技術(shù)編號：8262205
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。在濕法制芯片的生產(chǎn)過程中，經(jīng)過各種工藝環(huán)節(jié)之后，芯片表面會殘留各種化學(xué)液體及雜質(zhì)，因此需要對其進行清洗，才能將化學(xué)液體及雜質(zhì)清理干凈。在清洗過程中，由于需要保證節(jié)能環(huán)保浸洗槽內(nèi)液體的高度能夠足夠覆蓋芯片，且加液體時不會溢出，因此一般在節(jié)能環(huán)保浸洗槽上均設(shè)置有液位檢測裝置。傳統(tǒng)的液位檢測裝置為直接設(shè)置在節(jié)能環(huán)保浸洗槽體上，在清洗時，芯片有可能會卡在檢測裝置上，既對檢測裝置造成影響，還對芯片的質(zhì)量造成了一定的影響。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明為了克服上述的不足，提供了一種清...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。