物W側(cè)彎曲而對(duì)被加壓物W進(jìn)行加壓，通過(guò)加壓力緊貼，從而能夠?qū)⒈患訅何颳在沒(méi)有氣泡混入等的狀態(tài)下固定。接著，如圖8(G)所示，從第一減壓部件10以及第二減壓部件20取下第一預(yù)備減壓部件40以及第二預(yù)備減壓部件50。
[0064]接下來(lái)在加壓工序中，如圖8(H)所示，利用加壓?jiǎn)卧狿對(duì)通過(guò)第一減壓部件10以及第二減壓部件20而固定的被加壓物W進(jìn)行加壓。在將被加壓物W搬入、搬出加壓?jiǎn)卧狿時(shí)，能夠預(yù)先通過(guò)減壓夾具I固定被加壓物W，因此能夠防止因搬運(yùn)時(shí)的沖擊等產(chǎn)生的被加壓物W的位置偏移。加壓結(jié)束后，如圖8(1)所示，利用減壓夾具I取出被加壓物W，結(jié)束一系列的工序。
[0065]作為加壓?jiǎn)卧狿，例如能夠采用單軸的加壓裝置。取下第一預(yù)備減壓部件40以及第二預(yù)備減壓部件50并進(jìn)行加壓，因此能夠通過(guò)平面加壓板、加壓模具、加壓輥等剛性構(gòu)造體對(duì)被加壓物W進(jìn)行加壓。由此，能夠?qū)Ρ患訅何锸┘虞^大的加壓力。
[0066]作為加壓?jiǎn)卧狿，能夠采用可邊加熱邊加壓的熱壓裝置、可邊冷卻邊加壓的冷壓裝置等。另外，也能夠采用在加壓?jiǎn)卧邆鋵?duì)減壓夾具I與被加壓物W進(jìn)行預(yù)備加熱的預(yù)備加熱部、對(duì)減壓夾具I與被加壓物W進(jìn)行冷卻的余熱去除部等的結(jié)構(gòu)。由此，能夠在短時(shí)間進(jìn)行可靠的加熱以及冷卻，從而能夠提高生產(chǎn)率。另外，能夠取下第一預(yù)備減壓部件40以及第二預(yù)備減壓部件50而進(jìn)行加熱以及冷卻，因此能夠容易對(duì)被加壓物W進(jìn)行加熱以及冷卻。而且，即使在被加壓物W是因加熱而彎曲那樣的材質(zhì)的情況下，通過(guò)減壓夾具I能夠在預(yù)先固定的狀態(tài)進(jìn)行加熱，因此能夠提高操作性并且能夠提高產(chǎn)品的品質(zhì)。
[0067]減壓夾具I與加壓?jiǎn)卧狿獨(dú)立地設(shè)置，因此能夠預(yù)先在加壓?jiǎn)卧狿的外部將被加壓物W設(shè)置于減壓夾具1，因此能夠提高作業(yè)效率。另外，預(yù)備減壓室Y的減壓、收納空間S的減壓、預(yù)備減壓室Y的向大氣敞開(kāi)等工序(圖6?圖8的(A)?(G)、(I))也能夠在加壓?jiǎn)卧狿的外部進(jìn)行。由此，在一系列的工序中，占有加壓?jiǎn)卧狿僅在加壓工序(圖8(H))，若預(yù)先準(zhǔn)備多個(gè)減壓夾具1，則能夠逐個(gè)將被加壓物W送入加壓?jiǎn)卧狿，因此能夠顯著提高生產(chǎn)率。
[0068]通過(guò)上述的結(jié)構(gòu)，減壓夾具I不會(huì)使被加壓物W從第一薄片部件12受到加壓力，能夠在第一薄片部件12與被加壓物W不緊貼的狀態(tài)下充分進(jìn)行收納空間S的排氣后，使第一薄片部件12與配置于收納空間S的被加壓物W緊貼而固定被加壓物W。由此，能夠防止在被加壓物W殘存有氣泡等、產(chǎn)生空隙等缺陷的情況。
[0069]使用了減壓夾具I的加壓方法，能夠在如下情況下等適當(dāng)?shù)厥褂?，即、在被加壓物W是容易在層間殘存氣泡的層疊體、具有粘著性即使壓力小也容易殘存氣泡等的物體，例如，是上述的基板以及半導(dǎo)體芯片密封用材料、夾持于半導(dǎo)體芯片與散熱片之間的放熱用片材的情況下、在進(jìn)行再少的氣泡也不允許殘留的壓印法的情況下等。另外，在被加壓物W是收納空間S的減壓結(jié)束之前不欲加載加壓力的材料，例如是漿液成型體等情況下也能夠適當(dāng)?shù)厥褂谩?br>[0070]在對(duì)被加壓物W進(jìn)行加壓時(shí)不需要較大的加壓力的情況下，不進(jìn)行基于加壓?jiǎn)卧募訅海軌蚶霉潭üば蛑械膶⒈患訅何颳固定的加壓力(緊貼力)，對(duì)被加壓物W進(jìn)行加壓。換句話說(shuō)，在加壓工序中，通過(guò)固定工序的將被加壓物W固定的加壓力進(jìn)行加壓。
[0071]在本實(shí)施方式中，采用第一薄片部件12由樹(shù)脂材料亦即特氟龍(注冊(cè)商標(biāo))構(gòu)成、第二薄片部件22由金屬材料亦即不銹鋼構(gòu)成的結(jié)構(gòu)，但材質(zhì)、組合不限定于此。
[0072]作為第一薄片部件12以及第二薄片部件22，能夠使用通過(guò)玻璃、陶瓷的晶須分散強(qiáng)化的纖維強(qiáng)化橡膠片、在基布的兩面層疊橡膠薄膜一體化而成的橡膠涂覆織物等纖維強(qiáng)化橡膠片。
[0073]作為第一薄片部件12以及第二薄片部件22，能夠適當(dāng)?shù)厥褂眉婢邉傂院腿彳浂鹊南鹉z涂覆織物。作為橡膠涂覆織物的基布，能夠使用由氟類(lèi)纖維、聚酰亞胺纖維、聚苯硫醚纖維、芳族聚酰胺纖維、尼龍、聚酯、聚酰胺、聚氨基甲酸乙酯、棉等布、玻璃纖維構(gòu)成的片材等。
[0074]作為構(gòu)成橡膠薄膜的橡膠，能夠使用氟橡膠、丁腈橡膠、氨基甲酸乙酯橡膠、氯丁橡膠、天然橡膠、硅橡膠等。也能夠在上述橡膠添加三烷氧基烷基磷酸酯等表面活性劑、碳等作為抗靜電劑。
[0075]在高溫(例如，160°C )下使用減壓夾具I的情況下等，對(duì)第一薄片部件12以及第二薄片部件22要求耐熱性的情況下，例如，作為基布能夠適當(dāng)?shù)厥褂貌ＡЮw維、耐熱性合成纖維，作為橡膠能夠適當(dāng)?shù)厥褂梅鹉z、硅橡膠等。此處，耐熱性合成纖維表示能夠在減壓夾具I的使用溫度下氣密地保持收納空間S時(shí)使用的纖維，能夠適當(dāng)?shù)厥褂貌ＡЮw維、耐熱尼龍等。
[0076]若作為第一薄片部件12以及第二薄片部件22使用纖維強(qiáng)化橡膠片，則熱膨脹較低，因此能夠防止以第一薄片部件12以及第二薄片部件22與其他部件的熱膨脹差為起因的被加壓物W的位置偏移。另外，彈性較高且柔軟，從而富有即使因外力變形若去除外力便能夠恢復(fù)至原來(lái)的形狀的性質(zhì)，因此反復(fù)的使用形狀也不會(huì)變化。使加壓力均勻的緩沖性較高，因此不會(huì)從加壓?jiǎn)卧獙?duì)被加壓物W局部施加壓力而能夠均勻地加壓。耐久性較高，因此不會(huì)因被加壓物W、夾具的角部等而破壞。
[0077]另外，作為第一薄片部件12以及第二薄片部件22，能夠使用聚酰亞胺材質(zhì)的薄片。若作為第一薄片部件12以及第二薄片部件22能夠使用聚酰亞胺材質(zhì)的薄片，則耐熱性較高，因此能夠在高溫下對(duì)被加壓物W進(jìn)行加壓。
[0078](變更例)
[0079]如圖9所示，第二減壓部件20也可以作為平板狀的部件形成。據(jù)此，能夠成為簡(jiǎn)單的構(gòu)造，并且保持被加壓物W的區(qū)域的剛性較高，因此能夠穩(wěn)定地保持被加壓物W，因此例如能夠在漿液成型體等被加壓物W的強(qiáng)度較弱的情況下適當(dāng)?shù)厥褂?。并且，由平板狀的部件形成的第二減壓部件20在將強(qiáng)度較弱的被加壓物W載置在第二減壓部件20上也適用。此外，在通過(guò)加壓工序進(jìn)行加熱或者冷卻的情況下，圖3所示的構(gòu)造能夠使熱容小，因此能夠進(jìn)行迅速的加熱或者冷卻。
[0080]在預(yù)備減壓室Y的大小較小的情況下，或者在主體部41與第一薄片部件12的距離較小，從而第一薄片部件12不會(huì)產(chǎn)生較大彎曲的情況下等，也可以在第一預(yù)備減壓部件40設(shè)置隔板42。針對(duì)第二預(yù)備減壓部件50也相同。
[0081]在上述的實(shí)施方式中，第一薄片部件12通過(guò)第一按壓部件13經(jīng)由密封圈Ila固定于第一框狀部件11，但第一薄片部件12的固定方法不局限于此，例如，也能夠?qū)⒌谝槐∑考?2直接粘合于第一框狀部件11而固定。針對(duì)第二薄片部件22的固定也相同。
[0082]在剛性高到在收納空間S的內(nèi)壓與大氣壓的差壓作用下第一薄片部件12向被加壓物W側(cè)彎曲但未與被加壓物W緊貼程度的情況下等，也有被加壓物W在未固定的狀態(tài)下，被提供到接下來(lái)的加壓工序使用的情況。
[0083](第二實(shí)施方式)
[0084]針對(duì)本發(fā)明的被加壓物減壓夾具的第二實(shí)施方式，參照?qǐng)D進(jìn)行說(shuō)明。此處，與第一實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)使用相同的附圖標(biāo)記，省略說(shuō)明。此外，在圖10(A)的剖視圖以及圖1l(A)的剖視圖中，為了容易明白構(gòu)造，將部件的一部分夸張而較大地描述。
[0085]在本實(shí)施方式中，第二減壓部件20的結(jié)構(gòu)不同。如圖10所示，在第二減壓部件20的第二薄片部件22上設(shè)置有收納空間形成部件60，該收納空間形成部件60以?shī)A持于第一薄片部件12與第二薄片部件22之間的狀態(tài)，將收納空間S形成為收納被加壓物W的第二收納空間S2與用于對(duì)第二收納空間S2內(nèi)部進(jìn)行排氣的流路空間H。在本實(shí)施方式中，收納空間形成部件60由作為金屬材料的不銹鋼形成，且比被加壓物W薄，通過(guò)粘合劑粘貼于第二薄片部件22。
[0086]第二收納空間S2與被加壓物W的形狀配合地形成，在本實(shí)施方式中形成為矩形狀。流路空間H作為收納空間形成部件60的外周以及第二收納空間S2與外周之間的流路而形成，并將第二收納空間S2與排氣路15、25連通。在圖10(A)所示的例中，通過(guò)兩個(gè)要素構(gòu)成收納空間形成部件60。收納空間形成部件60的第一要素具有第二薄片部件22的幾乎一半的大小，并僅欠缺第二收納空間S2的部分。收納空間形成部件60的第二要素與第一要素相比，形成為相應(yīng)地少了與外周形成流路空間H對(duì)應(yīng)的部分。在第一要素與第二要素之間形成有作為第二收納空間S2與外周之間的流路的流路空間H。若像這樣構(gòu)成收納空間形成部件60，則收納空間形成部件60的制作變?nèi)菀住?br>[0087]若使用收納空間形成部件60，則能夠難以發(fā)生被加壓物W的位置偏移，并且確保用于排氣的流路空間H，從而能夠防止因被加壓物W的位置偏移等使排氣流路閉塞的情況，進(jìn)而能夠可靠并且迅速地使第二收納空間S2內(nèi)部排氣。
[0088]另外，如圖11所示，在收納空間形成部件60的內(nèi)側(cè)，換句話說(shuō)，第二收納空間S2的內(nèi)部也能夠設(shè)置進(jìn)行被加壓物W的定位的、形成為框狀的定位部件61。據(jù)此，能夠通過(guò)定位部件61進(jìn)行被加壓物W的正確的定位，因此不會(huì)產(chǎn)生被加壓物W位置偏移，從而能夠進(jìn)行被加壓物W的穩(wěn)定的加壓。定位部件61形成為比收納空間形成部件60薄。因此，即使定位部件61形成為閉合的框狀，也不會(huì)使流路空間H堵塞。
[0089]此處，收納空間形成部件60也能夠設(shè)置于第一薄片部件12。另外，也能夠采用不設(shè)置收納空間形成部件60而僅設(shè)置定位部件61的結(jié)構(gòu)。