專(zhuān)利名稱(chēng)：具有一對(duì)散熱端和多個(gè)引線(xiàn)端的半導(dǎo)體器件的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件的制造方法，尤其是制造一種具有自一單框架形成的一對(duì)散熱端和多個(gè)引線(xiàn)端的半導(dǎo)體器件的制造方法。
通常，半導(dǎo)體器件如LSI(大規(guī)模集成電路)和晶體管被用于各種電子設(shè)備。
在所述的這樣的設(shè)備中，包括半導(dǎo)體電路的一片狀器件被封裝在一樹(shù)脂部件中，由延長(zhǎng)的導(dǎo)體片形成的多個(gè)引線(xiàn)端設(shè)置在該樹(shù)脂部件的相對(duì)側(cè)。由于那些引線(xiàn)端是連接于樹(shù)脂部件內(nèi)的片狀器件的連接盤(pán)上，如果該半導(dǎo)體器件被安裝在電路板上且引線(xiàn)端與信號(hào)線(xiàn)連接，那么各種信號(hào)可以輸入到該片狀器件或從那里輸出。
當(dāng)這樣的半導(dǎo)體器件被用于不同的應(yīng)用時(shí)，例如，半導(dǎo)體器件用于便攜式移動(dòng)電話(huà)消耗大量的電能，其次，半導(dǎo)體器件的片狀器件產(chǎn)生大量的熱量。因此，片狀器件產(chǎn)生的熱必須有效的散發(fā)出去。
下面參照

圖1描述解決上述問(wèn)題的一種常規(guī)的半導(dǎo)體器件的例子。
在作為半導(dǎo)體器件的例子的集成電路器件1中，由半導(dǎo)體電路構(gòu)成的一片狀集成電路被安裝在島狀的散熱片上(未示出)，在散熱片的相對(duì)的左右側(cè)設(shè)置具有相對(duì)較大寬度的一對(duì)散熱端子2。
在相鄰于散熱端子2朝前或朝后的位置排列具有相對(duì)較小寬度的多個(gè)引線(xiàn)端子3。引線(xiàn)端子3通過(guò)接合線(xiàn)(未畫(huà)出)與片狀器件的連接盤(pán)連接。
由于片狀器件、散熱片、接合線(xiàn)、散熱端子2的內(nèi)部的部分和引線(xiàn)端子3的內(nèi)部的部分是封裝在樹(shù)脂部件內(nèi)，端子2和3的外部的部分5和6是伸出的設(shè)在樹(shù)脂部件4的左右側(cè)面上。
端子2和3的外部的部分5和6被向下彎折，每個(gè)散熱端子2的彎折部分形成有一裂縫形的孔7。
當(dāng)具有如上所述的這種結(jié)構(gòu)的集成電路器件1被安裝在電路板的上表面時(shí)，多個(gè)引線(xiàn)端子3是通過(guò)焊錫與電路板的多個(gè)信號(hào)線(xiàn)連接，散熱端子2與導(dǎo)體圖形如電路板的接地線(xiàn)連接。
因此，片狀器件可以從電路板的信號(hào)線(xiàn)輸入和輸出各種信息信號(hào)，并且當(dāng)片狀器件產(chǎn)生熱時(shí)，通過(guò)散熱端子2散熱。
下面參照?qǐng)D2和圖3對(duì)制造具有上述結(jié)構(gòu)的集成電路的方法作一簡(jiǎn)短描述。
首先，如圖2所示，通過(guò)刻蝕一薄金屬板形成引線(xiàn)框架。在引線(xiàn)框架11上，以行列形式排列多個(gè)框架圖形12，散熱片13定位于一框架圖形12的中心位置。
在散熱片13的相對(duì)的左右側(cè)設(shè)置具有相對(duì)較大寬度的一對(duì)散熱端2。在散熱端子2的相對(duì)的前和后側(cè)(即圖2中的上部和下部)設(shè)置具有相對(duì)較小寬度的多個(gè)引線(xiàn)端子3。
端子2和3的中間部分通過(guò)多個(gè)連接桿14相互連接。端子2和3的外部的端部分通過(guò)懸吊細(xì)桿15與框架圖形的外部框架部分16連接。
引線(xiàn)端子3的內(nèi)部的部分17形成使它們徑向的指向散熱片13的中心。散熱端2的內(nèi)部的部分18與散熱片13整體地構(gòu)成。
裂縫形式的孔7形成在散熱端子2的外部的部分，該部分為將在后面被彎折的散熱端子2的部分。
包括半導(dǎo)體電路的一片狀器件被放置在以上述方式形成的引線(xiàn)框架11的散熱片13的上表面，片狀器件的多個(gè)連接盤(pán)和多個(gè)引線(xiàn)端子3是通過(guò)接合線(xiàn)(未畫(huà)出)分別相互連接。
在其上以這種方式整體安裝片狀器件和接合線(xiàn)的引線(xiàn)框架11被放置在一組相互的可拆卸金屬模具的空腔內(nèi)，致使其在散熱端子2和引線(xiàn)端子3的外部的部分5和6被固定并保持在金屬模具之間，并且在這種狀態(tài)下將熔化的樹(shù)脂注入金屬模具的空腔，然后留下將要固化的樹(shù)脂以形成樹(shù)脂部件4。
然后，如圖3所示，將暴露在樹(shù)脂部件4外的引線(xiàn)框架11的連接桿14和懸吊細(xì)桿15用沖頭19至21去除，致使散熱端子2和引線(xiàn)端子3的外部的部分5和6相互分離開(kāi)，將外部的部分5和6向下彎折，從而完成集成電路器件1。
當(dāng)散熱端子2和引線(xiàn)端子3的外部的部分5和6以這種方式彎折時(shí)，盡管散熱端子2通常具有較大的寬度，由于孔7是形成在散熱端子2的彎折處，所以散熱端子2可以如具有較小寬度的引線(xiàn)端子3一樣易于彎折。
然而，由于散熱端子2和引線(xiàn)端子3具有不同的寬度，所以用于切除連接桿14和懸吊細(xì)桿15的沖頭19至20不能以等間距設(shè)置。
沖頭19至20不能以等間距設(shè)置，向一壓床(未畫(huà)出)設(shè)置沖頭19至20的操作是麻煩的，還有這樣設(shè)置沖頭19至20的普遍適用性也很低。
此外，為了切除具有相對(duì)較小寬度的引線(xiàn)端子3的懸吊細(xì)桿15和具有相對(duì)較大寬度的散熱端子2的懸吊細(xì)桿15，需要具有相對(duì)較小寬度的沖頭20和具有相對(duì)較大寬度的沖頭21。換句話(huà)說(shuō)，由于需要具有不同寬度的多種沖頭20和21，從而使集成電路器件1的生產(chǎn)率變低。
本發(fā)明的目的在于提供一種具有高的生產(chǎn)率的生產(chǎn)半導(dǎo)體器件的方法和利于提高半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)率的引線(xiàn)框架。
在本發(fā)明應(yīng)用的一種生產(chǎn)半導(dǎo)體器件的常規(guī)方法中，首先形成一引線(xiàn)框架。
在該引線(xiàn)框架中，單個(gè)散熱片和具有相對(duì)較小寬度的多個(gè)引線(xiàn)端子通過(guò)連接桿和懸吊細(xì)桿相互整體連接。該單個(gè)散熱片具有在其相對(duì)兩側(cè)伸出形成的一對(duì)相對(duì)較大寬度的散熱端子，以及與散熱端子相鄰位置排列的多個(gè)引線(xiàn)端子。
包括上表面設(shè)有多個(gè)連接盤(pán)的一半導(dǎo)體電路的一片狀器件被放置在以上述方式形成的引線(xiàn)框架的散熱片的上表面。片狀器件的多個(gè)連接盤(pán)和引線(xiàn)框架的散熱端子。
在其上式整體安裝片狀器件和接合線(xiàn)的引線(xiàn)框架被放置在一組相互的可拆卸金屬模具的空腔內(nèi)，且該金屬模具被整體閉合，致使散熱端子的外部的部分和引線(xiàn)端子的外部的部分被金屬模具固定。
將熔化的樹(shù)脂注入金屬模具的空腔。留下注入的將要固化的樹(shù)脂以形成樹(shù)脂部件，片狀器件、散熱片、接合線(xiàn)、引線(xiàn)端子的內(nèi)部的部分和散熱端子的內(nèi)部的部分被封裝在該樹(shù)脂部件中。
暴露于樹(shù)脂部件外部的引線(xiàn)框架的連接桿和懸吊細(xì)桿被切除，以便將散熱端子的外部和引線(xiàn)端子彼此分開(kāi)。引線(xiàn)端子的外部和從樹(shù)脂部件向外伸出的引線(xiàn)端子被向下彎折。
按照本發(fā)明在如上所述的生產(chǎn)半導(dǎo)體器件的方法中，在形成引線(xiàn)框架時(shí)，散熱端子和多個(gè)引線(xiàn)端子是在后面將被彎折的部位以連接桿相互連接，而且至少有一個(gè)孔形成在每個(gè)散熱端子的將被彎折的部分，該孔具有與多個(gè)引線(xiàn)端子間的間隙的內(nèi)寬和排列間距相等的內(nèi)寬和排列間距，并且它的相對(duì)面是通過(guò)一個(gè)連接桿相互連接的。
當(dāng)暴露于樹(shù)脂部件外部的引線(xiàn)框架的連接桿被切除時(shí)，位于引線(xiàn)端子和散熱端子的孔之間的間隙處的多個(gè)連接桿按相等的寬度及相等的間距切除。
然后，在散熱端子和多個(gè)引線(xiàn)端子的外部的部分被彎折時(shí)，散熱端子是在該孔的位置被彎折。
此外，根據(jù)本發(fā)明的制造半導(dǎo)體器件的方法，這些孔是形成在具有較大寬度的引線(xiàn)框架的散熱端子的將被彎折的部分，每個(gè)孔的相對(duì)側(cè)是通過(guò)一個(gè)連接桿相互連接。由于散熱端子和多個(gè)引線(xiàn)端子是通過(guò)這些連接桿和多個(gè)具有相等的內(nèi)部寬度且它們之間是相等排列間距的連接桿相互連接的，所以這些連接桿可通過(guò)等間距排列并具有等寬度的多個(gè)沖頭切除。
由于用于切除多個(gè)連接桿的多個(gè)沖頭可以按等間距形成并能以等間距排列，所以將沖頭設(shè)置到壓床內(nèi)的操作是簡(jiǎn)單的，且因此沖頭設(shè)置的普遍性也很好。
在本發(fā)明中，對(duì)應(yīng)于散熱片的固定片狀器件的方向被作為向上方向，與該方向垂直的方向作為側(cè)面方向。然而，這些方向是為了描述上的方便，而在實(shí)際制造和使用中不受任何方向限制。
此外，在本發(fā)明中散熱片表示片狀器件固定在其上并且為片狀器件提供散熱的一個(gè)部件，其可以為一金屬的島狀物。
在本發(fā)明的制造半導(dǎo)體器件的方法中，在形成引線(xiàn)框架時(shí)，散熱端子和多個(gè)引線(xiàn)端子的外部的端子部分可以通過(guò)多個(gè)具有相等的內(nèi)部寬度和相等排列間距的懸吊細(xì)桿與引線(xiàn)框架的外部框架部分連接，在切除暴露于樹(shù)脂部件外部的引線(xiàn)框架的連接桿和懸吊細(xì)桿時(shí)，互連散熱端子和多個(gè)引線(xiàn)端子的外部的端子部分的多個(gè)懸吊細(xì)桿可以按等寬度和等間距切除。
在這個(gè)例子中，由于框架的具有相對(duì)較大寬度的散熱端子和具有相對(duì)較小寬度的引線(xiàn)端子是通過(guò)多個(gè)具有相等的內(nèi)部寬度和相等排列間距的懸吊細(xì)桿與引線(xiàn)框架的外部框架部分連接，所以這些懸吊細(xì)桿可通過(guò)等間距排列并具有等寬度的多個(gè)沖頭切除。
由于用于切除多個(gè)懸吊細(xì)桿的多個(gè)沖頭可以按等間距形成并能以等間距排列，所以將沖頭設(shè)置到壓床內(nèi)的操作是簡(jiǎn)單的，且因此沖頭設(shè)置的普遍性也很好。
應(yīng)用本發(fā)明的一種常規(guī)引線(xiàn)框架，其包括基本為矩形的散熱片，在散熱片的相對(duì)側(cè)端伸出有一對(duì)相對(duì)較大寬度的散熱端子，排列在與散熱端子相鄰位置的具有相對(duì)較小寬度的多個(gè)引線(xiàn)端子，位于散熱端子和多個(gè)引線(xiàn)端子的外端子部分的外側(cè)的外框架部分，用于將連接散熱端子和多個(gè)引線(xiàn)端子的外端子部分分別連接到外框架部分的多個(gè)懸吊細(xì)桿，以及用于互連散熱端子和多個(gè)引線(xiàn)端子的中間的部分的多個(gè)連接桿。
上面描述了本發(fā)明中的一個(gè)引線(xiàn)框架。
每個(gè)散熱端子上至少形成有一個(gè)孔，使該孔具有與多個(gè)引線(xiàn)端之間的間隙相等的寬度和相等的排列距離，并且該孔的相對(duì)側(cè)是通過(guò)一個(gè)連接桿相互連接，互連散熱端子和多個(gè)引線(xiàn)端子的中間的部分的多個(gè)連接桿具有與散熱端子上的孔的連接桿相等的總長(zhǎng)度和相等的排列距離。
此外，對(duì)于本發(fā)明的引線(xiàn)框架，散熱端子上的孔形成在具有相對(duì)較大寬度的將被彎折的位置，每個(gè)孔的相對(duì)側(cè)通過(guò)一個(gè)連接桿相互連接。由于散熱端子和多個(gè)引線(xiàn)端子是通過(guò)這些連接桿和多個(gè)與這些連接桿有相等的內(nèi)部寬度和相等排列間距的連接桿相互連接的，所以這些連接桿可通過(guò)等間距排列并具有等寬度的多個(gè)沖頭切除。
多個(gè)具有相等的內(nèi)部寬度和相等排列間距的懸吊細(xì)桿與引線(xiàn)框架的外部框架部分連接，所以這些懸吊細(xì)桿可通過(guò)等間距排列并具有等寬度的多個(gè)沖頭切除。
由于用于切除多個(gè)連接桿的多個(gè)沖頭可以按等間距形成并能以等間距排列，所以將沖頭設(shè)置到壓力機(jī)內(nèi)的操作是簡(jiǎn)單的，且因此沖頭設(shè)置的普遍性也很好。
本發(fā)明的引線(xiàn)框架可以設(shè)置成使散熱端子和多個(gè)引線(xiàn)端子的外端子部分通過(guò)具有等內(nèi)部寬度和等間距的多個(gè)懸吊細(xì)桿與引線(xiàn)框架的外部框架部分連接。
在這個(gè)例子中，由于框架的具有相對(duì)較大寬度的散熱端子和具有相對(duì)較小寬度的引線(xiàn)端子是通過(guò)多個(gè)具有相等的內(nèi)部寬度和相等排列間距的懸吊細(xì)桿與外部框架部分連接，所以這些懸吊細(xì)桿可通過(guò)等間距排列并具有等寬度的多個(gè)沖頭切除。
由于用于切除多個(gè)懸吊細(xì)桿的多個(gè)沖頭可以按等間距形成并能以等間距排列，所以將沖頭設(shè)置到壓力機(jī)內(nèi)的操作是簡(jiǎn)單的，且因此沖頭設(shè)置的普遍性也很好。
通過(guò)下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施例的描述，將會(huì)對(duì)本發(fā)明的以上和其它的目的、特征和積極效果有更清楚的了解。
圖1是表示一常規(guī)的半導(dǎo)體器件的外形的一透視圖；圖2是表示常規(guī)的引線(xiàn)框架的一平面圖；圖3是顯示引線(xiàn)框架的連接桿和懸吊細(xì)桿在被切除狀態(tài)時(shí)的一平面圖；圖4是表示本發(fā)明的一實(shí)施例的引線(xiàn)框架的一平面圖；圖5是顯示引線(xiàn)框架的連接桿和懸吊細(xì)桿在被切除狀態(tài)時(shí)的一平面圖；圖6是顯示引線(xiàn)框架的連接桿和懸吊細(xì)桿被切除之后的狀態(tài)的一平面圖；圖7是表示一完成的半導(dǎo)體器件的外形的一透視圖；圖8是表示生產(chǎn)半導(dǎo)體器件的方法的一流程圖。
下面參照附圖4至7介紹本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例。對(duì)于本實(shí)施例中與前面所述的常規(guī)例子中共有的部件用相同的術(shù)語(yǔ)表示，并省略了對(duì)它們的描述。
首先，如圖7所示，與前面所述的集成電路1類(lèi)似的，在作為本實(shí)施例的半導(dǎo)體器件的集成電路器件31中，在其上裝有一片狀器件的散熱片的相對(duì)的左側(cè)和右側(cè)突出地設(shè)置具有相對(duì)較大寬度的一對(duì)散熱端子32。
在與散熱端子32相鄰的向前和向后的位置設(shè)置具有相對(duì)較小寬度的多個(gè)引線(xiàn)端子33，設(shè)置在樹(shù)脂部件34中并且從中伸出的端子32或33的外部的部分35或36向下彎折。
然而，本實(shí)施例的集成電路器件31不同于前面所述的集成電路器件1，具有相對(duì)較小寬度的兩個(gè)孔37被形成在每個(gè)散熱端子32的彎折部分。散熱端子32的孔37具有與多個(gè)引線(xiàn)端子33之間的縫隙寬度相等的內(nèi)部寬度和與間隙的排列間距相等的排列間距。
還有具有上面結(jié)構(gòu)的本實(shí)施例的集成電路器件31被固定在電路板的上表面時(shí)，集成電路器件31的多個(gè)引線(xiàn)端子33是通過(guò)焊錫與電路板的多個(gè)信號(hào)線(xiàn)連接，該對(duì)散熱端子32與如電路板的接地線(xiàn)或電路板的類(lèi)似線(xiàn)路的導(dǎo)體圖形連接。
所以，片狀器件可以從電路板的信號(hào)線(xiàn)輸入和各種信息信號(hào)，而片狀器件產(chǎn)生的熱可以從散熱端子32散出。
下面參照附圖簡(jiǎn)略的描述如上所述的集成電路器件的制造方法。
通過(guò)刻蝕薄金屬板形成如圖4所示的引線(xiàn)框架41。
并對(duì)于這個(gè)引線(xiàn)框架41，以行和列設(shè)置多個(gè)集成電路器件31的框架圖形42，散熱片43是位于每個(gè)框架圖形42的中間。
在散熱片43的相對(duì)的左側(cè)和右側(cè)突出地設(shè)置具有相對(duì)較大寬度的一對(duì)散熱端32。在散熱端子32的前側(cè)和后側(cè)設(shè)置具有相對(duì)較小寬度的多個(gè)引線(xiàn)端子33，也就是在圖4中的上部和下部。
端子32和33的將被彎折的部分是通過(guò)多個(gè)連接桿44相互連接。端子32和33的外端部分是通過(guò)懸吊細(xì)桿45與框架圖形42的外部框架部分46連接。
引線(xiàn)端子33的內(nèi)部部分47被形成為使它們徑向的直指散熱片43的中心。散熱端子32的內(nèi)部部分48是與散熱片43整體形成的。
在每個(gè)散熱端子32的外部的將要彎折的部分形成兩個(gè)孔37。然而，由于每個(gè)孔37的相對(duì)的前側(cè)和后側(cè)，也就是圖4中的上部和下部，是通過(guò)一個(gè)連接桿44連接的，所以此時(shí)兩個(gè)孔37形成為四個(gè)孔。
由于散熱端子32的孔37如前面所述的與多個(gè)引線(xiàn)端子33之間的間隙具有相等的內(nèi)部寬度和相等的排列間距，所以那些互連孔37的相對(duì)側(cè)的連接桿44與互連端子32和33的連接桿44具有相同的總長(zhǎng)和相等的排列間距。
此外，當(dāng)具有相對(duì)較小寬度的多個(gè)引線(xiàn)端子33通過(guò)具有相對(duì)較小寬度的多個(gè)懸吊細(xì)桿45分別與框架圖形42的外部框架部分46連接時(shí)，具有相對(duì)較大寬度的每個(gè)散熱端子32具有相對(duì)較小寬度的三個(gè)懸吊細(xì)桿45連接。那些懸吊細(xì)桿45具有相等的內(nèi)部寬度和相等的排列間距。
包括一半導(dǎo)體電路的一片狀器件被放置在以上述方式形成的引線(xiàn)框架41的散熱片43的上表面，該片狀器件的多個(gè)連接盤(pán)和多個(gè)引線(xiàn)端子33分別與通過(guò)接合線(xiàn)(未畫(huà)出)相互連接。
其上整體裝有片狀器件和接合線(xiàn)的引線(xiàn)框架41被放置在一組相互的可拆卸金屬模具的空腔內(nèi)，致使其在端子32和33的外部的部分35和36被固定在金屬模具之間，并且在這種狀態(tài)下，將熔化的樹(shù)脂注入金屬模具的空腔內(nèi)并將其留在其內(nèi)以便固化形成樹(shù)脂部件34。
然后，如圖5和圖6所示，暴露于樹(shù)脂部件34外部的引線(xiàn)框架41的連接桿44和懸吊細(xì)桿45被切除，且端子32和33的外部的部分35和36相互分離。然后將外部的部分35和36如圖7所示向下彎折，從而完成了集成電路器件31。
對(duì)于本付出實(shí)施例的集成電路器件31，在彎折端子32和33的外部的部分35和36時(shí)，盡管散熱端子32通常具有較大的寬度，由于它們?cè)趯⒈粡澱厶幱锌?7，所以它們可以如具有較小寬度的引線(xiàn)端子33一樣易于彎折。
此外，即使散熱端子32和引線(xiàn)端子33具有不同的寬度，由于連接桿44和懸吊細(xì)桿45具有相等的寬度并以相等的間距排列，所以用于切除它們的沖頭51和52可以等間距設(shè)置。
因此，將沖頭51和52設(shè)置到壓床(未畫(huà)出)內(nèi)的操作是簡(jiǎn)單的，且因此沖頭51和52設(shè)置的普遍性也很高。
此外，具有相對(duì)較小寬度的引線(xiàn)端子33和具有相對(duì)較大寬度的散熱端子32是通過(guò)具有相對(duì)較小寬度的懸吊細(xì)桿45與引線(xiàn)框架41的外部框架部分46連接。所以用于切除懸吊細(xì)桿45的沖頭52可以使用單一種類(lèi)的沖頭，且集成電路器件31可以高生產(chǎn)率的制造。
本發(fā)明的最佳實(shí)施例已用特定的術(shù)語(yǔ)進(jìn)行了描述，這種描述僅是用于說(shuō)明本發(fā)明的目的，應(yīng)認(rèn)識(shí)到所作的一些變化和改動(dòng)并沒(méi)有脫離所附權(quán)利要求的精神和范圍。
權(quán)利要求
1.一種生產(chǎn)半導(dǎo)體器件的方法，其特征在于包括步驟形成一引線(xiàn)框架，該引線(xiàn)框架包括一單個(gè)散熱片，該散熱片具有在其相對(duì)兩側(cè)伸出形成的一對(duì)相對(duì)較大寬度的散熱端子和設(shè)置在與散熱端子相鄰位置的具有相對(duì)較小寬度的多個(gè)引線(xiàn)端子，散熱端子和多個(gè)引線(xiàn)端子通過(guò)支撐元件的方式相互連接，散熱端子至少具有一個(gè)孔，孔的寬度和間距與多個(gè)引線(xiàn)端子的之間的間隙的寬度和間隙相等，孔的相對(duì)側(cè)是通過(guò)一個(gè)支撐件相互連接；將包括一半導(dǎo)體電路并且其上表面有多個(gè)連接盤(pán)的一片狀器件放置在引線(xiàn)框架的散熱片的上表面；用接合線(xiàn)將該片狀器件的多個(gè)連接盤(pán)和引線(xiàn)框架的多個(gè)引線(xiàn)端子分別相互連接；將其上整體安裝該片狀器件和接合線(xiàn)的引線(xiàn)框架放置在一組相互的可拆卸金屬模具的空腔內(nèi)；閉合所述的金屬模具使散熱端子的部分和引線(xiàn)端子的部分用所述的金屬模具固定；將熔化的樹(shù)脂注入所述金屬模具的所述空腔內(nèi)；固化注入的樹(shù)脂以便形成樹(shù)脂部件，在其中封裝片狀器件、散熱片、接合線(xiàn)、散熱端子的部分和引線(xiàn)端子的部分；按相等的寬度和以相等的間距切除位于暴露在樹(shù)脂部件外部的引線(xiàn)端子間間隙處和暴露在樹(shù)脂部件外部的散熱端子的孔間的多個(gè)支撐元件以將散熱端子和引線(xiàn)端子相互分別分開(kāi)；將暴露在樹(shù)脂部件外的引線(xiàn)端子向下彎折并在暴露在樹(shù)脂部件外的孔的部分彎折散熱端子。
2.一種生產(chǎn)半導(dǎo)體器件的方法，其特征在于包括步驟形成一引線(xiàn)框架，該引線(xiàn)框架包括一單個(gè)散熱片，該散熱片具有在其相對(duì)兩側(cè)伸出形成的一對(duì)相對(duì)較大寬度的散熱端子和設(shè)置在與散熱端子相鄰位置的具有相對(duì)較小寬度的多個(gè)引線(xiàn)端子，散熱端子和多個(gè)引線(xiàn)端子是通過(guò)具有相同寬度和相同間距的多個(gè)支撐元件與引線(xiàn)框架的外部框架部分連接，散熱端子和多個(gè)引線(xiàn)端子是通過(guò)是通過(guò)支撐元件的方式相互連接，散熱端子至少具有一個(gè)孔，孔的寬度和間距與多個(gè)引線(xiàn)端子的之間的間隙的寬度和間隙相等，孔的相對(duì)側(cè)是通過(guò)一個(gè)支撐件相互連接；將包括一半導(dǎo)體電路并且其上表面有多個(gè)連接盤(pán)的一片狀器件放置在引線(xiàn)框架的散熱片的上表面；用接合線(xiàn)將該片狀器件的多個(gè)連接盤(pán)和引線(xiàn)框架的多個(gè)引線(xiàn)端子分別相互連接；將其上整體安裝該片狀器件和接合線(xiàn)的引線(xiàn)框架放置在一組相互的可拆卸金屬模具的空腔內(nèi)；閉合所述的金屬模具使散熱端子的部分和引線(xiàn)端子的部分用所述的金屬模具固定；將熔化的樹(shù)脂注入所述金屬模具的所述空腔內(nèi)；固化注入的樹(shù)脂以便形成樹(shù)脂部件，在其中封裝片狀器件、散熱片、接合線(xiàn)、散熱端子的部分和引線(xiàn)端子的部分；按相等的寬度和以相等的間距切除位于暴露在樹(shù)脂部件外部的引線(xiàn)端子間間隙處和暴露在樹(shù)脂部件外部的散熱端子的孔間的多個(gè)支撐元件以將散熱端子和引線(xiàn)端子相互分別分開(kāi)，以及切除連接到散熱端子和引線(xiàn)端子的引線(xiàn)框架的外部框架部分的支撐元件；將暴露在樹(shù)脂部件外的引線(xiàn)端子向下彎折并在暴露在樹(shù)脂部件外的孔的部分彎折散熱端子。
3.一種引線(xiàn)框架，其特征在于包括一基本為矩形的散熱片；在所述散熱片的相對(duì)側(cè)伸出設(shè)置的一對(duì)相對(duì)較大寬度的散熱端子；排列在與所述散熱端子相鄰位置的相對(duì)較小寬度的多個(gè)引線(xiàn)端子；位于所述散熱端子和所述多個(gè)引線(xiàn)端子的外側(cè)的外框架部分；用于分別將所述散熱端子和所述多個(gè)引線(xiàn)端子分別連接到所述外框架部分的多個(gè)支撐元件；用于互連所述散熱端子和所述多個(gè)引線(xiàn)端子的多個(gè)支撐元件；所述的每個(gè)散熱端子上至少形成有一個(gè)孔，使所述的孔具有與所述的多個(gè)引線(xiàn)端之間的間隙相等的一個(gè)寬度和相等的排列間距，并且所述孔的相對(duì)側(cè)是通過(guò)一個(gè)所述的支撐元件相互連接；互連所述散熱端子和所述多個(gè)引線(xiàn)端子的所述多個(gè)支撐元件具有與所述散熱端子上的孔的支撐元件相等的長(zhǎng)度和相等的間距。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的引線(xiàn)框架，其特征在于所述散熱端子和所述多個(gè)引線(xiàn)端子是通過(guò)具有相等的寬度和相等的間距的所述多個(gè)支撐元件與所述引線(xiàn)框架的所述外部框架部分連接。
全文摘要
一種半導(dǎo)體器件,其中在一單一引線(xiàn)框架上形成一對(duì)散熱端和多個(gè)引線(xiàn)端子。在每個(gè)散熱端子中形成與引線(xiàn)端子之間間隙相同的等寬度和等間距的孔,散熱端子的每個(gè)孔的相對(duì)端由一支撐元件相互連接。散熱端子的支撐元件和互連引線(xiàn)端子的支撐元件是等長(zhǎng)度和等間距形成,以使支撐元件可以由等間距和等寬度的排列的多個(gè)沖頭切除。
文檔編號(hào)H01L23/50GK1200569SQ98108348
公開(kāi)日1998年12月2日 申請(qǐng)日期1998年5月14日 優(yōu)先權(quán)日1997年5月21日
發(fā)明者市川清治, 梅本毅, 西部俊明, 佐藤一成, 坪田邦彥, 清雅人, 西村善一, 岡平慶太, 宮龍也, 北古賀亨, 田原和弘 申請(qǐng)人:日本電氣株式會(huì)社