向下運動，同時旋轉(zhuǎn)支撐盤11以使頂針10對應(yīng)貫穿頂針定位孔21，且定位銷柱22的位置對準(zhǔn)支撐盤11上的銷孔的位置；定位裝置20繼續(xù)沿安裝定位銷24向下運動，以使定位銷柱22插進銷孔內(nèi)，此時，擰緊螺釘13使得支撐盤11相對頂針升降單元固定(如圖7所示)，定位完成。
[0005]然而，采用上述的定位裝置在實際應(yīng)用中不可避免的存在以下問題:
[0006]其一，由于定位裝置20的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，使得定位裝置20的加工誤差和磨損容易造成定位不準(zhǔn)確，從而不僅定位裝置20的成本大，而且定位的準(zhǔn)確性不高；
[0007]其二，采用該定位裝置20的定位過程較復(fù)雜，使得定位的時間過長，從而導(dǎo)致定位效率低，進而造成頂針機構(gòu)的裝配時間過長。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題，提供了一種頂針機構(gòu)的定位裝置及反應(yīng)腔室，其不僅結(jié)構(gòu)簡單，從而可以降低投入成本和提高定位準(zhǔn)確性；而且定位過程較簡單，從而可以提高定位效率，進而可以提高頂針機構(gòu)的裝配效率。
[0009]本發(fā)明提供一種頂針機構(gòu)的定位裝置，包括頂針機構(gòu)和安裝盤，在所述安裝盤上設(shè)置有通孔，所述頂針機構(gòu)包括至少三個頂針和支撐盤，所述至少三個頂針設(shè)置在所述支撐盤的上表面上，且所述通孔套置在所述支撐盤的外周壁外側(cè)，在所述支撐盤的外周壁上設(shè)置有至少兩個第一凹槽或第一凸部，并且，在所述通孔的內(nèi)周壁上的預(yù)設(shè)位置處設(shè)置有與所述第一凹槽或所述第一凸部一一對應(yīng)的第二凸部或第二凹槽；借助每個所述第二凸部位于與之對應(yīng)的第一凹槽內(nèi)以及每個所述第一凸部位于與之對應(yīng)的所述第二凹槽內(nèi)，以實現(xiàn)對所述至少三個頂針的位置進行定位。
[0010]其中，在對所述至少三個頂針的位置進行定位之后，在所述安裝盤的上表面上疊置用于承載基片的卡盤，在所述卡盤的上表面上設(shè)置有與所述頂針的數(shù)量和位置一一對應(yīng)的通孔，所述通孔的內(nèi)周壁與所述頂針的外周壁存在第一水平間距，借助每個所述頂針對應(yīng)位于與之對應(yīng)的所述通孔內(nèi)，以使卡盤的下表面疊置在所述安裝盤的上表面上。
[0011]其中，所述第一凹槽與所述第二凸部或所述第一凸部與所述第二凹槽存在第二水平間距，所述第二水平間距小于所述第一水平間距。
[0012]其中，所述頂針機構(gòu)還包括頂針升降單元，所述第一凹槽為貫穿所述支撐盤上下表面的凹槽，所述頂針升降單元用于驅(qū)動所述支撐盤在所述通孔內(nèi)升降，以使每個所述第一凹槽沿與之對應(yīng)的所述第二凸部升降或者每個所述第一凸部在與之對應(yīng)的所述第二凹槽內(nèi)升降。
[0013]其中，在對所述至少三個頂針的位置進行定位之后，將所述頂針升降單元與所述支撐盤固定連接。
[0014]其中，所述頂針升降單元與所述支撐盤采用螺釘固定連接。
[0015]其中，每個所述頂針采用陶瓷材料制成。
[0016]其中，每個所述頂針的直徑為2?4mm。
[0017]其中，所述卡盤與所述安裝盤采用螺釘固定連接。
[0018]本發(fā)明還提供一種反應(yīng)腔室，包括頂針機構(gòu)的定位裝置，所述頂針機構(gòu)的定位裝置采用本發(fā)明提供的上述頂針機構(gòu)的定位裝置。
[0019]本發(fā)明具有下述有益效果:
[0020]本發(fā)明提供的頂針機構(gòu)的定位裝置，其在支撐盤的外周壁上設(shè)置有至少兩個第一凹槽或第一凸部，并且，在通孔的內(nèi)周壁上的預(yù)設(shè)位置處設(shè)置有與第一凹槽或第一凸部一一對應(yīng)的第二凸部或第二凹槽；借助每個第二凸部位于與之對應(yīng)的第一凹槽內(nèi)以及每個第一凸部位于與之對應(yīng)的第二凹槽內(nèi)，以實現(xiàn)對至少三個頂針的位置進行定位，這與現(xiàn)有技術(shù)中采用結(jié)構(gòu)復(fù)雜的定位裝置相比，其不僅結(jié)構(gòu)簡單，從而可以降低投入成本和提高定位準(zhǔn)確性；而且定位過程較簡單，從而可以提高定位效率，進而可以提高頂針機構(gòu)的裝配效率。
[0021]本發(fā)明提供的反應(yīng)腔室，其采用本發(fā)明提供的頂針機構(gòu)的定位裝置，不僅可以降低投入成本和提高定位準(zhǔn)確性，而且可以提高定位效率，進而可以提高頂針機構(gòu)的裝配效率。
【附圖說明】
[0022]圖1為頂針機構(gòu)的立體圖；
[0023]圖2為卡盤和頂針機構(gòu)安裝的立體圖；
[0024]圖3為圖1所示的頂針機構(gòu)安裝的剖視圖；
[0025]圖4為定位裝置的立體圖；
[0026]圖5為圖4所示的定位裝置的俯視圖；
[0027]圖6為安裝定位銷的立體圖；
[0028]圖7為采用定位裝置定位的立體圖；
[0029]圖8為本發(fā)明實施例提供的頂針機構(gòu)的定位裝置的立體圖；
[0030]圖9為本發(fā)明實施例提供的頂針機構(gòu)的定位裝置中的頂針機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031]圖10為本發(fā)明實施例提供的頂針機構(gòu)的定位裝置中的安裝盤的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0032]圖11為卡盤疊置在安裝盤上的局部剖視圖；以及
[0033]圖12為圖8中I的局部剖視圖。
【具體實施方式】
[0034]為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明提供的頂針機構(gòu)的定位裝置及反應(yīng)腔室進行詳細描述。
[0035]圖8為本發(fā)明實施例提供的頂針機構(gòu)的定位裝置的立體圖。圖9為本發(fā)明實施例提供的頂針機構(gòu)的定位裝置中的頂針機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖10為本發(fā)明實施例提供的頂針機構(gòu)的定位裝置中的安裝盤的結(jié)構(gòu)示意圖。請一并參閱圖8、圖9和圖10，本實施例提供的頂針機構(gòu)的定位裝置包括頂針機構(gòu)30和安裝盤40，在安裝盤40上設(shè)置有通孔41，頂針機構(gòu)30包括至少三個頂針31和支撐盤32，每個頂針31采用陶瓷材料制成，每個頂針31的直徑為2?4mm，至少三個頂針31設(shè)置在支撐盤32的上表面上，且通孔41套置在支撐盤32的外周壁外側(cè)，在支撐盤32的外周壁上設(shè)置有至少兩個第一凹槽33，在通孔41的內(nèi)周壁上的預(yù)設(shè)位置處設(shè)置有與第一凹槽33 —一對應(yīng)的第二凸部42 ;借助每個第二凸部42位于與之對應(yīng)的第一凹槽33內(nèi)，以實現(xiàn)對至少三個頂針31的位置進行定位。所謂預(yù)設(shè)位置處是指預(yù)設(shè)的第一凹槽33在該位置處固定可對至少三個頂針31的位置進行定位的位置處。
[0036]容易理解，當(dāng)支撐盤32的直徑過大時，即，支撐盤32的外周壁的面積較大時，可以在支撐盤32的外周壁的外側(cè)設(shè)置三個或者三個以上的第一凹槽33，對應(yīng)地，在通孔41的內(nèi)周壁上設(shè)置與第一凹槽33 —一對應(yīng)的第二凸部42，每個第二凸部42位于與之對應(yīng)的第一凹槽33內(nèi)，借助多個第二凸部42位于第一凹槽33內(nèi)可以進一步對至少三個頂針31進行定位，從而可以進一步提高該頂針機構(gòu)的定位裝置的定位準(zhǔn)確性。
[0037]在本實施例中