>[0090](第三實(shí)施方式)
[0091]如圖12所示，在第一薄片部件12的與被加壓物W相反的一側(cè)，能夠設(shè)置由比第一薄片部件12剛性高的材料構(gòu)成，并形成為矩形的板狀的剛性施加部件70。剛性施加部件70與收納被加壓物W的位置對應(yīng)，配置于能夠加壓的位置，并形成為比被加壓物W的外形大的尺寸。作為形成剛性施加部件70的材料，能夠使用金屬材料，特別是能夠適當(dāng)?shù)厥褂貌讳P鋼。
[0092]根據(jù)本結(jié)構(gòu)，能夠通過剛性施加部件70在對第一薄片部件12的至少被加壓物W進(jìn)行加壓的部分施加恒定的剛性，因此在被加壓物W具有凹凸形狀的情況下，能夠防止第一薄片部件12侵入被加壓物W的凹部并粘貼的情況，在被加壓物W的材質(zhì)容易與第一薄片部件12粘貼而容易損壞的情況下等，能夠防止被加壓物W的破損。另外，在僅欲對被加壓物W的凸部進(jìn)行加壓的情況下也能夠適當(dāng)?shù)厥褂谩?br>[0093]在本實(shí)施方式中，剛性施加部件70設(shè)置于被加壓物W的相反的一側(cè)，但剛性施加部件70也能夠以面對被加壓物W側(cè)的方式設(shè)置。由此，能夠防止第一薄片部件12與被加壓物W直接接觸，因此在被加壓物W的材質(zhì)容易與第一薄片部件12粘貼而容易損壞的情況下等，能夠防止被加壓物W的破損。
[0094][實(shí)施方式的效果]
[0095]根據(jù)本實(shí)施方式的減壓夾具I以及被加壓物的加壓方法，在收納空間S配置被加壓物W，在對預(yù)備減壓室Y進(jìn)行排氣并減壓后對收納空間S進(jìn)行排氣，由此被加壓物W不會從第一薄片部件受到加壓力，從而能夠在第一薄片部件不與被加壓物W緊貼的狀態(tài)下進(jìn)行收納空間S的排氣。另外，第一薄片部件12具有可撓性，因此能夠使第一薄片部件12與配置于收納空間S的被加壓物W緊貼而固定被加壓物W。由此，能夠在收納空間S充分減壓后，進(jìn)行被加壓物W的加壓，因此能夠防止在被加壓物W殘存有氣泡等，產(chǎn)生空隙等的缺陷。另外，被加壓物W也能夠適當(dāng)?shù)厥褂迷谑占{空間S的減壓結(jié)束之前不欲加載加壓力的材料。
[0096](其他的實(shí)施方式)
[0097]本發(fā)明的減壓夾具I能夠在下述工序所示的陶瓷材料的成型工序中使用。
[0098]1.對漿液狀陶瓷材料進(jìn)行流延成型，得到流延成型體。
[0099]2.使用減壓夾具，在減壓下使流延成型體加熱干燥。由此，能夠縮短干燥時間。
[0100]3.將預(yù)備減壓室向大氣敞開并取下預(yù)備減壓部件。
[0101]4.對干燥的流延成型體熱加壓而進(jìn)行高密度化。此外，此時，收納空間也可以不在減壓狀態(tài)固定流延成型體，在該情況下收納空間向大氣敞開或進(jìn)行充氣。
[0102]通過相同的方法，能夠?qū)μ沾刹牧弦酝獾臐{液材料進(jìn)行成型。
[0103]實(shí)施例
[0104]在本實(shí)施例中，使用第一實(shí)施方式所示的減壓夾具，對具備半導(dǎo)體芯片的基板進(jìn)行基于環(huán)氧片的密封。
[0105]針對第一薄片部件，使用通過玻璃織物加強(qiáng)的300 μ m厚的特氟龍(注冊商標(biāo))制片材，針對第二薄片部件，使用300 μ m厚的兩面鏡面研磨不銹鋼板。第一框狀部件與第二框狀部件分別由鋁材制作。第一預(yù)備減壓部件與第二預(yù)備減壓部件分別通過透明丙烯酸樹脂構(gòu)成。
[0106]首先，分別將第一減壓部件與第一預(yù)備減壓部件、第二減壓部件與第二預(yù)備減壓部件組合，進(jìn)行預(yù)備減壓工序。預(yù)備減壓室通過旋轉(zhuǎn)泵減壓，使內(nèi)壓成為_98kPa。
[0107]在接下來的配置工序中，將環(huán)氧片層疊在具備半導(dǎo)體芯片的基板上，配置于第二薄片部件，經(jīng)由密封部件將第一減壓部件的第一框狀部件載置在第二減壓部件的第二框狀部件上，將被加壓物收納于收納空間內(nèi)。
[0108]在接下來的減壓工序中，通過旋轉(zhuǎn)泵對收納空間進(jìn)行排氣，通過真空調(diào)節(jié)器將收納空間的內(nèi)壓控制在-95?OkPa的范圍內(nèi)。
[0109]在接下來的固定工序中，將預(yù)備減壓室向大氣壓敞開，固定被加壓物，供加壓工序。
[0110]在接下來的加壓工序中，通過具備了能夠加壓的壓熱板的單軸的熱壓裝置對被加壓物進(jìn)行加壓。此處，若壓熱板溫度過低則不會使密封材料固化，若過高則使密封材料劣化，因此優(yōu)選40?200°C，在本實(shí)施例中為120°C。加壓的加壓力過低則不會密封，過高則半導(dǎo)體芯片破損，因此優(yōu)選為100?3000kPa，在本實(shí)施例中為500kPa。加壓的加壓時間過短則密封不充分，過長則生產(chǎn)率降低，因此優(yōu)選I?60秒，在本實(shí)施例中為5秒。
[0111]經(jīng)由以上的工序，能夠制造不產(chǎn)生空隙等而密封的半導(dǎo)體芯片。
[0112]1...減壓夾具；10...第一減壓部件；11...第一框狀部件；12...第一薄片部件；
14...排氣口；15...排氣路；20...第二減壓部件；21...第二框狀部件；22...第二薄片部件；24...排氣口 ；25...排氣路；30...密封部件；40...第一預(yù)備減壓部件；41...主體部；42...隔板；50...第二預(yù)備減壓部件；60...收納空間形成部件；61...定位部件；
70...剛性施加部件；S...收納空間；S2...第二收納空間；W...被加壓物；H...流路空間。
【主權(quán)項】
1.一種減壓夾具，其為了通過加壓單元對進(jìn)行加壓處理的被加壓物進(jìn)行加壓，而對收納有被加壓物的收納空間進(jìn)行減壓， 所述減壓夾具的特征在于，具備: 第一減壓部件，其具備形成為框狀的第一框狀部件、和鋪設(shè)于該第一框狀部件的第一薄片部件； 保持部件，其與所述第一減壓部件對置配置，在該保持部件與所述第一減壓部件之間收納所述被加壓物；密封部件，其配置于所述第一框狀部件與所述保持部件之間，將所述第一減壓部件與所述保持部件之間的空間形成為氣密狀態(tài)，形成能夠收納所述被加壓物的收納空間；以及第一預(yù)備減壓部件，其構(gòu)成為，與第一減壓部件對置并配置于與所述保持部件相反的一側(cè)，在該第一預(yù)備減壓部件與所述第一薄片部件之間形成預(yù)備減壓室，能夠使所述預(yù)備減壓室減壓。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的減壓夾具，其特征在于， 所述保持部件是具備了與所述第一框狀部件對置配置的形成為框狀的第二框狀部件、和鋪設(shè)于該第二框狀部件的第二薄片部件的第二減壓部件， 所述減壓夾具具備第二預(yù)備減壓部件，該第二預(yù)備減壓部件與所述第二減壓部件對置并配置于與所述第一減壓部件相反的一側(cè)，在該第二預(yù)備減壓部件與所述第二薄片部件之間形成預(yù)備減壓室，能夠使所述預(yù)備減壓室內(nèi)部減壓。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的減壓夾具，其特征在于， 所述第一預(yù)備減壓部件或者第二預(yù)備減壓部件具備朝向所述預(yù)備減壓室內(nèi)部形成的隔板。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的減壓夾具，其特征在于， 具備收納空間形成部件， 所述收納空間形成部件是配置于所述保持部件的板狀部件， 該收納空間形成部件將所述收納空間形成為收納被加壓物的第二收納空間、和使第二收納空間與排氣裝置連通的流路空間。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的減壓夾具，其特征在于， 具備進(jìn)行所述被加壓物的定位的定位部件，該定位部件是配置于所述保持部件的框狀的板狀部件。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的減壓夾具，其特征在于， 所述被加壓物是具備半導(dǎo)體芯片的基板以及半導(dǎo)體芯片密封用材料。
7.一種被加壓物的加壓方法，其特征在于，具備: 準(zhǔn)備權(quán)利要求1或2所述的減壓夾具、和被加壓物， 對所述預(yù)備減壓室進(jìn)行排氣并減壓的預(yù)備減壓工序； 在所述收納空間配置所述被加壓物的配置工序； 對所述收納空間進(jìn)行排氣，使被加壓物在不會從所述第一薄片部件受到加壓力的范圍內(nèi)進(jìn)行減壓的減壓工序； 將所述預(yù)備減壓室向大氣壓敞開，由此使所述第一薄片部件與配置于所述收納空間的被加壓物緊貼而固定被加壓物的固定工序；以及 將所述預(yù)備減壓部件從所述減壓部件取下，對已固定的被加壓物進(jìn)行加壓的加壓工序。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的被加壓物的加壓方法，其特征在于， 對所述預(yù)備減壓室進(jìn)行減壓的內(nèi)壓在對所述收納空間進(jìn)行減壓的內(nèi)壓以下。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的被加壓物的加壓方法，其特征在于， 在所述加壓工序中，通過所述固定工序中的固定被加壓物的加壓力，對被加壓物進(jìn)行加壓。
【專利摘要】本發(fā)明提供能夠在收納有被加壓物的空間充分減壓后，進(jìn)行被加壓物的加壓的減壓夾具以及使用該減壓夾具的被加壓物的加壓方法。減壓夾具(1)將第一減壓部件(10)、第二減壓部件(20)、密封部件(30)、第一預(yù)備減壓部件(40)以及第二預(yù)備減壓部件(50)組合而構(gòu)成。第一減壓部件(10)通過在第一框狀部件(11)鋪設(shè)由具有可撓性的薄片狀的部件構(gòu)成的第一薄片部件(12)而形成。在第一框狀部件(11)形成有經(jīng)由排氣口(14)與排氣裝置連接并與收納空間(S)連通的排氣路(15)。第一預(yù)備減壓部件(40)在與第一薄片部件(12)之間形成預(yù)備減壓室(Y)，能夠使預(yù)備減壓室(Y)內(nèi)部減壓。
【IPC分類】H01L21-02, H01L21-56
【公開號】CN104520977
【申請?zhí)枴緾N201380041442
【發(fā)明人】長坂政彥, 中島章五, 杉野修, 古川恭治
【申請人】新東工業(yè)株式會社
【公開日】2015年4月15日
【申請日】2013年9月13日
【公告號】US20150217529, WO2014057769A1