一種節(jié)能環(huán)保浸洗槽的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及濕法制芯片生產(chǎn)領(lǐng)域，尤其是涉及一種節(jié)能環(huán)保浸洗槽。
【背景技術(shù)】
[0002]在濕法制芯片的生產(chǎn)過程中，經(jīng)過各種工藝環(huán)節(jié)之后，芯片表面會殘留各種化學液體及雜質(zhì)，因此需要對其進行清洗，才能將化學液體及雜質(zhì)清理干凈。在清洗過程中，由于需要保證節(jié)能環(huán)保浸洗槽內(nèi)液體的高度能夠足夠覆蓋芯片，且加液體時不會溢出，因此一般在節(jié)能環(huán)保浸洗槽上均設(shè)置有液位檢測裝置。傳統(tǒng)的液位檢測裝置為直接設(shè)置在節(jié)能環(huán)保浸洗槽體上，在清洗時，芯片有可能會卡在檢測裝置上，既對檢測裝置造成影響，還對芯片的質(zhì)量造成了一定的影響。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明為了克服上述的不足，提供了一種清洗方便，且芯片和液位檢測裝置不會發(fā)生觸碰的節(jié)能環(huán)保浸洗槽。
[0004]本發(fā)明的技術(shù)方案如下:一種節(jié)能環(huán)保浸洗槽，包括節(jié)能環(huán)保浸洗槽體和液位檢測裝置，所述液位檢測裝置包括高液位檢測裝置和低液位檢測裝置，所述節(jié)能環(huán)保浸洗槽體的一側(cè)設(shè)有檢測槽體，所述檢測槽體與節(jié)能環(huán)保浸洗槽體相連通，所述高液位檢測裝置和低液位檢測裝置均設(shè)置在檢測槽體上，所述浸洗槽體上方設(shè)有清洗裝置。
[0005]作為優(yōu)選，所述高液位檢測裝置位于檢測槽體的頂部，低液位檢測裝置位于檢測槽體的底部。
[0006]作為優(yōu)選，所述安全也為檢測裝置位于高液位檢測裝置和低液位檢測裝置之間。
[0007]作為優(yōu)選，所述液位檢測裝置還包括安全液位檢測裝置。
[0008]作為優(yōu)選，所述浸洗槽體底部設(shè)有開口，所述開口上設(shè)有感應(yīng)門。
[0009]作為優(yōu)選，所述開口連接有過濾裝置、凈化裝置和水質(zhì)監(jiān)測裝置。
[0010]作為優(yōu)選，所述過濾裝置上設(shè)有濾渣收集裝置。
[0011]本發(fā)明由于將節(jié)能環(huán)保浸洗槽設(shè)置成連通的節(jié)能環(huán)保浸洗槽體和檢測槽體，節(jié)能環(huán)保浸洗槽內(nèi)放置需要清洗的芯片，檢測槽體上安裝液位檢測裝置，既能夠?qū)σ何贿M行檢測，又使芯片不與液位檢測裝置接觸，在對液位進行檢測的同時，保證了芯片的質(zhì)量。
【附圖說明】
[0012]本發(fā)明將通過例子并參照附圖的方式說明，其中:
[0013]圖1是本發(fā)明的示意圖。
【具體實施方式】
[0014]本說明書中公開的所有特征，或公開的所有方法或過程中的步驟，除了互相排斥的特征和/或步驟以外，均可以以任何方式組合。
[0015]如圖1所示的節(jié)能環(huán)保浸洗槽，包括節(jié)能環(huán)保浸洗槽體I和液位檢測裝置，所述液位檢測裝置包括高液位檢測裝置2和低液位檢測裝置3，所述節(jié)能環(huán)保浸洗槽體I的一側(cè)設(shè)有檢測槽體4，所述檢測槽體4與節(jié)能環(huán)保浸洗槽體I相連通。所述高液位檢測裝置2和低液位檢測裝置3均設(shè)置在檢測槽體4上，所述浸洗槽體I上方設(shè)有清洗裝置。所述高液位檢測裝置2位于檢測槽體4的頂部，低液位檢測裝置3位于檢測槽體4的底部，所述高液位檢測裝置2和低液位檢測裝置3之間還設(shè)有一個安全液位檢測裝置。
[0016]值得注意的是，所述浸洗槽體I底部設(shè)有開口，所述開口上設(shè)有感應(yīng)門。
[0017]值得注意的是，所述開口連接有過濾裝置、凈化裝置和水質(zhì)監(jiān)測裝置。
[0018]值得注意的是，所述過濾裝置上設(shè)有濾渣收集裝置。
[0019]本發(fā)明由于將節(jié)能環(huán)保浸洗槽設(shè)置成連通的節(jié)能環(huán)保浸洗槽體和檢測槽體，節(jié)能環(huán)保浸洗槽內(nèi)放置需要清洗的芯片，檢測槽體上安裝液位檢測裝置，既能夠?qū)σ何贿M行檢測，又使芯片不與液位檢測裝置接觸，在對液位進行檢測的同時，保證了芯片的質(zhì)量。
[0020]本發(fā)明并不局限于前述的【具體實施方式】。本發(fā)明擴展到任何在本說明書中披露的新特征或任何新的組合，以及披露的任一新的方法或過程的步驟或任何新的組合。
【主權(quán)項】
1.一種節(jié)能環(huán)保浸洗槽，包括浸洗槽體(I)和液位檢測裝置，所述液位檢測裝置包括高液位檢測裝置(2)和低液位檢測裝置(3)，其特征是:所述浸洗槽體(I)的一側(cè)設(shè)有檢測槽體(4)，所述檢測槽體(4)與浸洗槽體(I)相連通，所述高液位檢測裝置(2)和低液位檢測裝置(3 )均設(shè)置在檢測槽體(4 )上，所述浸洗槽體(I)上方設(shè)有清洗裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的節(jié)能環(huán)保浸洗槽，其特征是:所述高液位檢測裝置(2)位于檢測槽體(4)的頂部，低液位檢測裝置(3)位于檢測槽體(4)的底部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的節(jié)能環(huán)保浸洗槽，其特征是:所述液位檢測裝置還包括安全液位檢測裝置(5)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的節(jié)能環(huán)保浸洗槽，其特征是:所述安全也為檢測裝置(5)位于高液位檢測裝置(2)和低液位檢測裝置(3)之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的節(jié)能環(huán)保浸洗槽，其特征是:所述浸洗槽體(I)底部設(shè)有開口，所述開口上設(shè)有感應(yīng)門。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的節(jié)能環(huán)保浸洗槽，其特征是:所述開口連接有過濾裝置、凈化裝置和水質(zhì)監(jiān)測裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的節(jié)能環(huán)保浸洗槽，其特征是:所述過濾裝置上設(shè)有濾渣收集>j-U ρ?α裝直。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種節(jié)能環(huán)保浸洗槽，包括節(jié)能環(huán)保浸洗槽體（1）和液位檢測裝置，所述液位檢測裝置包括高液位檢測裝置（2）和低液位檢測裝置（3），所述節(jié)能環(huán)保浸洗槽體（1）的一側(cè)設(shè)有檢測槽體（4），所述檢測槽體（4）與節(jié)能環(huán)保浸洗槽體（1）相連通，所述高液位檢測裝置（2）和低液位檢測裝置（3）均設(shè)置在檢測槽體（4）上，所述浸洗槽體（1）上方設(shè)有清洗裝置。本發(fā)明既能夠?qū)σ何贿M行檢測，又使芯片不與液位檢測裝置接觸，在對液位進行檢測的同時，保證了芯片的質(zhì)量。
【IPC分類】H01L21-02, H01L21-67
【公開號】CN104576435
【申請?zhí)枴緾N201310472496
【發(fā)明人】卡文艷, 季曉剛
【申請人】寧夏琪凱節(jié)能設(shè)備有限公司
【公開日】2015年4月29日
【申請日】2013年10月11日