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剖面改善的犧牲柵主體形成方法及半導體器件制造方法

文檔序號:8341128閱讀:311來源:國知局
剖面改善的犧牲柵主體形成方法及半導體器件制造方法
【技術(shù)領域】
[0001] 本申請涉及半導體器件的制造,更具體地,涉及一種具有改善剖面特性的犧牲柵 主體的形成方法以及基于此的半導體器件制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 隨著半導體器件的不斷小型化,常規(guī)的Si02 /多晶硅柵堆疊難以滿足器件性能需 求。為此,提出了高K柵介質(zhì)/金屬柵結(jié)構(gòu)。為避免高K柵介質(zhì)/金屬柵結(jié)構(gòu)受到半導體 器件制造工藝中熱處理的影響而性能退化,提出了替代柵工藝。
[0003] 例如,圖1示出了半導體器件100的示例制造工藝。如圖1所示,在襯底102上形 成犧牲柵主體104。這種犧牲柵主體104例如可以通過在襯底102表面上淀積一層多晶硅, 并對其進行反應離子刻蝕(RIE)來形成。由于工藝的限制,得到的犧牲柵主體104-般具 有非堅直的剖面。特別是,犧牲柵主體104 -般呈從下向上漸縮的錐臺型。圖2示出了實 際器件的顯微照片,其中清楚地示出了犧牲柵主體的錐臺型剖面。
[0004] 在犧牲柵主體104的側(cè)面上可以形成柵側(cè)墻106 (例如,氮化硅)。在襯底上可以 形成層間電介質(zhì)層108 (例如,氧化硅)??梢詫娱g電介質(zhì)層108進行平坦化處理如化學 機械拋光(CMP),以露出犧牲柵主體104。此時,可以通過選擇性刻蝕,如利用TMAH溶液,去 除犧牲柵主體104,以在柵側(cè)墻106內(nèi)側(cè)留下空間??梢酝ㄟ^向該空間中形成高K柵介質(zhì)層 和金屬柵主體,來完成器件100。
[0005] 但是,由于犧牲柵主體104的剖面特性,柵側(cè)墻106內(nèi)側(cè)的空間呈現(xiàn)上小下大的剖 面。難以有效地填充這種空間而不帶缺陷。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 鑒于上述問題,本公開提供了一種形成犧牲柵主體的方法及一種基于此的半導體 器件制造方法,其中犧牲柵主體可以具有改善的剖面特性。
[0007] 根據(jù)本公開的一個方面,提供了一種形成犧牲柵主體的方法。該方法可以包括:在 襯底上形成犧牲柵主體層;在犧牲柵主體層上形成硬掩模層,該硬掩膜層構(gòu)圖為對應于將 要形成的柵堆疊的形狀;在硬掩膜層的側(cè)壁上形成側(cè)墻;利用硬掩膜層,對犧牲柵主體層 進行構(gòu)圖,在構(gòu)圖時,側(cè)墻也能夠被去除,其中,構(gòu)圖后的犧牲柵主體層形成犧牲柵主體。
[0008] 根據(jù)本公開的另一方面,提供了制造半導體器件的方法。該方法可以包括:根據(jù)上 述方法,在襯底上形成犧牲柵主體;在犧牲柵主體的側(cè)壁上形成柵側(cè)墻;在形成有犧牲柵 主體和柵側(cè)墻的襯底上形成層間電介質(zhì)層;對層間電介質(zhì)層進行平坦化處理,以露出犧牲 柵主體;選擇性去除犧牲柵主體,在柵側(cè)墻內(nèi)側(cè)留下空間;在所述空間中形成柵介質(zhì)層和 柵主體層。
[0009] 根據(jù)本公開的實施例,在對硬掩膜層構(gòu)圖之后,與常規(guī)工藝中直接利用構(gòu)圖的硬 掩膜層對犧牲柵主體層進行構(gòu)圖不同,先在硬掩膜層的側(cè)壁上形成側(cè)墻。側(cè)墻的材料可以 選擇為能夠與犧牲柵主體層在隨后的構(gòu)圖處理中一起被去除,例如可以包括與犧牲柵主體 層相同的材料。然后,再對犧牲柵主體層進行構(gòu)圖。該構(gòu)圖例如可以進行至側(cè)墻被基本上 完全去除。側(cè)墻的存在將改變犧牲柵主體的剖面,從而呈現(xiàn)例如中間略凹的形狀。這種剖 面形狀的犧牲柵主體有利于后繼的替代柵工藝。
【附圖說明】
[0010] 通過以下參照附圖對本公開實施例的描述,本公開的上述以及其他目的、特征和 優(yōu)點將更為清楚,在附圖中:
[0011] 圖1是示出了根據(jù)相關技術(shù)的半導體器件制造工藝的示意圖;
[0012] 圖2示出了根據(jù)相關技術(shù)的制造工藝得到的犧牲柵主體的顯微照片;
[0013] 圖3-8是示出了根據(jù)本公開實施例的形成犧牲柵主體的流程中一些階段的示意 圖;
[0014] 圖9-13是示出了根據(jù)本公開實施例的以犧牲柵主體為基礎制造半導體器件的流 程中一些階段的示意圖。
【具體實施方式】
[0015] 以下,將參照附圖來描述本公開的實施例。但是應該理解,這些描述只是示例性 的,而并非要限制本公開的范圍。此外,在以下說明中,省略了對公知結(jié)構(gòu)和技術(shù)的描述,以 避免不必要地混淆本公開的概念。
[0016] 在附圖中示出了根據(jù)本公開實施例的各種結(jié)構(gòu)示意圖。這些圖并非是按比例繪制 的,其中為了清楚表達的目的,放大了某些細節(jié),并且可能省略了某些細節(jié)。圖中所示出的 各種區(qū)域、層的形狀以及它們之間的相對大小、位置關系僅是示例性的,實際中可能由于制 造公差或技術(shù)限制而有所偏差,并且本領域技術(shù)人員根據(jù)實際所需可以另外設計具有不同 形狀、大小、相對位置的區(qū)域/層。
[0017] 在本公開的上下文中,當將一層/元件稱作位于另一層/元件"上"時,該層/元 件可以直接位于該另一層/元件上,或者它們之間可以存在居中層/元件。另外,如果在一 種朝向中一層/元件位于另一層/元件"上",那么當調(diào)轉(zhuǎn)朝向時,該層/元件可以位于該 另一層/元件"下"。
[0018] 圖3-8是示出了根據(jù)本公開實施例的形成犧牲柵主體的流程中一些階段的示意 圖。
[0019] 如圖3所示,提供襯底1002。襯底1002可以是各種形式的合適襯底,例如體半 導體襯底如Si、Ge等,化合物半導體襯底如SiGe、GaAs、GaSb、AlAs、InAs、InP、GaN、SiC、 InGaAs、InSb、InGaSb等,絕緣體上半導體襯底(SOI)等。在此,以體硅襯底及硅系材料為 例進行描述。但是需要指出的是,本公開不限于此。在襯底1002上,可以形成淺溝槽隔離 (未示出),以限定有源區(qū)。
[0020] 在襯底1002上,例如通過淀積,可以依次形成犧牲柵介質(zhì)層1004和犧牲柵主體層 1006。犧牲柵介質(zhì)層1004可以包括氧化物(例如,Si02),厚度為約2-4nm;犧牲柵主體層 1006可以包括多晶硅,厚度為約100nm。在犧牲柵介質(zhì)側(cè)層1004和犧牲柵主體層1006的 疊層上方,例如通過淀積,可以形成硬掩膜層1008。硬掩膜層1008可以包括氮化物如氮化 娃,厚度為約80-100nm。
[0021] 接下來,可以通過光刻,對硬掩膜層1008進行構(gòu)圖。例如,如圖4所示,可以在硬 掩膜層1008上涂敷光刻膠,通過掩模對光刻膠進行曝光且然后進行顯影,可以得到構(gòu)圖的 光刻膠1010。該光刻膠1010被構(gòu)圖為對應于將要形成的柵堆疊的形狀。然后,如圖5所 示,通過光刻膠1010,對硬掩膜層1008進行構(gòu)圖如反應離子刻蝕(RIE),該RIE可以停止于 犧牲柵主體層1006。因此,將光刻膠1010的圖案轉(zhuǎn)移到硬掩膜層1008中。之后,例如可以 通過灰化等處理去除光刻膠1010。
[0022] 與常規(guī)工藝中利用構(gòu)圖的硬掩膜層1008直接對犧牲柵主體層1006進行構(gòu)圖不 同,根據(jù)本公開的實施例,先在硬掩膜層1008的側(cè)壁上形成側(cè)墻(spacer)。例如,如圖6所 示,例如通過淀積,在圖5所示的結(jié)構(gòu)上形成一側(cè)墻材料層1012。側(cè)墻材料層1012可以大 致共形地淀積。在此,所謂"大致共形"是指共形度(在堅直表面上生長的厚度與在水平表 面上生長的厚度之比)基本為1,并可以在可接受的范圍(例如約1.0-0. 7)內(nèi)變化??梢?選擇側(cè)墻材料層1012的材料,使得其能夠在隨后對犧牲柵主體層1006進行構(gòu)圖時能夠隨 犧牲柵主體層1006 -同被去除。例如,側(cè)墻材料層1012可以包括與犧牲柵主體層1006相 同的材料,如多晶硅。側(cè)墻材料層1012的淀積厚度(在此,尤指在硬掩膜層1008側(cè)壁上的 厚度;在共形度為1時,可以是指側(cè)墻材料層1012的淀積膜厚)可以為將要形成的柵長的 約30%,可以依據(jù)不同柵長而適當加以增減。側(cè)墻材料層1012可以包括在堅直表面(在 此,硬掩膜層1008的側(cè)壁)上延伸的堅直延伸部分以及在水平表面(在此,犧牲柵主體層 1006的頂面)上延伸的水平延伸部分。然后,可以對材料層進行構(gòu)圖,以基本上去除其橫向 延伸部分。這種構(gòu)圖例如可以按照側(cè)墻形成工藝來進行。具體地,例如可以基本上堅直的 角度,對側(cè)墻材料層1012進行RIE。于是,堅直表面(硬掩膜層1008的側(cè)壁)上的堅直延
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