專利名稱：制造過程變化控制裝置及其制造過程變化控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種制造過程變化控制裝置及其制造過程變化控制方法，特別是涉及一種適于在用于半導(dǎo)體器件制造過程的制造控制系統(tǒng)中使用的制造過程改變控制裝置及其制造過程變化控制方法。
過去，工廠中的制造過程的控制通常利用控制圖表和類似的方法以實(shí)時(shí)的方式進(jìn)行，快速對(duì)為受控過程收集的在任何傾向中發(fā)現(xiàn)的原因做出確定是必要的。
然而，在其中多次使用同一設(shè)備的具有許多過程和制造過程的工廠中，諸如在一個(gè)半導(dǎo)體工廠中，對(duì)制造過程的干擾因素以一種復(fù)雜的方式相互影響，以致于存在許多這樣的情況，即在發(fā)現(xiàn)基本原因的過程中花掉了大量時(shí)間。
特別是對(duì)于那些作為設(shè)備維護(hù)(其以相應(yīng)于制造異步的執(zhí)行)變化的項(xiàng)，要想對(duì)制造過程中每個(gè)變化項(xiàng)具有的影響進(jìn)行控制是極其困難的。
鑒于上述情況，在諸如半導(dǎo)體工廠的許多制造工廠中，已致力于使制造過程和管理制造過程的系統(tǒng)自動(dòng)化，這不僅是為了改進(jìn)質(zhì)量和可靠性的目的，而且也是為了提高制造設(shè)備的利用率和降低制造成本。
例如，在控制一產(chǎn)品質(zhì)量的情況下，必須對(duì)整個(gè)制造過程進(jìn)行控制。
特別是對(duì)于半導(dǎo)體制造工廠，由于大量和復(fù)雜的制造過程，每次和每個(gè)過程的質(zhì)量的觀測(cè)需要大量的時(shí)間，這限制了由人工進(jìn)行控制。
此外，由于各過程之間的復(fù)雜關(guān)系，僅通過管理每個(gè)單獨(dú)的過程發(fā)現(xiàn)制造數(shù)據(jù)中的干擾或非正常原因是困難的，這種方法必然變成一種不合適的方法。
鑒于這種情況，人們一直試圖建造一個(gè)能夠自動(dòng)控制的制造工廠，并能改進(jìn)整個(gè)制造過程。例如，日本未審專利申請(qǐng)(KOKAI)No。8-202775中公開了一個(gè)有關(guān)過程控制系統(tǒng)的例子，其目的在于在半導(dǎo)體制造工廠中實(shí)現(xiàn)質(zhì)量控制的自動(dòng)化，該過程控制系統(tǒng)是一個(gè)制造過程質(zhì)量控制系統(tǒng)。
在該統(tǒng)中，對(duì)于由一過程數(shù)據(jù)收集裝置對(duì)其中之一和相同控制單元收集的每個(gè)制造數(shù)據(jù)，通過一個(gè)收集數(shù)據(jù)檢查裝置將其與根據(jù)產(chǎn)品技術(shù)要求建立的相應(yīng)控制值和控制上限和控制下限進(jìn)行比較。通過比較，確定各個(gè)值是否落在一設(shè)定范圍內(nèi)，如果超過該范圍，發(fā)出告警，從而把反常情況通知給操作人員。
與此同時(shí)，利用取樣計(jì)算平均值和離中趨勢(shì)。對(duì)收集數(shù)據(jù)中的這些趨向進(jìn)行檢查，有效數(shù)據(jù)被用作更嚴(yán)格控制范圍的自動(dòng)復(fù)位的基礎(chǔ)，由此執(zhí)行嚴(yán)格的質(zhì)量控制以便使產(chǎn)品質(zhì)量維持在一個(gè)高水平，以上所述被作為實(shí)現(xiàn)一般過程控制系統(tǒng)和質(zhì)量的嚴(yán)格控制的方法之一。
在以上描述的制造過程質(zhì)量異?？刂葡到y(tǒng)中，對(duì)于每個(gè)過程的自動(dòng)的技術(shù)規(guī)范判斷基本上僅是就由剛剛執(zhí)行的制造過程導(dǎo)致的結(jié)果的好或壞的質(zhì)量做出判斷，以至即使發(fā)出了告警，它也僅是通知在一制造過程中已發(fā)生了某種異常，也就是說，某一過程超過了一控制限制，而不能提供在制造過程中位置的通知或者產(chǎn)生異常的原因。
因而，雖然有可能利用這種告警停止生產(chǎn)和使異常產(chǎn)品的發(fā)生降到最小，但需要時(shí)間有效地發(fā)現(xiàn)異常的原因，在此期間，因?yàn)橹圃爝^程被停止，所以在生產(chǎn)中造成很大損失。
上述問題出現(xiàn)的原因是由于與異常原因有關(guān)的信息被忽視了。
總的來說，上述異常的原因是多種多樣的，可以想象它們包括突然發(fā)生的設(shè)備問題，人為差錯(cuò)，諸如條件的不適當(dāng)設(shè)定和不適當(dāng)?shù)木S護(hù)，以及大量原材料之間的差異或所買材料質(zhì)量的變化。
在上述情況中，雖然利用一般的控制系統(tǒng)不可能避免設(shè)備突然發(fā)生問題，但是總應(yīng)存在與其他問題相關(guān)的某些信息，過去的制造過程質(zhì)量控制系統(tǒng)不能通知異常原因的原因是對(duì)所述信息的關(guān)系絕對(duì)不與考慮。
鑒于上述情況，做出了本發(fā)明。其目的之一是提供一種制造過程變化控制裝置，和一種制造過程變化控制方法，當(dāng)在一制造過程出現(xiàn)一變化點(diǎn)時(shí)，對(duì)在該變化點(diǎn)之前的信息與變化點(diǎn)之后的相同信息每個(gè)變化項(xiàng)執(zhí)行一統(tǒng)計(jì)比較判斷，由此提供一種對(duì)制造數(shù)據(jù)中的異常原因的直接和快速的獲取，并能夠進(jìn)行快速的校正。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種如下所述的制造過程變化控制裝置和制造過程變化控制方法。
特別地，根據(jù)本發(fā)明的一種制造過程變化控制裝置是在一制造過程控制系統(tǒng)中提供的裝置，其根據(jù)來自制造過程的信息執(zhí)行制造過程變化控制，該裝置具有一個(gè)記錄裝置，其記錄多個(gè)用于執(zhí)行制造過程變化控制的變化項(xiàng)，判斷所需的信息和判斷方法；一個(gè)信息提取/存儲(chǔ)裝置，其從制造過程中提取在上述記錄裝置中存儲(chǔ)的每一變化項(xiàng)的每一個(gè)變化點(diǎn)的前后所需的信息和存儲(chǔ)該信息；一個(gè)比較判斷裝置，其對(duì)由上述信息提取/存儲(chǔ)裝置在每一變化項(xiàng)的每一個(gè)變化點(diǎn)的前后提取的信息執(zhí)行統(tǒng)計(jì)比較判斷；和一個(gè)輸出裝置，輸出比較判斷裝置的比較判斷結(jié)果。
在本發(fā)明的一種制造過程變化控制裝置中，輸出裝置具有一個(gè)用于顯示比較判斷裝置的結(jié)果的顯示裝置和一個(gè)告警發(fā)生裝置，當(dāng)比較判斷裝置的結(jié)果說明超過一規(guī)定值時(shí)告警發(fā)生裝置發(fā)出告警。上述兩裝置也可同時(shí)告警。
在本發(fā)明的一種制造過程變化控制裝置中，比較判斷裝置對(duì)在每一變化項(xiàng)的變化點(diǎn)的前后信息中的顯著差異進(jìn)行檢查。
在本發(fā)明的一種制造過程變化控制裝置中，過程控制系統(tǒng)被提供有一個(gè)過程序列控制裝置，一個(gè)過程條件控制裝置，一個(gè)過程規(guī)范控制裝置，一個(gè)設(shè)備控制裝置，一個(gè)產(chǎn)品歷史控制裝置，一個(gè)設(shè)備歷史控制裝置，和一個(gè)過程質(zhì)量控制裝置。
另一方面，本發(fā)明的制造過程變化控制方法是一種是以來自制造過程的信息為基礎(chǔ)的制造過程變化控制方法，即對(duì)用于要執(zhí)行制造過程變化控制的變化項(xiàng)，判斷所需的信息，和判斷方法進(jìn)行記錄，在所述變化點(diǎn)前后從來自制造過程的各變化項(xiàng)的每一項(xiàng)的信息進(jìn)行提取和存儲(chǔ)，相應(yīng)于每個(gè)提取的變化項(xiàng)的變化點(diǎn)前后的信息做出統(tǒng)計(jì)比較判斷，和輸出該比較判斷的結(jié)果。
在根據(jù)本發(fā)明的一種制造過程變化控制裝置中，在整個(gè)制造過程中，記錄裝置記錄用于執(zhí)行制造過程變化控制的變化項(xiàng)，比較判斷所需的信息，和比較方法，信息提取/存儲(chǔ)裝置提取和存儲(chǔ)記錄裝置中的在每個(gè)變化項(xiàng)的變化點(diǎn)前后從制造過程中獲取的所需信息。
對(duì)于在每個(gè)變化項(xiàng)的每個(gè)變化點(diǎn)前后所提取的信息，由比較判斷裝置進(jìn)行統(tǒng)計(jì)比較判斷。
最后，輸出裝置輸出比較判斷裝置的比較判斷結(jié)果。
通過這些比較判斷結(jié)果，操作人員就是否采取與變化點(diǎn)相應(yīng)的措施做出判斷，由此能夠快速行動(dòng)和改進(jìn)制造過程。
此外，為了能夠清楚地建立變化點(diǎn)是否是制造過程的一種改進(jìn)或是一種惡化，對(duì)影響制造過程的因素進(jìn)行分析而有效地收集數(shù)據(jù)是可能的。
顯著差異檢測(cè)最好被作為一種執(zhí)行上述統(tǒng)計(jì)比較判斷的方法。所需要的是一種執(zhí)行所述顯著差異檢測(cè)的方法，其被存儲(chǔ)在上述記錄裝置中。
如果在輸出裝置中提供有一個(gè)顯示裝置和一個(gè)告警裝置或二者，有可能在比較判斷結(jié)果指示已超過一規(guī)定值的情況下通過發(fā)布一個(gè)告警信號(hào)提供一種用于比較判斷結(jié)果的立即顯示，這樣能夠提供一種異常發(fā)生的快速通知。
在根據(jù)本發(fā)明的一種制造過程變化控制方法中，對(duì)用于執(zhí)行制造過程變化控制的變化項(xiàng)，判斷所需的信息和判斷方法進(jìn)行記錄，從制造過程之前和其后的信息中提取每個(gè)記錄項(xiàng)的變化點(diǎn)前后所需的信息并存儲(chǔ)，對(duì)每個(gè)被提取變化項(xiàng)的變化點(diǎn)的前后信息執(zhí)行統(tǒng)計(jì)比較，和將該比較判斷的結(jié)果輸出，由此能夠相應(yīng)制造過程采取快速行動(dòng)和改進(jìn)措施。
此外，對(duì)影響制造過程的因素進(jìn)行分析而有效地收集數(shù)據(jù)是可能的，這樣，通過一變化點(diǎn)能夠?qū)^程的影響進(jìn)行清楚的標(biāo)識(shí)。
另外，在本發(fā)明中，對(duì)所述制造過程變化控制方法做了進(jìn)一步說明，該方法包括下列步驟記錄多個(gè)用于執(zhí)行每一制造過程變化控制的變化項(xiàng)，判斷所需的信息和判斷方法；從制造過程中提取在存儲(chǔ)的每一變化項(xiàng)的每一個(gè)變化點(diǎn)的前后所需的信息和存儲(chǔ)該信息；對(duì)在每個(gè)變化項(xiàng)的每個(gè)變化點(diǎn)前后所提取的信息執(zhí)行統(tǒng)計(jì)比較判斷，和輸出比較判斷的結(jié)果。
并且，對(duì)每個(gè)賦予執(zhí)行的過程操作預(yù)定建立了多個(gè)變化項(xiàng)，以便執(zhí)行制造過程變化控制。
此外，該制造過程變化控制方法其進(jìn)一步特征在于當(dāng)至少制造過程的制造條件之一已被變化時(shí)，分別從存儲(chǔ)裝置中提取與涉及所述情況變化和該變化點(diǎn)前后的一變化項(xiàng)有關(guān)的多個(gè)預(yù)定信息取樣，和把在變化點(diǎn)之前獲得的包括提取的信息取樣的一個(gè)信息組與在變化點(diǎn)之后獲得的包括提取的信息取樣的另一信息組進(jìn)行比較。
注意，在本發(fā)明中，具有多個(gè)制造過程中出現(xiàn)的變化項(xiàng)。例如，對(duì)于制造一個(gè)半導(dǎo)體基底，該變化項(xiàng)例如包括所使用材料的變化，過濾器的變化，氣體流速或類似的變化，每個(gè)變化項(xiàng)與要賦予變化的這種制造過程的一部分或多個(gè)部分的一些過程條件有著一種特定關(guān)系。
一般的說，當(dāng)所述條件已被變化時(shí)，這種變化也會(huì)對(duì)大量其他因素產(chǎn)生影響。影響產(chǎn)品特性的過程條件有時(shí)會(huì)被大大地變化。
因而，產(chǎn)品的特性應(yīng)該從多個(gè)觀察點(diǎn)觀察，以便檢查產(chǎn)品的特性如何被變化以及什么是使被變化了的產(chǎn)品特性恢復(fù)到預(yù)定特性的好方法。
因此，在本發(fā)明中，例如，當(dāng)一過濾器被變化時(shí)，將對(duì)多個(gè)變化項(xiàng)進(jìn)行監(jiān)視，諸如氣體流速，壓力，氣體的濃度，對(duì)產(chǎn)品的特性等等預(yù)先建立。
因此，當(dāng)過濾器應(yīng)被交換時(shí)，例如，將對(duì)上述的變化項(xiàng)進(jìn)行選擇，并從上述記錄裝置中提取與其有關(guān)的信息。


圖1是表示一制造控制系統(tǒng)的框圖，該系統(tǒng)提供有一個(gè)根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的制造過程變化控制裝置。
圖2是表示根據(jù)本發(fā)明的一制造過程控制裝置的實(shí)施例的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的框圖。
圖3是表示根據(jù)本發(fā)明的一變化控制裝置的實(shí)施例的一個(gè)變化控制方法的例子的流圖。
圖4是一個(gè)過程數(shù)據(jù)對(duì)時(shí)間變化的曲線圖，它示出了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)變化控制裝置的實(shí)施例中一檢測(cè)方法的例子。
下面參考相應(yīng)的附圖對(duì)本發(fā)明的一種制造過程變化控制裝置及制造過程變化控制方法的一個(gè)實(shí)施例進(jìn)行描述。
圖1是表示一制造控制系統(tǒng)的框圖，該系統(tǒng)提供根據(jù)本發(fā)明的制造過程變化控制裝置的實(shí)施例。
在該附圖中，參考數(shù)字1表示一個(gè)制造控制系統(tǒng)，其由以下裝置構(gòu)成過程序列控制裝置2，過程條件控制裝置3，過程規(guī)范控制裝置4，設(shè)備控制裝置5，產(chǎn)品歷史控制裝置6，設(shè)備歷史控制裝置7，過程質(zhì)量控制裝置8，和變化控制裝置9。上述控制裝置2至9均具有能彼此旁路它們之間數(shù)據(jù)的能力。
在開始一個(gè)制造過程之前，操作人員在控制裝置2至9中記錄所需的信息。
過程序列控制裝置2對(duì)每個(gè)制造過程的過程序列進(jìn)行控制，過程條件控制裝置3對(duì)每個(gè)產(chǎn)品的每個(gè)過程的各種條件進(jìn)行控制。
過程規(guī)范控制裝置4對(duì)每個(gè)制造過程的受控過程的規(guī)范值進(jìn)行控制，對(duì)在制造過程中收集的數(shù)據(jù)是否處在技術(shù)規(guī)范內(nèi)進(jìn)行評(píng)估，如果其是在技術(shù)規(guī)范內(nèi)，則繼續(xù)批量產(chǎn)品的制造。
然而，如果技術(shù)規(guī)范已被超過，則過程規(guī)范控制裝置4停止批量產(chǎn)品的制造。設(shè)備控制裝置5對(duì)涉及制造的每個(gè)單獨(dú)設(shè)備進(jìn)行控制，和對(duì)每個(gè)單獨(dú)設(shè)備的操作信息以及在線收集數(shù)據(jù)的格式化進(jìn)行控制。
產(chǎn)品歷史控制裝置6執(zhí)行每個(gè)制造過程和每次批量產(chǎn)品的生產(chǎn)信息的記錄控制。
設(shè)備歷史控制裝置7執(zhí)行從每個(gè)設(shè)備記錄的每類每個(gè)單獨(dú)設(shè)備的操作信息的記錄控制。
過程質(zhì)量控制裝置8執(zhí)行由產(chǎn)品歷史控制裝置6和設(shè)備歷史控制裝置7收集的各種數(shù)據(jù)的收集和分層，根據(jù)一規(guī)定的質(zhì)量控制方法對(duì)數(shù)據(jù)執(zhí)行統(tǒng)計(jì)處理，如果處理結(jié)果是在控制規(guī)范內(nèi)，則繼續(xù)批量產(chǎn)品的制造。
然而，如果該處理結(jié)果是在控制規(guī)范之外，過程質(zhì)量控制裝置8判斷在生產(chǎn)中已出現(xiàn)異常，并發(fā)布告警信號(hào)。
圖2是表示變化控制裝置9的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的框圖，該裝置從由產(chǎn)品歷史控制裝置6和設(shè)備歷史控制裝置7收集的各種數(shù)據(jù)中執(zhí)行所需數(shù)據(jù)的提取，和執(zhí)行變化控制。
變化控制裝置9由變化控制目標(biāo)記錄裝置(記錄裝置)10，相關(guān)記錄提取裝置(信息提取/記錄裝置)11，比較判斷裝置12，和判斷結(jié)果輸出裝置(輸出裝置)13構(gòu)成。所述輸出裝置13具有一個(gè)顯示裝置13a和一個(gè)蜂鳴器(告警發(fā)生裝置)13b。
變化控制目標(biāo)記錄裝置10記錄多個(gè)用于執(zhí)行制造過程變化控制的變化項(xiàng)，判斷所需的信息和判斷方法，和記錄例如過程序列維護(hù)記錄，材料批量變化記錄，其他變化記錄，以及變化控制方法或類似記錄，根據(jù)各種制造參數(shù)的維護(hù)記錄確定所需的項(xiàng)，變化日期和時(shí)間，比較的過程數(shù)據(jù)名，檢測(cè)方法，檢測(cè)數(shù)量，檢測(cè)時(shí)間和對(duì)每個(gè)被存儲(chǔ)項(xiàng)檢測(cè)所需的其他信息。
相關(guān)記錄提取裝置(信息提取/記錄裝置)11從產(chǎn)品歷史控制裝置6和設(shè)備歷史控制裝置7收集由變化控制目標(biāo)記錄裝置10規(guī)定的數(shù)據(jù)(所需信息)。
比較判斷裝置12執(zhí)行變化點(diǎn)前后的各種信息的統(tǒng)計(jì)比較判斷，該信息由相關(guān)記錄提取裝置11提取，根據(jù)由變化控制目標(biāo)記錄裝置10規(guī)定的檢測(cè)方法執(zhí)行顯著差異檢測(cè)，在判斷到顯著差異的情況下，向比較結(jié)果輸出裝置13發(fā)送一個(gè)告警信號(hào)作為檢測(cè)的結(jié)果。
在判斷結(jié)果輸出裝置13處，被發(fā)送的告警和檢測(cè)結(jié)果被輸出到顯示裝置13a，并且由蜂鳴器13b產(chǎn)生告警聲音，由此做出檢測(cè)結(jié)果的通知。
然而，如果顯著差異檢測(cè)的結(jié)果為沒有顯著差異，該檢測(cè)結(jié)果僅被發(fā)送到判斷結(jié)果輸出裝置13，判斷結(jié)果輸出裝置13輸出該檢測(cè)結(jié)果到顯示裝置13a。
圖3是表示根據(jù)變化控制裝置9的變化控制方法的一個(gè)例子的流圖。
與制造工廠中制造過程異步執(zhí)行的所有生產(chǎn)活動(dòng)(諸如制造條件和設(shè)備維護(hù)中變化)，被認(rèn)為變化控制所需的變化點(diǎn)被記錄在變化控制目標(biāo)記錄裝置10。
被記錄的內(nèi)容是諸如變化點(diǎn)名稱，變化點(diǎn)日期和時(shí)間，比較過程數(shù)據(jù)名稱，檢測(cè)方法，檢測(cè)次數(shù)，和檢測(cè)時(shí)間周期等各項(xiàng)。
注意，在本發(fā)明該實(shí)施例中使用的比較過程數(shù)據(jù)名稱是指與產(chǎn)品特征信息、壓力信息、氣體流速信息或與相應(yīng)于制造過程中某一變化項(xiàng)相關(guān)的類似信息，例如過濾器改變或類似的信息。
相關(guān)記錄提取裝置11從產(chǎn)品記錄控制裝置6和設(shè)備記錄控制裝置7中提取和記錄在變化控制目標(biāo)記錄裝置10中記錄的變化點(diǎn)日期和時(shí)間前后的預(yù)定檢測(cè)次數(shù)或預(yù)定檢測(cè)時(shí)間周期的比較過程數(shù)據(jù)，無論哪一個(gè)在先。
此時(shí)，對(duì)所提取數(shù)據(jù)是否為比較過程數(shù)據(jù)進(jìn)行判斷，如果它是比較過程數(shù)據(jù)，該數(shù)據(jù)被記錄，但如果它不是比較過程數(shù)據(jù)，則放棄該提取的數(shù)據(jù)。
隨后，對(duì)數(shù)據(jù)量是否達(dá)到判斷質(zhì)量做出判斷。
如果數(shù)據(jù)的判斷質(zhì)量還沒有達(dá)到，收集更多的比較過程數(shù)據(jù)，但如果數(shù)據(jù)量已經(jīng)達(dá)到，流程進(jìn)到下一步驟。
另一方面，不是把所述信息取樣校正到預(yù)定量，而是可以在已通過一預(yù)定檢查時(shí)間之后執(zhí)行比較判斷。
比較判斷裝置12根據(jù)記錄在變化控制目標(biāo)記錄裝置10中的一檢測(cè)方法在變化點(diǎn)日期和時(shí)間前后執(zhí)行一統(tǒng)計(jì)顯著差異檢測(cè)。
如果存在一顯著差異，變化點(diǎn)名稱和檢測(cè)結(jié)果被送到判斷結(jié)果輸出裝置13，但如果不存在一顯著差異，該變化點(diǎn)名稱被從將被處理的變化表中刪去。
判斷結(jié)果輸出裝置13向顯示裝置13a輸出檢測(cè)結(jié)果的內(nèi)容和告警信號(hào)，并使蜂鳴器13b產(chǎn)生告警聲音。
通過顯示裝置13a和蜂鳴器13b，通知操作人員在變化點(diǎn)日期和時(shí)間前后存在一種顯著差異，并能夠調(diào)查該顯著差異原因，和使用該信息用于對(duì)生產(chǎn)進(jìn)行改進(jìn)。
圖4是表示過程數(shù)據(jù)對(duì)時(shí)間變化的曲線，用于對(duì)變化控制裝置9中的一檢測(cè)方法的例子進(jìn)行說明。
在該圖中，參考數(shù)字21表示過程條件變化之前一變化項(xiàng)的隨時(shí)間變化的數(shù)據(jù)，22表示在過程條件變化之后同一變化項(xiàng)的隨時(shí)間變化的數(shù)據(jù)，Xi是變化前的平均值，Xf是變化后的平均值，而ΔX是變化前的平均值Xi和變化后的平均值Xf的差。
比較判斷裝置12對(duì)在變化日期和時(shí)間前后的數(shù)據(jù)執(zhí)行統(tǒng)計(jì)處理，相應(yīng)的比較過程數(shù)據(jù)由變化控制目標(biāo)記錄裝置10規(guī)定。
作為一個(gè)例子，考慮一個(gè)利用平均值差的比較。計(jì)算變化前的時(shí)變數(shù)據(jù)21的平均值Xi與變化后的時(shí)變數(shù)據(jù)22的平均值Xf之間的差ΔX。
如果差ΔX大于X0，X0是一個(gè)由變化控制目標(biāo)記錄裝置10規(guī)定的檢測(cè)方法的值，則判斷存在一個(gè)顯著差異，于是一個(gè)告警信號(hào)被輸出到判斷結(jié)果輸出裝置13。
不使用本例中的平均值而使用其他檢測(cè)方法也是可以的。
在該本發(fā)明的實(shí)施例中，對(duì)變化項(xiàng)預(yù)先生成一個(gè)項(xiàng)目表，相應(yīng)于該項(xiàng)目的制造過程數(shù)據(jù)被自動(dòng)地收集，并執(zhí)行一個(gè)自動(dòng)檢測(cè)以確定是否存在一個(gè)變化前后的差異。
通過這樣做，在作為檢測(cè)結(jié)果判斷到一顯著差異的情況下，發(fā)布一個(gè)告警信號(hào)以通知在制造過程中已存在著一個(gè)變化，與此同時(shí)有可能直接指示該變化的原因，由此縮短需要完成改進(jìn)的時(shí)間。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明的制造過程變化控制裝置，因?yàn)橄蛞蛔兓刂蒲b置提供有以下裝置一個(gè)記錄記錄裝置，用于記錄執(zhí)行制造過程變化控制的變化項(xiàng)、判斷所需的信息、和判斷方法；一個(gè)信息提取/存儲(chǔ)裝置，其從制造過程中提取在上述記錄裝置中存儲(chǔ)的每一變化項(xiàng)的每一個(gè)變化點(diǎn)的前后所需的信息和存儲(chǔ)該信息；一個(gè)比較判斷裝置，其對(duì)由上述信息提取/存儲(chǔ)裝置在每一變化項(xiàng)的每一個(gè)變化點(diǎn)的前后提取的信息執(zhí)行統(tǒng)計(jì)比較判斷；和一個(gè)輸出裝置，輸出比較判斷裝置的比較判斷結(jié)果，因此能夠快速行動(dòng)和對(duì)相應(yīng)的制造過程進(jìn)行改進(jìn)。
因?yàn)橛锌赡芮宄卮_定變化點(diǎn)是對(duì)制造過程的一種改進(jìn)還是使其惡化，所以有可能為分析影響制造過程的因素有效地收集信息。
此外，如果在輸出裝置中提供一個(gè)顯示裝置或告警裝置或兩者同時(shí)提供，則立即知道比較判斷結(jié)果是可能的。在比較結(jié)果表示一條件處在技術(shù)規(guī)范之外的情況下，告警信號(hào)被產(chǎn)生，有可能迅速了解異常情況的出現(xiàn)。
根據(jù)本發(fā)明的制造過程變化控制方法，因?yàn)閷?duì)用于要執(zhí)行制造過程變化控制的變化項(xiàng)，判斷所需的信息，和判斷方法進(jìn)行記錄，在被存儲(chǔ)的每一項(xiàng)的變化點(diǎn)前后從制造過程提取所需的信息，對(duì)在每一項(xiàng)的變化點(diǎn)前后提取的信息執(zhí)行統(tǒng)計(jì)比較判斷，和將該比較判斷的結(jié)果輸出，有可能快速校正和改進(jìn)制造過程。此外，由于在制造過程中變化點(diǎn)的影響能被清楚的識(shí)別，所以有可能為分析影響制造過程的因素有效地收集信息。
權(quán)利要求
1．一種在制造控制系統(tǒng)中提供的用于制造過程的制造過程變化控制裝置，所述制造過程變化控制裝置根據(jù)從所述制造過程產(chǎn)生的信息對(duì)所述制造過程中的變化進(jìn)行控制，所述制造過程變化控制裝置包括一個(gè)用于記錄多個(gè)執(zhí)行制造過程變化控制的變化項(xiàng)，判斷所需的信息和判斷方法的裝置；一個(gè)信息提取和記錄裝置，用于根據(jù)制造過程中產(chǎn)生的信息在上述記錄裝置中存儲(chǔ)的每一變化項(xiàng)的每一個(gè)變化點(diǎn)的前后提取所需的信息和記錄所述所需信息；一個(gè)比較判斷裝置，其對(duì)由所述信息提取和記錄裝置提取和在每一變化項(xiàng)的所述變化點(diǎn)的前后獲得的相關(guān)信息執(zhí)行統(tǒng)計(jì)比較判斷；和一個(gè)輸出裝置，輸出所述比較判斷裝置的比較判斷結(jié)果。
2．根據(jù)權(quán)利要求1的一種制造過程變化控制裝置，其中所述輸出裝置至少由用于顯示所述比較判斷結(jié)果的顯示裝置和一個(gè)用于產(chǎn)生告警的告警產(chǎn)生裝置之一構(gòu)成，所述告警裝置當(dāng)所述比較判斷結(jié)果指示一預(yù)定規(guī)范的條件超出時(shí)產(chǎn)生告警。
3．根據(jù)權(quán)利要求1的一種制造過程變化控制裝置，其中所述比較判斷裝置相應(yīng)于每個(gè)變化項(xiàng)的一變化點(diǎn)的前后信息執(zhí)行一顯著差異檢測(cè)。
4．根據(jù)權(quán)利要求1的一種制造過程變化控制裝置，其中所述制造控制系統(tǒng)具有一個(gè)過程序列控制裝置，一個(gè)過程條件控制裝置，一個(gè)過程規(guī)范控制裝置，一個(gè)設(shè)備控制裝置，一個(gè)產(chǎn)品歷史控制裝置，一個(gè)設(shè)備歷史控制裝置，和一個(gè)產(chǎn)品質(zhì)量控制裝置。
5．一種以來自制造過程的信息為基礎(chǔ)的制造過程變化控制方法，所述方法包括以下步驟對(duì)要執(zhí)行制造過程變化控制的每一變化項(xiàng)，判斷所需的信息，和判斷方法進(jìn)行記錄；在所存儲(chǔ)的每個(gè)變化項(xiàng)的一變化點(diǎn)的前后從制造過程中提取所需的信息并將其存儲(chǔ)在一存儲(chǔ)裝置中；對(duì)在所述每個(gè)變化項(xiàng)的變化點(diǎn)前后提取的信息執(zhí)行統(tǒng)計(jì)比較判斷；和輸出所述比較判斷的結(jié)果。
6．根據(jù)權(quán)利要求5的一種制造過程變化控制方法，其中為每個(gè)被賦予執(zhí)行的過程變化操作預(yù)定建立多個(gè)變化項(xiàng)，以便執(zhí)行所述的制造過程變化控制。
7．根據(jù)權(quán)利要求5的一種制造過程變化控制方法，其中當(dāng)至少所述制造過程的制造條件之一已發(fā)生變化時(shí)，分別從存儲(chǔ)裝置中提取與涉及所述情況變化和該變化點(diǎn)前后的一變化項(xiàng)有關(guān)的多個(gè)預(yù)定信息取樣，和把在所述變化點(diǎn)之前獲得的包括所述提取的信息取樣的一個(gè)信息組與在所述變化點(diǎn)之后獲得的包括所述提取的信息取樣的另一信息組進(jìn)行比較。
全文摘要
一種在制造過程控制系統(tǒng)中以來自制造過程的信息為基礎(chǔ)的制造過程變化控制裝置,具有一個(gè)用于記錄多個(gè)執(zhí)行制造過程變化控制的變化項(xiàng),判斷所需的信息和判斷方法的裝置;一個(gè)信息提取和記錄裝置,用于從制造過程中提取在上述記錄裝置中存儲(chǔ)的每一變化項(xiàng)的每一個(gè)變化點(diǎn)的前后所需的信息和記錄所述所需信息;一個(gè)統(tǒng)計(jì)學(xué)比較判斷裝置,其對(duì)由所述信息提取和記錄裝置在每一個(gè)變化項(xiàng)的所述變化點(diǎn)的前后所提取的信息執(zhí)行統(tǒng)計(jì)比較判斷;和一個(gè)輸出裝置,輸出所述比較判斷裝置的比較判斷結(jié)果。
文檔編號(hào)H01L21/02GK1213113SQ9811772
公開日1999年4月7日 申請(qǐng)日期1998年8月31日 優(yōu)先權(quán)日1997年8月29日
發(fā)明者稻田雅嘉 申請(qǐng)人:日本電氣株式會(huì)社