專利名稱:壓電振子部件、壓電振子支撐結(jié)構(gòu)和壓電振子安裝方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及壓電振子部件、壓電振子的支撐結(jié)構(gòu)和壓電振子的安裝方法,特別是涉及壓電變壓器部件、壓電變壓器的支撐結(jié)構(gòu)和壓電變壓器的安裝方法。
對于裝載筆記本型個人計(jì)算機(jī)等液晶顯示(以下稱為LCD)屏的攜帶器具,期望成為小型化、低耗能化。作為這種LCD屏的背景照明而廣泛使用的冷陰極管(以下稱為CFL),電燈開始時需要1kV以上的高電壓,而且連續(xù)點(diǎn)燈時需要數(shù)百V的高電壓。作為所用的變壓器,可以小型實(shí)現(xiàn)高效率的壓電變壓器引人注目,針對實(shí)用化進(jìn)行了開發(fā)。
但是,已經(jīng)提出的壓電變壓器的安裝方法復(fù)雜,還期望開發(fā)結(jié)構(gòu)簡單容易組裝的壓電變壓器的支撐結(jié)構(gòu)和壓電變壓器部件。
因此,本發(fā)明的主要目的在于提供結(jié)構(gòu)簡單容易組裝的壓電振子部件、壓電振子的支撐結(jié)構(gòu)和壓電振子的安裝方法。
本發(fā)明的另一目的在于在此基礎(chǔ)上提供耐沖擊性高、可靠性高的壓電振子部件、壓電振子的支撐結(jié)構(gòu)和壓電振子的安裝方法。
本發(fā)明的其他目的在于提供寬度方向尺寸小的壓電振子部件及其制造方法。
根據(jù)本發(fā)明提供一種壓電振子的支撐結(jié)構(gòu),其特征在于,利用導(dǎo)電彈性體制成的引線端子,電氣和機(jī)械地分別連接設(shè)置于壓電振子元件表面上的至少一個電極和布線基片的至少一個導(dǎo)電部件,所述壓電振子元件的所述電極與所述布線基片的所述導(dǎo)電部件,通過所述引線端子共同電氣導(dǎo)通,利用所述引線端子與所述布線基片不接觸地支撐所述壓電振子元件。
這樣,由于利用導(dǎo)電彈性體制成的引線端子,電氣和機(jī)械地連接壓電振子元件表面的電極和布線基片的導(dǎo)電部件,所以可以由此引線端子兼顧電氣連接和機(jī)械連接。結(jié)果,結(jié)構(gòu)變得簡單,也容易薄形化。
在此壓電振子的支撐結(jié)構(gòu)中,較好的是,使具有所述壓電振子元件的所述至少一個電極的面與所述布線基片對置,使所述導(dǎo)電彈性體制成的引線端子的一端在所述電極的預(yù)定連接處與所述電極連接,所述引線端子的另一端與所述布線基片的導(dǎo)電部件連接,設(shè)置覆蓋所述連接處附近的所述引線端子的緩沖部材。
在這種情況,由于利用導(dǎo)電彈性體制成的引線端子,連接壓電振子元件的電極和布線基片的導(dǎo)電部件,所以可以由此引線端子兼顧電氣連接和機(jī)械連接。結(jié)果,結(jié)構(gòu)變得簡單,也容易薄形化。再有,由于設(shè)置覆蓋連接處附近的引線端子的緩沖部材,所以可以使由引線端子的周邊部位與壓電振子元件相接部分向壓電振子元件的集中應(yīng)力分散,結(jié)果,可以獲得更大的耐下落沖擊強(qiáng)度。這種情況下,使用彈性粘結(jié)劑作為緩沖劑,利用緩沖劑在至少與所述連接處對應(yīng)之處連接壓電振子元件和布線基片為好。而且,作為彈性粘結(jié)劑最好使用硅酮橡膠。
在上述壓電振子的支撐結(jié)構(gòu)中,具有所述壓電振子元件的所述至少一個電極的面最好與所述布線基片對置,所述導(dǎo)電彈性體制成的引線端子的一端在所述電極的預(yù)定連接處與所述電極連接,所述引線端子的另一端與所述布線基片的導(dǎo)電部件連接,在至少與所述連接處對應(yīng)之處,于所述引線端子和所述布線基片之間設(shè)置緩沖部材。
在這種情況下,由于利用導(dǎo)電彈性體制成的引線端子,連接壓電振子元件的電極和布線基片的導(dǎo)電部件,所以可以由此引線端子兼顧電氣連接和機(jī)械連接。結(jié)果,結(jié)構(gòu)變得簡單,也容易薄形化。再有,由于在與所述連接處對應(yīng)之處,于所述引線端子和所述布線基片之間設(shè)置緩沖部材,所以可以緩和引線端子和布線基片之間產(chǎn)生的沖擊,獲得可靠性高的壓電振子的支撐結(jié)構(gòu)。
而且,作為緩沖部材,使用彈性粘結(jié)劑為好,使用硅酮橡膠更好。
再有,在上述壓電振子的支撐結(jié)構(gòu)中,具有所述壓電振子元件的所述至少一個電極的面最好與所述布線基片對置,所述導(dǎo)電彈性體制成的引線端子的一端在所述電極的預(yù)定連接處與所述電極連接,所述引線端子的另一端與所述布線基片的導(dǎo)電部件連接,利用彈性粘結(jié)劑制成的緩沖部材,在至少與所述連接處對應(yīng)之處,連接所述壓電振子元件和所述布線基片。
這樣,利用由彈性粘結(jié)劑制成的緩沖部材連接壓電振子元件和布線基片,由此提高對壓電振子元件的布線基片的支撐固定的可靠性。而且,由于使用導(dǎo)電彈性體制成的物體作為引線端子,所以對壓電振子元件的布線基片的支撐固定,由彈性粘結(jié)劑和彈性體制成的引線端子兩方來進(jìn)行,可提高支撐固定的可靠性。作為彈性粘結(jié)劑,最好使用硅酮橡膠。而且,可以僅由彈性粘結(jié)劑完成壓電振子元件的固定,這種情況下,由于對引線端子不要求剛性,所以可使用柔軟的細(xì)線,減小對壓電振動的影響。
最好在與布線基片的所述連接處的對應(yīng)部分設(shè)置貫通孔,在貫通孔填充緩沖部材。如果這樣,可在布線基片更確定地保持緩沖部材。而且,通過在布線基片設(shè)置貫通孔,可以通過貫通孔注入緩沖部材,使制造方法簡單化。
而且,在布線基片設(shè)置孔,把壓電振子元件的至少一部分容納于孔內(nèi),可以進(jìn)一步薄型化。
上述引線端子最好是條狀導(dǎo)電薄帶。使用條狀薄帶可以抑制使用引線端子所導(dǎo)致的厚度增大,容易實(shí)現(xiàn)薄型化。作為這種條狀導(dǎo)電薄帶,最好使用引線框架。
而且,引線端子與壓電振子元件的電極的連接部位的至少一個連接部最好是壓電振子元件的振動節(jié)點(diǎn)。
引線端子的連接部如果是壓電振子元件的振動節(jié)點(diǎn),則可以在不妨礙壓電振子的振動的條件下把引線端子電氣和機(jī)械地連接在壓電振子元件,不會使壓電振子的特性劣化,可以簡單的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定地支撐壓電振子元件。
而且,在引線端子與壓電振子元件電極的連接部位中的設(shè)置緩沖部材的連接部最好是壓電振子元件的振動節(jié)點(diǎn)。
設(shè)置緩沖部材的連接部如果是壓電振子元件的振動節(jié)點(diǎn),則可在不降低壓電振子的共振特性的條件下設(shè)置緩沖部材。
上述壓電振子的支撐結(jié)構(gòu)特別適合用于壓電振子是壓電變壓器的情況。
而且,根據(jù)本發(fā)明,提供一種壓電振子部件,具有壓電振子元件,其特征在于,還包括裝載所述壓電振子元件的布線基片和所述壓電振子部件的外部連接端子,利用導(dǎo)電彈性體制成的引線端子把所述壓電振子元件裝載于所述布線基片,在所述布線基片安裝或者設(shè)置所述外部連接端子,通過所述布線基片的導(dǎo)電部材,使所述壓電振子元件和所述外部連接端子電氣地連接。
這樣,不是把外部連接端子直接安裝于壓電振子元件,而是把壓電振子元件裝載于布線基片,在此布線基片安裝或者設(shè)置外部連接端子,通過布線基片的導(dǎo)電部材使壓電振子元件和外部連接端子連接,由此使壓電振子元件和布線基片的連接與外部連接端子獨(dú)立。結(jié)果,即使在壓電振子部件安裝時,在外部連接端子施加大力,也不會對壓電振子元件和布線基片的連接以及壓電振子元件施力。因此,不會使壓電振子部件的性能劣化,容易進(jìn)行壓電振子部件的表面安裝。
再有,由于利用導(dǎo)電彈性體制成的引線端子,電氣和機(jī)械地連接壓電振子元件的表面電極和布線基片的導(dǎo)電部材,所以可用引線端子兼顧電氣連接和機(jī)械連接,結(jié)果,結(jié)構(gòu)簡單而且容易實(shí)現(xiàn)薄型化。
在本說明書中,布線基片的導(dǎo)電部材包含連接盤,而且,例如壓電振子元件通過引線端子與第1連接盤連接,外部連接端子與第2連接盤連接,在這些第1和第2連接盤利用布線和通孔連接的情況中,第1和第2連接盤、布線以及通孔構(gòu)成的導(dǎo)電部材均也是本說明書所述的導(dǎo)電部材。
這種壓電振子部件中,利用導(dǎo)電彈性體制成的引線端子,電氣和機(jī)械地連接在壓電振子元件表面設(shè)置的至少一個電極和布線基片的至少一個導(dǎo)電部材,利用引線端子電氣導(dǎo)通壓電振子元件的電極和布線基片的連接盤,同時利用引線端子在不與布線基片接觸的情況下支撐壓電振子元件。
而且,在上述壓電振子部件中,具有壓電振子元件的至少一個電極的面最好與布線基片對置,導(dǎo)電彈性體制成的引線端子的一端在所述電極的預(yù)定連接處與電極連接,引線端子的另一端與布線基片的導(dǎo)電部材連接,在所述連接處附近設(shè)置覆蓋所述引線端子的緩沖部材。
在這種情況,由于利用導(dǎo)電彈性體制成的引線端子,連接壓電振子元件的電極和布線基片的導(dǎo)電部材,所以可用彈性體制成的引線端子兼顧電氣連接和機(jī)械連接,結(jié)果,結(jié)構(gòu)簡單而且容易實(shí)現(xiàn)薄型化。再有,由于在連接處附近設(shè)置覆蓋引線端子的緩沖部材,所以可使由引線端子周邊部位和壓電振子元件相接部分向壓電振子元件施加的集中應(yīng)力分散,結(jié)果可以獲得更大的耐下落沖擊強(qiáng)度。此時,事業(yè)彈性粘結(jié)劑周圍緩沖劑,利用緩沖劑在至少與所述連接處對應(yīng)之處接合壓電振子元件和布線基片為好。
而且,在上述壓電振子部件中,具有壓電振子元件的至少一個電極的面最好與布線基片對置,導(dǎo)電彈性體制成的引線端子的一端在所述電極的預(yù)定連接處與電極連接,引線端子的另一端與布線基片的導(dǎo)電部材連接,在至少與所述連接處對應(yīng)之處引線端子和布線基片之間設(shè)置緩沖部材。
在這種情況,由于利用導(dǎo)電彈性體制成的引線端子,連接壓電振子元件的電極和布線基片的連接盤,所以可用彈性體制成的引線端子兼顧電氣連接和機(jī)械連接,結(jié)果,結(jié)構(gòu)簡單而且容易實(shí)現(xiàn)薄型化。再有,由于在連接處的對應(yīng)處在引線端子和布線基片之間設(shè)置緩沖部材,所以可緩和引線端子和布線基片之間產(chǎn)生的沖擊,可以獲得可靠性高的壓電振子部件。
而且,作為緩沖部材,使用彈性粘結(jié)劑為好,使用硅酮橡膠更好。
再有,在上述壓電振子的支撐結(jié)構(gòu)中,具有所述壓電振子元件的所述至少一個電極的面最好與所述布線基片對置,導(dǎo)電彈性體制成的引線端子的一端在所述電極的預(yù)定連接處與電極連接,引線端子的另一端與布線基片的導(dǎo)電部材連接,利用彈性粘結(jié)劑制成的緩沖部材,在至少與所述連接處對應(yīng)之處,連接壓電振子元件和布線基片。
這樣,利用由彈性粘結(jié)劑制成的緩沖部材連接壓電振子元件和布線基片,由此提高對壓電振子元件的布線基片的支撐固定的可靠性,進(jìn)而提高壓電振子部件的可靠性。而且,由于使用導(dǎo)電彈性體制成的物體作為引線端子,所以對壓電振子元件的布線基片的支撐固定,由彈性粘結(jié)劑和彈性體制成的引線端子兩方來進(jìn)行,可進(jìn)一步提高支撐固定的可靠性,進(jìn)而進(jìn)一步提高壓電振子部件的可靠性。在此壓電振子部件中,也可以僅用彈性粘結(jié)劑來固定壓電振子元件,此時可使用柔軟的細(xì)線,減小對壓電振動的影響。作為彈性粘結(jié)劑,最好使用硅酮橡膠。
在本發(fā)明的壓電振子部件中,最好在與布線基片的所述連接處的對應(yīng)部分設(shè)置貫通孔,在貫通孔填充緩沖部材。
本發(fā)明的壓電振子部件中,所述引線端子最好是條狀導(dǎo)電薄帶。
本發(fā)明的壓電振子部件中,所述引線端子與所述壓電振子元件的所述電極的連接部位中的至少一個連接部最好是壓電振子元件的振動節(jié)點(diǎn)。
本發(fā)明的壓電振子部件中,在所述引線端子與所述壓電振子元件的所述電極的連接部位中的設(shè)置緩沖部材的連接部最好是壓電振子元件的振動節(jié)點(diǎn)。
而且,最好在布線基片設(shè)置覆蓋壓電振子元件和引線端子的外殼。這樣,如果用外殼覆蓋壓電振子元件和引線端子,則可用外殼保護(hù)壓電振子元件和引線端子,不使壓電振子部件的性能劣化,容易進(jìn)行壓電振子部件的表面安裝。
上述壓電振子部件特別適合用于壓電振子是壓電變壓器的情況。
根據(jù)本發(fā)明,提供一種壓電振子的安裝方法,其特征在于包括以下步驟具有壓電振子元件的至少一個電極的面與布線基片的一個主面對置,導(dǎo)電彈性體制成的引線端子的一端在所述電極的預(yù)定連接處與所述電極連接,所述引線端子的另一端與所述布線基片的導(dǎo)電部材連接;通過在與所述布線基片的所述連接處的對應(yīng)部分設(shè)置的貫通孔,從與所述布線基片的一個主面相反側(cè)的另一主面注入緩沖部材,在至少與所述連接處對應(yīng)之處在所述引線端子和所述布線基片之間設(shè)置緩沖部材。
所述在所述引線端子和所述布線基片之間設(shè)置緩沖部材的步驟,最好是在至少與所述連接處對應(yīng)之處在所述引線端子和所述布線基片之間設(shè)置所述緩沖部材,同時利用所述緩沖部材覆蓋所述連接部附近的所述連接端子。
而且,所述緩沖部材最好是彈性粘結(jié)劑,在所述引線端子和所述布線基片之間設(shè)置所述緩沖部材的步驟,最好是在至少與所述連接處對應(yīng)之處在所述引線端子和所述布線基片之間設(shè)置所述緩沖部材,同時利用所述緩沖部材覆蓋所述連接部附近的所述連接端子。
這樣,通過在布線基片設(shè)置的貫通孔,從與所述布線基片的一個主面相反側(cè)的另一主面注入緩沖部材,由此可容易地注入緩沖部材,結(jié)果,制造方法變得簡單。
上述壓電振子的安裝方法特別適合用于壓電振子是壓電變壓器的情況。
以上所述中,與連接處對應(yīng)之處是指從與布線基片的所述連接處相對處直到所述連接處的區(qū)域。
而且,導(dǎo)電彈性體制成的引線端子最好由金屬材料構(gòu)成,由磷青銅或者鐵鎳4-2合金構(gòu)成更好。
根據(jù)本發(fā)明,提供一種壓電變壓器部件,具有壓電振子元件,其特征在于,還包括裝載所述壓電振子元件的裝載基片和所述壓電振子部件的外部連接端子,在所述裝載基片上裝載所述壓電振子元件,在所述裝載基片上安裝或者設(shè)置所述外部連接端子,通過所述裝載基片的導(dǎo)電部材,使所述壓電振子元件和所述外部連接端子電氣地連接。
如上所述,由此使壓電振子元件和裝載基片的連接與外部連接端子獨(dú)立。結(jié)果,即使在安裝壓電變壓器部件時,在外部連接端子施加大力,也不會對壓電振子元件和裝載基片的連接以及壓電振子元件施力。因此,不會使壓電變壓器部件的性能劣化,容易進(jìn)行壓電變壓器部件的表面安裝。而且,通過在裝載基片縱向的端部設(shè)置外部連接端子,可減小壓電變壓器部件的寬度。
在此壓電變壓器部件中,最好在所述壓電振子元件的寬度方向的中心線上,所述壓電振子元件縱向長度的1/n(n是2以上的整數(shù))的m倍(m是比n小的整數(shù))的位置中的一個以上的位置,通過彈性體接合所述壓電振子元件和所述裝載基片。
而且,在此壓電變壓器部件中,最好在所述壓電振子元件的振動節(jié)點(diǎn)的相當(dāng)位置中的一個以上的位置,通過彈性體接合所述壓電振子元件和所述裝載基片。
壓電振子元件的寬度方向的振動節(jié)點(diǎn)位于壓電振子元件的寬度方向的中心線上。而且,壓電振子元件縱向長度的1/n(n是2以上的整數(shù))的m倍(m是比n小的整數(shù))的位置成為縱向的振動節(jié)點(diǎn)。因此,壓電振子元件在振動節(jié)點(diǎn)與裝載基片接合。
這樣,由于用彈性體支撐壓電振子元件的振動節(jié)點(diǎn),所以可抑制對振動的妨礙。而且,由于用彈性體對壓電振子元件支撐,用于引出電極的引線對壓電振子元件的支撐不是必需的,所以無需剛性可以自由地布線。因此,在利用具有剛性的引線端子的情況下,引線端子在壓電振子元件的側(cè)端側(cè)引出,與外部的引出點(diǎn)連接,但是在上述壓電變壓器部件中,引出用的引線端子可以僅在壓電振子元件的縱向引出。結(jié)果,可以使壓電變壓器部件的寬度尺寸為壓電振子元件的寬度程度,可以減小液晶顯示屏內(nèi)的壓電變壓器部件的寬度方向的空間,結(jié)果可以在不使液晶顯示屏寬度方向增大的條件下增大液晶顯示部分。
接合處最好是2個以上,3個以上也可以。例如,設(shè)定初級輸入側(cè)的振動數(shù)以使長度方向出現(xiàn)1.5波長的振動的情況下,n為6,m為1、3、5構(gòu)成的3處中的適當(dāng)2處或者全部3處適合用做接合處。而且,在2波長的情況,n為8,m為1、3、5、7構(gòu)成之處中的適當(dāng)2處的組合位置、適當(dāng)3處的組合位置或者全部4處的位置用于連接。
這樣,如果在2處以上接合,由于可以僅用所述彈性體支撐壓電振子元件,所以本發(fā)明的作用更為有效。
最好在與裝載基片的壓電振子元件接合部分對應(yīng)的部分設(shè)置貫通孔,如果這樣,則可以通過貫通孔注入彈性體,使得壓電變壓器部件容易組裝。
而且,所述彈性體最好是彈性粘結(jié)劑,作為這種彈性粘結(jié)劑,例如可以使用硅酮橡膠。
根據(jù)本發(fā)明,提供一種壓電變壓器部件的制造方法,該壓電變壓器部件具有壓電振子元件和裝載所述壓電振子元件的裝載基片,該方法的特征在于包括以下步驟在所述裝載基片的預(yù)定部分設(shè)置貫通孔;通過所述貫通孔,從所述裝載基片的裝載所述壓電振子元件的面相反側(cè)的面,注入彈性粘結(jié)劑,利用所述彈性粘結(jié)劑接合所述壓電振子元件和所述裝載基片。
在所述裝載基片的預(yù)定部分設(shè)置貫通孔的步驟,最好是在所述壓電振子元件的寬度方向的中心線上,所述壓電振子元件縱向長度的1/n(n是2以上的整數(shù))的m倍(m是比n小的整數(shù))的位置中的一處以上的位置對應(yīng)的所述裝載基片的預(yù)定部分設(shè)置貫通孔。
而且,在所述裝載基片的預(yù)定部分設(shè)置貫通孔的步驟,最好是在所述壓電振子元件的振動節(jié)點(diǎn)相當(dāng)?shù)奈恢弥械囊惶幰陨系奈恢脤?yīng)的所述裝載基片的預(yù)定部分設(shè)置貫通孔。
這樣,通過在裝載基片設(shè)置的貫通孔,從裝載基片的一主面的相反側(cè)的另一主面?zhèn)茸⑷霃椥哉辰Y(jié)劑,由此可以容易地注入彈性粘結(jié)劑,制造方法簡化。而且,由于用彈性粘結(jié)劑支撐壓電振子元件的振動節(jié)點(diǎn),所以抑制了對振動的妨礙,引出電極用的引線也可以無剛性,從而可以自由地布線,減小壓電變壓器部件的寬度尺寸。
根據(jù)本發(fā)明,提供一種壓電變壓器的支撐結(jié)構(gòu),把壓電振子元件支撐在布線基片上,其特征在于,在所述壓電振子元件的寬度方向的中心線上,所述壓電振子元件縱向長度的1/n(n是2以上的整數(shù))的m倍(m是比n小的整數(shù))的位置中的一處以上的位置對應(yīng)的所述裝載基片的預(yù)定部分設(shè)置貫通孔;在所述預(yù)定位置,利用彈性粘結(jié)劑接合所述壓電振子元件和所述裝載基片。
根據(jù)本發(fā)明,提供一種壓電變壓器的支撐結(jié)構(gòu),把壓電振子元件支撐在布線基片上,其特征在于,在所述壓電振子元件的振動節(jié)點(diǎn)相當(dāng)?shù)奈恢弥械囊惶幰陨系奈恢脤?yīng)的所述裝載基片的預(yù)定部分設(shè)置貫通孔;在所述預(yù)定位置,利用彈性粘結(jié)劑接合所述壓電振子元件和所述裝載基片。
如果這樣,由于用彈性體接合壓電振子元件的振動節(jié)點(diǎn),所以抑制了對振動的妨礙,引出電極用的引線也可以無剛性,從而可以自由地布線。而且,可以在貫通孔內(nèi)填充彈性體,使彈性體更確實(shí)地保持在布線基片上。而且,通過貫通孔注入彈性體成為可能,制造方法被簡化。
再有,根據(jù)本發(fā)明,提供一種壓電變壓器的安裝方法,在布線基片上安裝壓電振子元件,其特征在于包括以下步驟在所述壓電振子元件的寬度方向的中心線上,所述壓電振子元件縱向長度的1/n(n是2以上的整數(shù))的m倍(m是比n小的整數(shù))的位置中的一處以上的位置對應(yīng)的所述裝載基片的預(yù)定部分設(shè)置貫通孔;
通過所述貫通孔,從所述布線基片的裝載所述壓電振子元件的面相反側(cè)的面注入彈性粘結(jié)劑,利用所述彈性粘結(jié)劑接合所述壓電振子元件和所述裝載基片。
再有,根據(jù)本發(fā)明,提供一種壓電變壓器的安裝方法,在布線基片上安裝壓電振子元件,其特征在于包括以下步驟在與所述壓電振子元件的振動節(jié)點(diǎn)相當(dāng)?shù)奈恢弥械囊惶幰陨系奈恢脤?yīng)的所述裝載基片的預(yù)定部分設(shè)置貫通孔;通過所述貫通孔,從所述布線基片的裝載所述壓電振子元件的面相反側(cè)的面注入彈性粘結(jié)劑,利用所述彈性粘結(jié)劑接合所述壓電振子元件和所述裝載基片。
如果這樣,由于用彈性粘結(jié)劑支撐壓電振子元件的振動節(jié)點(diǎn),所以抑制了對振動的妨礙。而且,通過貫通孔,從布線基片的一個主面相反側(cè)的另一主面,注入彈性粘結(jié)劑構(gòu)成的緩沖部材,由此可容易地注入緩沖部材,制造方法被簡化。
如上所述,布線基片是用于支撐構(gòu)成例如壓電變壓器的壓電振子元件、構(gòu)成作為個別部件的壓電變壓器部件或者壓電振子部件,或者是用于把壓電振子元件、壓電變壓器部件或壓電振子部件和其他電路部件裝載印刷電路板。
圖1A是說明本發(fā)明第一實(shí)施例的平面圖。
圖1B是沿圖1A中X1-X1線的縱向剖面圖。
圖1C是本發(fā)明第一實(shí)施例中使用的壓電振子元件100的振幅分布示意圖。
圖1D是沿圖1A中Y1-Y1線的縱向剖面圖。
圖2是說明本發(fā)明第二實(shí)施例的縱向剖面圖。
圖3A是說明本發(fā)明第三實(shí)施例的橫向剖面圖,即沿圖3C中Z3-Z3線的橫向剖面圖。
圖3B是本發(fā)明第二實(shí)施例中使用的壓電振子元件100的振幅分布示意圖。
圖3C是沿圖3A中X3-X3線的縱向剖面圖。
圖4A、4B是說明本發(fā)明第三實(shí)施例中的外部連接端子的透視示意圖。
圖4C是沿圖4B中X4-X4線的縱向剖面圖。
圖5A、5B是說明本發(fā)明第四實(shí)施例中的外部連接端子的透視示意圖。
圖5C是沿圖5B中X5-X5線的縱向剖面圖。
圖6A是說明本發(fā)明第五實(shí)施例的橫向剖面圖,即沿圖6C中Z6-Z6線的橫向剖面圖。
圖6B是本發(fā)明第五實(shí)施例中使用的壓電振子元件100的振幅分布示意圖。
圖6C是沿圖6A中X6-X6線的縱向剖面圖。
圖7是沿圖6A中Y6-Y6線的縱向剖面圖。
圖8是圖6C的A部部分放大剖面圖。
圖9A、9B是說明本發(fā)明第六實(shí)施例的圖,分別是從壓電變壓器部件500的里側(cè)和表側(cè)看的透視圖。
圖9C是沿圖9B的Y8-Y8線的部分放大剖面圖。
圖9D是沿圖9B中X8-X8線的縱向剖面圖。
圖9E是本發(fā)明第六實(shí)施例中使用的壓電振子元件100的振幅分布示意圖。
圖10A-10E是本發(fā)明第六實(shí)施例的壓電變壓器部件500的制造方法的說明圖。
圖11A、11B是說明本發(fā)明第七實(shí)施例的圖,分別是從壓電變壓器部件500的里側(cè)和表側(cè)看的透視圖。
圖11C是沿圖11B中X11-X11線的縱向剖面圖。
圖11D是本發(fā)明第七實(shí)施例中使用的壓電振子元件100的振幅分布示意圖。
實(shí)施例以下參考
本發(fā)明的實(shí)施例。
(第一實(shí)施例)參看圖1A-1D,在印刷電路板50上裝載構(gòu)成壓電變壓器的壓電振子元件100。壓電振子元件100具有矩形體狀壓電陶瓷基片10,在壓電陶瓷基片10的上面12左側(cè)(初級側(cè))一半上設(shè)置初級側(cè)電極22,在壓電陶瓷基片10的下面14與初級側(cè)電極22對應(yīng)地還設(shè)置初級側(cè)電極24,初級側(cè)電極22與初級側(cè)電極24之間的壓電陶瓷基片10,在上面12與下面14之間的厚度方向產(chǎn)生極化。在靠近次極側(cè)端面18的下面14設(shè)置次極側(cè)電極26,初級側(cè)電極22、24與次極側(cè)電極26之間的壓電陶瓷基片10,在作為上面12和下面14延長方向的縱向產(chǎn)生極化。
如果在初級側(cè)電極22、24之間施加電壓,則左半部分在厚度方向施加電場,在與極化方向垂直的方向形變的壓電橫向效果下,激勵起縱向的縱振動,使壓電振子元件100整體振動。而右半部分在縱向產(chǎn)生機(jī)械形變,通過在極化方向產(chǎn)生電位差的壓電縱向效果,從次極側(cè)電極26取出頻率與在初級側(cè)電極22、24之間施加的初級電壓相同的電壓。如果在初級側(cè)電極22、24之間施加頻率與壓電振子元件100的共振頻率相等的驅(qū)動電壓,則可獲得非常高的升壓比。
本實(shí)施例的壓電振子元件100,例如可以是在初級側(cè)端面16與次極側(cè)端面18之間存在1波長的應(yīng)力分布的共振模式下驅(qū)動。如果在初級側(cè)電極22、24之間施加頻率與這種1波長模式的共振頻率相等的電壓,則由于壓電陶瓷基片10的初級側(cè)端面16和次極側(cè)端面18均是開放的,所以壓電陶瓷基片10的縱向兩端應(yīng)力為零,振幅最大。因此,由于按1波長模式產(chǎn)生共振,所以振幅分布如圖1C所示,振動節(jié)點(diǎn)形成在距壓電陶瓷基片10的初級側(cè)端面16為壓電陶瓷基片10的長度的1/4處(節(jié)點(diǎn)A)、和距壓電陶瓷基片10的初級側(cè)端面16為壓電陶瓷基片10的長度的3/4處(節(jié)點(diǎn)B)。
在印刷電路板50上面,設(shè)置由銅箔制成的連接盤42、44、46。
壓電振子元件100由引線框架32、34和36支撐。引線框架32的一端附近通過在連接部位31的焊接與初級側(cè)電極22固定連接,引線框架32的另一端通過軟釬焊等固定連接于連接盤42。引線框架34的一端附近通過在連接部位33的焊接與初級側(cè)電極24固定連接,引線框架34的另一端通過軟釬焊等固定連接于連接盤44。引線框架36的一端附近通過在連接部位35的焊接與次級側(cè)電極26固定連接,引線框架36的另一端通過軟釬焊等固定連接于連接盤46。在壓電陶瓷基片10的下面14側(cè)固定連接的引線框架34、36是直線狀,在壓電陶瓷基片10的上面12側(cè)固定連接的引線框架32是在中間向上彎曲。
連接部位31、33在距離壓電陶瓷基片10的初級側(cè)端面16的1/4處,設(shè)置在與壓電陶瓷基片10的縱向垂直的寬度方向的中央處。連接部位35在壓電陶瓷基片10的次極側(cè)端面18附近,設(shè)置在壓電陶瓷基片10的寬度方向的中央處。
本實(shí)施例中,利用引線框架32、34使初級側(cè)電極22、24與連接盤42、44分別電氣和機(jī)械連接,利用引線框架36使次極側(cè)電極26與連接盤46電氣和機(jī)械連接,因而構(gòu)造簡單,易于實(shí)現(xiàn)薄型化。
而且,把初級側(cè)電極22與引線框架32的連接部位31、和初級側(cè)電極24與引線框架34的連接部位33設(shè)置在振動節(jié)點(diǎn)A,并且引線框架32、34、36較薄并極富彈性,所以利用其對壓電振子元件100進(jìn)行電氣連接、支撐壓電振子元件100,可以減少對壓電振子元件100的振動的阻礙。
本實(shí)施例中,由于可以利用彈性體構(gòu)成的引線框架34、32支撐壓電振子元件100,所以也可用引線代替引線框架36。這樣,由于僅用與振動節(jié)點(diǎn)連接的引線框架來支撐,所以可減少對振動的阻礙。
(第二實(shí)施例)在上述第一實(shí)施例中,壓電振子元件100安裝在印刷電路板50上面,而本實(shí)施例,如圖2所示,其與第一實(shí)施例不同之處如下,在印刷電路板150的中央部位,形成可容納構(gòu)成壓電變壓器的壓電振子元件100的孔155,在此孔155中容納壓電振子元件100;其一端在與初級側(cè)電極22的連接點(diǎn)31焊接連接的引線框架132,另一端通過軟釬焊與印刷電路板150的上面152上的連接盤142連接,其一端在與初級側(cè)電極24的連接點(diǎn)33焊接連接的引線框架134,另一端通過軟釬焊與印刷電路板150的下面154上的連接盤144連接,除此之外其他相同。
本實(shí)施例中,也是利用由彈性體制成的引線框架132、134使初級側(cè)電極22、24與連接盤142、144分別電氣和機(jī)械連接,因而構(gòu)造簡單,易于實(shí)現(xiàn)薄型化。本實(shí)施例中,特別是把壓電振子元件100容納于印刷電路板150的中央部位的孔155中,所以可以明顯薄型化。
而且,把初級側(cè)電極22與引線框架132的連接部位31、和初級側(cè)電極24與引線框架134的連接部位33設(shè)置在振動節(jié)點(diǎn)A,并且引線框架132、134較薄并極富彈性,所以利用其對壓電振子元件100進(jìn)行電氣連接、支撐壓電振子元件100,可以減少對壓電振子元件100的振動的阻礙。
本實(shí)施例的這種結(jié)構(gòu)也可適用于壓電振子元件100是圖3A、圖3C、圖6A和圖6C所示壓電振子元件100的情況。
(第三實(shí)施例)參看圖3A-3C,在印刷電路板250上裝載構(gòu)成壓電變壓器的壓電振子元件100,壓電振子元件100與布線基片250的連接盤92、94、96、98通過引線框架72、74、76、78、82、84連接,在布線基片250的周邊部位上安裝外殼,覆蓋壓電振子元件100、引線框架72、74、76、78、82、84和連接盤92、94、96、98。連接盤92、94、96、98由銅箔制成。與連接盤92、94、96、98分別連接的外部連接端子110,設(shè)置成向外殼160外側(cè)突出。這樣,利用布線基片250、壓電振子元件100、引線框架72、74、76、78、82、84和外部連接端子110構(gòu)成壓電變壓器部件500,通過軟釬焊使外部連接端子110與印刷電路板120上的電路圖形122連接,由此使壓電變壓器部件500與印刷電路板120電氣和機(jī)械連接。
在矩形體狀壓電陶瓷基片10的上面12的左側(cè)1/3處設(shè)置初級側(cè)電極62,與初級側(cè)電極62對置、在壓電陶瓷基片10的下面14也設(shè)置初級側(cè)電極64,初級側(cè)電極62與初級側(cè)電極64之間的壓電陶瓷基片10在上面12與下面14之間的厚度方向產(chǎn)生極化。
在壓電陶瓷基片10的上面12,從距初級側(cè)端面16壓電陶瓷基片10的縱向長度為1/3的距離間隔的位置,到距初級側(cè)端面16壓電陶瓷基片10的縱向長度為2/3的距離間隔的位置,設(shè)置初級側(cè)電極66,與初級側(cè)電極66對置、在壓電陶瓷基片10的下面14也設(shè)置初級側(cè)電極68。初級側(cè)電極66與初級側(cè)電極62間隔設(shè)置,初級側(cè)電極68與初級側(cè)電極64間隔設(shè)置。初級側(cè)電極66與初級側(cè)電極68之間的壓電陶瓷基片10在上面12與下面14之間的厚度方向產(chǎn)生極化。初級側(cè)電極62與初級側(cè)電極64之間的壓電陶瓷基片10的極化方向,初級側(cè)電極66與初級側(cè)電極68之間的壓電陶瓷基片10的極化方向相反。
距壓電陶瓷基片10的初級側(cè)端面16壓電陶瓷基片10的縱向長度為2/3之處與次極側(cè)端面18之間的壓電陶瓷基片10中,在初級側(cè)電極68附近的下面14,與初級側(cè)電極68間隔預(yù)定距離地設(shè)置次極側(cè)電極61,在次極側(cè)電極18附近的下面12,設(shè)置次極側(cè)電極63。次極側(cè)電極61與次極側(cè)電極63之間的壓電陶瓷基片10在壓電陶瓷基片10的縱向產(chǎn)生極化。
如果在初級側(cè)電極62、64之間和初級側(cè)電極66、68之間施加電壓,則左側(cè)2/3的區(qū)域在厚度方向施加電場,在與極化方向垂直的方向產(chǎn)生形變的壓電橫向效果下,激勵起縱向的縱振動,使壓電振子元件100整體振動。
本實(shí)施例的壓電振子元件100,可以是在初級側(cè)端面16與次極側(cè)端面18之間存在1.5波長的應(yīng)力分布的共振模式下驅(qū)動。本實(shí)施例中,如果從電源(圖中未示出)施加頻率與這種1.5波長模式的共振頻率相等的電壓,則由于壓電陶瓷基片10的初級側(cè)端面16和次極側(cè)端面18均是開放的,所以壓電陶瓷基片10的縱向兩端的應(yīng)力為零,振幅最大。因此本實(shí)施例中,由于按1.5波長模式產(chǎn)生共振,所以振幅分布如圖3B所示。
如果按這種1.5波長模式驅(qū)動,則振動節(jié)點(diǎn)在距壓電陶瓷基片10的初級側(cè)端面16為1/6的距離處(節(jié)點(diǎn)C)、距壓電陶瓷基片10的初級側(cè)端面16為1/2的距離處(節(jié)點(diǎn)D)和距壓電陶瓷基片10的初級側(cè)端面16為5/6的距離處(節(jié)點(diǎn)E)這三處。本實(shí)施例中,連接部位71、171設(shè)置在振動節(jié)點(diǎn)C處,連接部位75、175設(shè)置在振動節(jié)點(diǎn)D處。
本實(shí)施例中,在初級側(cè)電極62、64的基礎(chǔ)上增加設(shè)置初級側(cè)電極66、68。因此,增大了初級側(cè)電極面積,這樣,壓電振子元件100的輸入阻抗變小。結(jié)果,從電源(圖中未示出)向壓電振子元件100提供電能變得容易。
而且,設(shè)置初級側(cè)電極62、64的區(qū)域的應(yīng)力方向與設(shè)置初級側(cè)電極66、68的區(qū)域的應(yīng)力方向相反。初級側(cè)電極62與初級側(cè)電極64之間的壓電陶瓷基片10的極化方向與初級側(cè)電極66與初級側(cè)電極68之間的壓電陶瓷基片10的極化方向相反,但是電場施加方向?yàn)橥环较?。因此,如果從電?圖中未示出)在初級側(cè)電極66、68之間施加電壓,則通過從電源(圖中未示出)在初級側(cè)電極62、64之間施加電壓,使初級側(cè)電極66、68之間的壓電陶瓷基片10以激勵的共振進(jìn)一步增大的方式而振動。結(jié)果,可以使從初級側(cè)供給的電能更有效地轉(zhuǎn)變?yōu)闄C(jī)械的彈性能。
本實(shí)施例中,在距壓電陶瓷基片10的初級側(cè)端面16壓電陶瓷基片10的縱向長度為2/3的距離之處與次極側(cè)端面18之間的壓電陶瓷基片10的下面14,次極側(cè)電極61和次級側(cè)電極63在縱向間隔預(yù)定距離地設(shè)置,由此通過改變次級側(cè)電極61和次級側(cè)電極63之間的間隔,可以改變輸出阻抗,增大設(shè)計(jì)自由度。
這樣,由于在次級側(cè)與初級側(cè)電極62、64、66和68直流獨(dú)立地設(shè)置次級側(cè)電極61和次級側(cè)電極63,所以可以使初級側(cè)電路和次級側(cè)電路直流地分離,在次級側(cè)分別形成與初級側(cè)獨(dú)立的接地電極(例如,以初級側(cè)電極64、68和次級側(cè)電極61作為相互獨(dú)立的接地電極),可以使初級側(cè)的接地與次級側(cè)的接地絕緣,另外可使次級側(cè)不接地而浮置(例如使次級側(cè)電極61不接地而浮置),提高抗噪聲性。
在布線基片250的上面252,設(shè)置由銅箔制成的連接盤92、94、96、98。
壓電振子元件100由引線框架72、74、76、78支撐。引線框架72的一端附近通過在連接部位71的焊接與初級側(cè)電極62固定連接,引線框架72的另一端通過軟釬焊等固定連接于連接盤92。同樣,引線框架74、76、78的一端附近分別通過在連接部位171、75、175的焊接與初級側(cè)電極64、66、68分別固定連接,引線框架74、76、78的另一端通過軟釬焊等分別固定連接于連接盤94、92、96。引線框架82、84的一端附近通過在連接部位81、83的焊接與次級側(cè)電極61、63固定連接,引線框架82、84的另一端通過軟釬焊等分別固定連接于連接盤96、98。在壓電陶瓷基片10的下面14側(cè)固定連接的引線框架74、78、82、84是直線狀,在壓電陶瓷基片10的上面12側(cè)固定連接的引線框架72、76是在中間向上彎曲。
連接部位71、171在縱向距離壓電陶瓷基片10的初級側(cè)端面16的1/6處,設(shè)置在與壓電陶瓷基片10的縱向垂直的寬度方向的中央處。連接部位75、175在縱向距離壓電陶瓷基片10的初級側(cè)端面16的1/2處,設(shè)置在壓電陶瓷基片10的寬度方向的中央處。連接部位81、83也設(shè)置在壓電陶瓷基片10的寬度方向的中央處。
本實(shí)施例中,利用引線框架72、76使初級側(cè)電極62、66分別與連接盤92電氣和機(jī)械連接,利用引線框架74、78使初級側(cè)電極64、68分別與連接盤94電氣和機(jī)械連接,利用引線框架82使次級側(cè)電極61與連接盤96電氣和機(jī)械連接,利用引線框架84使次級側(cè)電極63與連接盤98電氣和機(jī)械連接,因而構(gòu)造簡單,易于實(shí)現(xiàn)薄型化。
而且,把初級側(cè)電極62與引線框架72的連接部位71、和初級側(cè)電極64與引線框架74的連接部位171設(shè)置在振動節(jié)點(diǎn)C,把初級側(cè)電極66與引線框架76的連接部位75、和初級側(cè)電極68與引線框架78的連接部位175設(shè)置在振動節(jié)點(diǎn)D,并且引線框架72、74、76、78、82、84較薄并極富彈性,所以利用其對壓電振子元件100進(jìn)行電氣連接、支撐壓電振子元件100,可以減少對壓電振子元件100的振動的阻礙。
本實(shí)施例中,由于可以利用引線框架74、78支撐壓電振子元件100,所以也可用引線代替引線框架82、84。這樣,由于僅用與振動節(jié)點(diǎn)連接的引線框架來支撐,所以可減少對振動的阻礙。圖3A、圖3C中,包含次級側(cè)電極61、63的下面14與布線基片250對置,但也可以與相反的上面12對置。另外還可用引線代替引線框架72、76。此時,引線框架可以采用全平的形狀,節(jié)省成型加工。
本實(shí)施例中,在布線基片250的周邊部位上還安裝外殼160,覆蓋壓電振子元件100、引線框架72、74、76、78、82、84和連接盤92、94、96、98。這樣,用外殼160覆蓋壓電振子元件100和引線框架72、74、76、78、82、84,則可利用外殼160保護(hù)壓電振子元件100和引線框架72、74、76、78、82、84,不使壓電變壓器部件500的性能劣化,容易進(jìn)行壓電變壓器部件500的表面安裝。
而且,分別設(shè)置與連接盤92、94、96、98分別連接的外部連接端子110,把這些外部連接端子110向外殼160的外側(cè)突出地設(shè)置。
按照本實(shí)施例,不是把外部連接端子110直接安裝于壓電振子元件100,而是把壓電振子元件100裝載于布線基片250,把外部連接端子110安裝于此布線基片250,利用布線基片250的連接盤92、94、96、98使壓電振子元件100與外部連接端子110連接,由此可以使壓電振子元件100與布線基片250的連接上使用的引線框架72、74、76、78、82、84,和外部連接端子110獨(dú)立。結(jié)果,即使向壓電變壓器500的印刷電路板120等安裝時,對外部連接端子110施加較大的力,連接壓電振子元件100與布線基片的引線框架72、74、76、78、82、84和壓電振子元件100也不會受力。因此,不會使壓電變壓器部件500的性能劣化,而容易進(jìn)行壓電變壓器部件500的表面安裝。
參看圖4A-4C,本實(shí)施例的外部連接端子110構(gòu)成為在連接部116上形成斷面為コ字形的連接部111。連接部111與裝載壓電振子元件100的布線基片250連接,連接部116與印刷電路板120上的布線圖形122等外部電路連接。本實(shí)施例中,例如在布線基片250的上面252設(shè)置連接盤98,而且在布線基片250的下面254也設(shè)置銅箔制成的連接盤198,連接部111上側(cè)的連接部112通過焊料170與連接盤98連接,連接部111下側(cè)的連接部114通過焊料270與連接盤198連接。布線基片250下面254的連接盤198不必一定設(shè)置,但是如果設(shè)置,則可增大外部連接端子的結(jié)合強(qiáng)度,提高可靠性。
另外,在本實(shí)施例中,也可以如圖9C所示,通過使通孔663進(jìn)行通孔電鍍來構(gòu)成外部連接端子。
(第四實(shí)施例)上述第三實(shí)施例中,是使用夾持布線基片250的形狀的外部連接端子110作為外部連接端子,而本實(shí)施例中,如圖5A-5C所示,除了使用氣眼端子200作為外部連接端子這一點(diǎn)與第三實(shí)施例不同外,其它均相同。
氣眼端子200由基底204和圓筒部202構(gòu)成?;?04與印刷電路板120上的電路圖形122等外部電路等連接。從下面254側(cè)把圓筒部202插入布線基片250的孔182、184中,從上面252突出的圓筒部202經(jīng)沖壓而鉚接,形成多處開放的頂端部206。之后,利用焊料270施加軟釬料,可提高電氣導(dǎo)通的可靠性。
而且,本實(shí)施例中,布線基片250下面254側(cè)的銅箔等的連接盤全都沒有,通過氣眼的鉚接也可獲得端子強(qiáng)度。因此,即使使用布線基片250單面存在電路圖形的單面布線基片,也能獲得可靠性高的端子連接構(gòu)造。
(第五實(shí)施例)本實(shí)施例中以下說明的方面與第三實(shí)施例不同,其余均相同。
本實(shí)施例所用的壓電振子元件100的初級側(cè)結(jié)構(gòu)與第三實(shí)施例所用的壓電振子元件100的結(jié)構(gòu)相同。
參看圖6A-6C、圖7、圖8說明本實(shí)施例。
引線框架72、74的一端,分別通過連接部71和171,利用軟釬焊在振動節(jié)點(diǎn)C與初級側(cè)電極62和64分別連接(如圖7所示,例如引線框架74的一端通過軟釬料174與初級側(cè)電極64連接)。引線框架76和78的一端,分別通過連接部75和175,利用軟釬焊在振動節(jié)點(diǎn)D與初級側(cè)電極66和68分別連接。引線框架72和76的另一端利用軟釬焊與連接盤92連接,引線框架74和78的另一端利用軟釬焊與連接盤94連接(如圖7、圖8所示,例如引線框架74的另一端通過軟釬料274與連接盤94連接)。
在布線基片250與引線框架74和初級側(cè)電極64的連接部對應(yīng)處,和與引線框架78和初級側(cè)電極68的連接部對應(yīng)處,分別形成直徑2mm的貫通孔300。在貫通孔300內(nèi)填充屬于市售的彈性粘結(jié)劑的一種的硅酮橡膠400,硅酮橡膠400的頂端覆蓋引線框架74和初級側(cè)電極64的連接部附近的引線框架74,而且覆蓋引線框架78和初級側(cè)電極68的連接部附近的引線框架78。利用硅酮橡膠400使壓電振子元件100和布線基片250,在引線框架74和初級側(cè)電極64的連接部和引線框架78和初級側(cè)電極68的連接部分別接合固定。
通過這樣利用硅酮橡膠400使壓電振子元件100和布線基片250接合固定,可以提高對壓電振子元件100的布線基片250的支持固定的可靠性。而且,引線框架74與初級側(cè)電極64的連接部在壓電振子元件100的振動節(jié)點(diǎn)C,引線框架78與初級側(cè)電極68的連接部在壓電振子元件100的振動節(jié)點(diǎn)D,由于利用有彈性的硅酮橡膠把壓電振子元件100彈性地接合固定在這些振動節(jié)點(diǎn)及其附近,所以可抑制壓電振子元件100的振動的共振特性的降低。
而且。由于在引線框架74、78與布線基片250之間設(shè)置硅酮橡膠,所以可緩和引線框架74、78與布線基片250之間產(chǎn)生的沖擊,提高可靠性。
再有,利用硅酮橡膠300覆蓋引線框架74與初級側(cè)電極64的連接部附近的引線框架74,并覆蓋引線框架78與初級側(cè)電極68的連接部附近的引線框架78,所以可以使引線框架74、78的邊緣70(參看圖8)和壓電振子元件100相接部分向壓電振子元件100施加的集中應(yīng)力被分散,結(jié)果可獲得較大的耐下落沖擊強(qiáng)度。與此相反,在不設(shè)置硅酮橡膠,僅由引線框架74、78與初級側(cè)電極64、68連接時,要考慮引線框架74、78的邊緣70(參看圖8)與壓電振子元件100相接部分使應(yīng)力集中于壓電振子元件100,壓電振子元件100被破壞的情形。設(shè)置硅酮橡膠時,與不設(shè)置硅酮橡膠的情況相比,可獲得2倍以上的耐下落沖擊強(qiáng)度。
本實(shí)施例中,把引線框架72、74、76、78的一端預(yù)先分別軟釬焊接在初級側(cè)電極62、64、66、68的壓電振子元件100的下面,與布線基片250相對配置,引線框架72、76的另一端分別軟釬焊接在連接盤92,引線框架74、78的另一端分別軟釬焊接在連接盤94。在引線框架74與初級側(cè)電極64的連接部對應(yīng)處和引線框架78與初級側(cè)電極68的連接部對應(yīng)處,在布線基片250上預(yù)先形成貫通孔300,利用投放器向貫通孔300注入一定量的市售硅酮橡膠400。
本實(shí)施例中,使用有粘結(jié)性的硅酮橡膠400,但是也可使用無粘結(jié)性的硅酮橡膠。此時,利用硅酮橡膠的彈性,可以緩和沖擊。
在次級側(cè),在次級側(cè)端面18附近的上面12和下面14分別設(shè)置次級側(cè)電極65、67。初級側(cè)電極66、68與次級側(cè)電極65、67之間的壓電陶瓷基片10在縱向產(chǎn)生極化。次級側(cè)電極65通過連接部165利用引線199與連接盤99連接。連接部165設(shè)置在壓電陶瓷基片10的寬度方向的中央部位。外部連接端子110b安裝在連接盤99上。在布線基片250上還設(shè)置連接盤97,外部連接端子110a安裝在連接盤97上,但是此連接盤97和外部連接端子110a不與壓電振子元件100電氣連接,是用于把壓電變壓器部件500機(jī)械裝載于電路板120上。
(第六實(shí)施例)參看圖9A-9E說明本實(shí)施例。
本實(shí)施例的壓電變壓器部件500包括玻璃環(huán)氧基片710和在玻璃環(huán)氧基片710的表面上裝載的壓電陶瓷基片610。
壓電陶瓷基片610的左側(cè)2/3是初級側(cè),在壓電陶瓷基片610上面612設(shè)置初級側(cè)電極622、626,在下面614設(shè)置初級側(cè)電極624、628。初級側(cè)電極622、624之間的壓電陶瓷基片610在厚度方向向下產(chǎn)生極化,初級側(cè)電極626、628之間的壓電陶瓷基片610在厚度方向向上產(chǎn)生極化,初級側(cè)電極622和626連接,初級側(cè)電極624和628連接,由此,基于初級側(cè)電極622、624之間的壓電陶瓷基片610激勵的壓電陶瓷基片610的整體共振,和基于初級側(cè)電極626、628之間的壓電陶瓷基片610激勵的壓電陶瓷基片610的整體共振,相互增大其它的共振。
壓電陶瓷基片610的右側(cè)1/3是次級側(cè),在壓電陶瓷基片610的縱向產(chǎn)生極化。在壓電基片右端上面設(shè)置次級側(cè)電極629,由此取出升壓的電壓。
上述構(gòu)成的壓電陶瓷基片610起壓電變壓器的功能,在初級側(cè)端面616與次級側(cè)端面618之間,可以明顯地驅(qū)動例如1.5波長的振動模式。此時,從初級側(cè)端面616到壓電陶瓷基片610的縱向長度的1/6、3/6和5/6處分別成為縱向振動的節(jié)點(diǎn)C、D和E。寬度方向的振動節(jié)點(diǎn)在壓電陶瓷基片610的寬度方向的中心線上。
根據(jù)本實(shí)施例,在壓電陶瓷基片610的寬度方向的中心線上存在的縱向振動節(jié)點(diǎn)C、D和E的位置所分別對應(yīng)的位置,對玻璃環(huán)氧基片710的部分分別設(shè)置貫通孔722、724和726,分別通過這些貫通孔722、724和726,從玻璃環(huán)氧基片710的里面714注入硅酮橡膠粘結(jié)劑,由此利用點(diǎn)狀硅酮橡膠732、734、7 36分別使壓電陶瓷基片610與玻璃環(huán)氧基片710接合。而且,貫通孔622、624、626的直徑D1、D2、D3均是2.5mm,壓電陶瓷基片610的下面614與玻璃環(huán)氧基片710的表面712的距離是0.3mm。
這樣,在本實(shí)施例中,由于壓電振子元件100的振動節(jié)點(diǎn)C、D、E分別由硅酮橡膠732、734、736支撐,所以可抑制對振動的阻力。而且,由于是用彈性體的硅酮橡膠支撐壓電振子元件100,不必由引出電極的引線來支撐壓電陶瓷基片610,所以即使無剛性也可以自由布線。
根據(jù)本實(shí)施例,作為引出電極用的引線,使用直徑0.03mm×7支的絞合引線。絞合引線630通過軟釬料634、632分別與初級側(cè)電極626、622連接,其一端通過軟釬料631連接在玻璃環(huán)氧基片710表面712上設(shè)置的連接盤662。絞合引線640通過軟釬料644、642分別連接在初級側(cè)電極628、624,其一端通過軟釬料連接在玻璃環(huán)氧基片710表面712上設(shè)置的連接盤672。絞合引線650通過軟釬料652連接在次級側(cè)電極629,其一端通過軟釬料連接在玻璃環(huán)氧基片710表面712上設(shè)置的連接盤682。
這樣,根據(jù)本實(shí)施例,絞合引線6 30、640、650僅在壓電陶瓷基片610的縱向引出,由此可使壓電變壓器部件500的寬度與壓電陶瓷基片610的寬度基本相同。
而且,連接盤662、672、682分別作為外部連接端子660、670、680的一部分來形成,這些外部連接端子660、670、680,例如以外部連接端子660為例說明,如圖9C所示,利用通孔電鍍形成的電鍍層664形成通孔663。
以下,參考圖10A-10E說明本實(shí)施例的壓電變壓器的制造方法。
首先,如圖10A所示,分別在壓電振子元件100的初級側(cè)電極622、626軟釬焊接絞合引線630,在初級側(cè)電極624、628軟釬焊接絞合引線640,在次級側(cè)電極629軟釬焊接絞合引線650。
然后,如圖10B所示,對軟釬焊接了絞合引線630、640、650的壓電振子元件100機(jī)械超聲波清洗。超聲波清洗是在乙醇中清洗30秒,然后在純水中清洗30秒,最后在丙酮中清洗。
隨后,如圖10C所示,利用硅酮橡膠890接合壓電陶瓷基片610和玻璃環(huán)氧基片710。此時,在壓電陶瓷基片610和玻璃環(huán)氧基片710之間夾持厚0.3mm的襯板822、824的狀態(tài)下,用夾具832、834固定,從玻璃環(huán)氧基片710的里面714分別通過通孔722、724、726注入硅酮橡膠890,機(jī)械接合。
之后,如圖10D所示,把絞合引線630、640、650分別軟釬焊接在玻璃環(huán)氧基片上的連接盤662、672、682。
接著,如圖10E所示,利用粘結(jié)劑投放器840把ABS樹脂制成的蓋850用丙烯型UV固化粘結(jié)劑接合。
(第七實(shí)施例)參考圖11A-11D說明本實(shí)施例。
本實(shí)施例的壓電變壓器部件500包括玻璃環(huán)氧基片710和在玻璃環(huán)氧基片710的表面上裝載的壓電陶瓷基片610。
壓電陶瓷基片610的左側(cè)1/2是初級側(cè),在壓電陶瓷基片610上面612、下面614設(shè)置初級側(cè)電極621、623。初級側(cè)電極621、623之間的壓電陶瓷基片610在厚度方向產(chǎn)生極化。
壓電陶瓷基片610的右側(cè)1/2是次級側(cè),在壓電陶瓷基片610的縱向產(chǎn)生極化。在壓電基片右端上面設(shè)置次級側(cè)電極625,由此取出升壓的電壓。
上述構(gòu)成的壓電陶瓷基片610起壓電變壓器的功能,在初級側(cè)端面616與次級側(cè)端面618之間,可以明顯地驅(qū)動例如1波長的振動模式。此時,從初級側(cè)端面616到壓電陶瓷基片610的縱向長度的1/4和3/4處分別成為縱向振動的節(jié)點(diǎn)A和B。寬度方向的振動節(jié)點(diǎn)在壓電陶瓷基片610的寬度方向的中心線上。
根據(jù)本實(shí)施例,在壓電陶瓷基片610的寬度方向的中心線上存在的縱向振動節(jié)點(diǎn)A和B的位置所分別對應(yīng)的位置,對玻璃環(huán)氧基片710的部分分別設(shè)置貫通孔721、723,分別通過這些貫通孔721、723,從玻璃環(huán)氧基片710的里面714注入硅酮橡膠粘結(jié)劑,由此利用點(diǎn)狀硅酮橡膠731、733分別使壓電陶瓷基片610與玻璃環(huán)氧基片710接合。而且,貫通孔721、72 3的直徑D4、D5均是2.5mm,壓電陶瓷基片610的下面614與玻璃環(huán)氧基片710的表面712的距離是0.3mm。
這樣,在本實(shí)施例中,由于壓電振子元件100的振動節(jié)點(diǎn)A、B分別由硅酮橡膠731、733支撐,所以可抑制對振動的阻力。而且,由于是用彈性體的硅酮橡膠支撐壓電振子元件100,不必由引出電極的引線來支撐壓電陶瓷基片610,所以即使無剛性也可以自由布線。
根據(jù)本實(shí)施例,作為引出電極用的引線,使用直徑0.03mm×7支的絞合引線635、645。絞合引線635通過軟釬料637與初級側(cè)電極621連接,其一端通過軟釬料連接在玻璃環(huán)氧基片710表面712上設(shè)置的連接盤662。絞合引線645通過軟釬料647連接在初級側(cè)電極623,其一端通過軟釬料連接在玻璃環(huán)氧基片710表面712上設(shè)置的連接盤672。絞合引線655通過軟釬料657連接在次級側(cè)電極625,其一端通過軟釬料連接在玻璃環(huán)氧基片710表面712上設(shè)置的連接盤682。
這樣,根據(jù)本實(shí)施例,絞合引線633、645、655僅在壓電陶瓷基片610的縱向引出,由此可使壓電變壓器部件500的寬度與壓電陶瓷基片610的寬度基本相同。
在上述第六、第七實(shí)施例中,外部連接端子660、670、680設(shè)置在上述縱向的玻璃環(huán)氧基片710的端部,所以在電路中組裝壓電變壓器部件500時可以縮小寬度。
如上所述,根據(jù)本發(fā)明,可使壓電振子元件的支撐結(jié)構(gòu)和壓電振子部件的結(jié)構(gòu)簡單,易于實(shí)現(xiàn)薄型化,而且容易進(jìn)行表面安裝。
此外,還提供了寬度方向尺寸小的壓電變壓器部件。
結(jié)果,本發(fā)明特別適合應(yīng)用于作為液晶顯示屏的背景照明的冷陰極管點(diǎn)燈用的壓電變壓器、其支撐結(jié)構(gòu)及其安裝方法。
權(quán)利要求
1.一種壓電振子的支撐結(jié)構(gòu),其特征在于,利用導(dǎo)電彈性體制成的引線端子,電氣和機(jī)械地分別連接設(shè)置于壓電振子元件表面上的至少一個電極和布線基片的至少一個導(dǎo)電部材,所述壓電振子元件的所述電極與所述布線基片的所述導(dǎo)電部件通過所述引線端子電氣導(dǎo)通,并且利用所述引線端子與所述布線基片不接觸地支撐所述壓電振子元件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的壓電振子的支撐結(jié)構(gòu),其特征在于,具有所述壓電振子元件的所述至少一個電極的面與所述布線基片對置,所述導(dǎo)電彈性體制成的引線端子的一端在所述電極的預(yù)定連接處與所述電極連接,所述引線端子的另一端與所述布線基片的導(dǎo)電部材連接,設(shè)置覆蓋所述連接處附近的所述引線端子的緩沖部材。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的壓電振子的支撐結(jié)構(gòu),其特征在于,具有所述壓電振子元件的所述至少一個電極的面與所述布線基片對置,所述導(dǎo)電彈性體制成的引線端子的一端在所述電極的預(yù)定連接處與所述電極連接,所述引線端子的另一端與所述布線基片的導(dǎo)電部材連接,在至少與所述連接處對應(yīng)之處,于所述引線端子和所述布線基片之間設(shè)置緩沖部材。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的壓電振子的支撐結(jié)構(gòu),其特征在于,具有所述壓電振子元件的所述至少一個電極的面與所述布線基片對置,所述引線端子的一端在所述電極的預(yù)定連接處與所述電極連接,所述引線端子的另一端與所述布線基片的導(dǎo)電部材連接,利用彈性粘結(jié)劑制成的緩沖部材,在至少與所述連接處對應(yīng)之處,連接所述壓電振子元件和所述布線基片。
5.根據(jù)權(quán)利要求2-4中任一項(xiàng)的壓電振子的支撐結(jié)構(gòu),其特征在于,在與所述布線基片的所述連接處的對應(yīng)部分設(shè)置貫通孔,在所述貫通孔填充所述緩沖部材。
6.根據(jù)權(quán)利要求1的壓電振子的支撐結(jié)構(gòu),其特征在于,在所述配線基板上設(shè)置孔,所述壓電振子元件的至少一部分容納于孔內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)的壓電振子的支撐結(jié)構(gòu),其特征在于,所述引線端子是條狀導(dǎo)電薄帶。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)的壓電振子的支撐結(jié)構(gòu),其特征在于,所述引線端子與所述壓電振子元件的所述電極的連接部位中的至少一個連接部是所述壓電振子元件的振動節(jié)點(diǎn)。
9.根據(jù)權(quán)利要求2-5中任一項(xiàng)的壓電振子的支撐結(jié)構(gòu),其特征在于,所述引線端子與所述壓電振子元件的所述電極的連接部位中設(shè)置所述緩沖部材的連接部是所述壓電振子元件的振動節(jié)點(diǎn)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-9中任一項(xiàng)的壓電振子的支撐結(jié)構(gòu),其特征在于,所述壓電振子是壓電變壓器。
11.一種壓電振子部件,具有壓電振子元件,其特征在于,還包括裝載所述壓電振子元件的布線基片和所述壓電振子部件的外部連接端子,利用導(dǎo)電彈性體制成的引線端子把所述壓電振子元件裝載于所述布線基片,在所述布線基片安裝或者設(shè)置所述外部連接端子,通過所述布線基片的導(dǎo)電部材,使所述壓電振子元件和所述外部連接端子電氣地連接。
12.根據(jù)權(quán)利要求11的壓電振子部件,其特征在于,利用所述引線端子,電氣和機(jī)械地分別連接在所述壓電振子元件表面設(shè)置的至少一個電極和所述布線基片的至少一個導(dǎo)電部材,利用所述引線端子電氣導(dǎo)通所述壓電振子元件的所述電極和所述布線基片的所述導(dǎo)電部材,同時利用所述引線端子在不與所述布線基片接觸的情況下支撐所述壓電振子元件。
13.根據(jù)權(quán)利要求11的壓電振子部件,其特征在于,具有所述壓電振子元件的所述至少一個電極的面與所述布線基片對置,所述引線端子的一端在所述電極的預(yù)定連接處與所述電極連接,所述引線端子的另一端與所述布線基片的導(dǎo)電部材連接,設(shè)置覆蓋所述連接處附近的所述引線端子的緩沖部材。
14.根據(jù)權(quán)利要求11的壓電振子部件,其特征在于,具有所述壓電振子元件的至少一個電極的面與所述布線基片對置,所述引線端子的一端在所述電極的預(yù)定連接處與所述電極連接,所述引線端子的另一端與所述布線基片的導(dǎo)電部材連接,在至少與所述連接處對應(yīng)之處,在所述引線端子和之間設(shè)置緩沖部材。
15.根據(jù)權(quán)利要求11的壓電振子部件,其特征在于,具有所述壓電振子元件的至少一個電極的面與所述布線基片對置,所述引線端子的一端在所述電極的預(yù)定連接處與所述電極連接,所述引線端子的另一端與所述布線基片的所述導(dǎo)電部材連接,利用彈性粘結(jié)劑制成的緩沖部材,在至少與所述連接處對應(yīng)之處,連接所述壓電振子元件和所述布線基片。
16.根據(jù)權(quán)利要求13-15中任一項(xiàng)的壓電振子部件,其特征在于,在與所述布線基片的所述連接處的對應(yīng)部分設(shè)置貫通孔,在所述貫通孔填充所述緩沖部材。
17.根據(jù)權(quán)利要求11-16中任一項(xiàng)的壓電振子部件,其特征在于,所述引線端子是條狀導(dǎo)電薄帶。
18.根據(jù)權(quán)利要求12的壓電振子部件,其特征在于,所述引線端子與所述壓電振子元件的所述電極的連接部位中的至少一個連接部是所述壓電振子元件的振動節(jié)點(diǎn)。
19.根據(jù)權(quán)利要求13-16中任一項(xiàng)的壓電振子部件,其特征在于,所述引線端子與所述壓電振子元件的所述電極的連接部位中設(shè)置所述緩沖部材的連接部是所述壓電振子元件的振動節(jié)點(diǎn)。
20.根據(jù)權(quán)利要求11-19中任一項(xiàng)的壓電振子部件,其特征在于,在所述布線基片上安裝覆蓋所述壓電振子元件和所述引線端子的外殼。
21.根據(jù)權(quán)利要求11-20中任一項(xiàng)的壓電振子部件,其特征在于,所述壓電振子是壓電變壓器。
22.一種壓電振子的安裝方法,其特征在于包括以下步驟具有壓電振子元件的至少一個電極的面與布線基片的一個主面對置,導(dǎo)電彈性體制成的引線端子的一端在所述電極的預(yù)定連接處與所述電極連接,所述引線端子的另一端與所述布線基片的導(dǎo)電部材連接;通過在與所述布線基片的所述連接處的對應(yīng)部分設(shè)置的貫通孔,從與所述布線基片的一個主面相反側(cè)的另一主面注入緩沖部材,在至少與所述連接處對應(yīng)之處在所述引線端子和所述布線基片之間設(shè)置緩沖部材。
23.根據(jù)權(quán)利要求22的壓電振子的安裝方法,其特征在于,在所述引線端子和所述布線基片之間設(shè)置所述緩沖部材的步驟,是在至少與所述連接處對應(yīng)之處在所述引線端子和所述布線基片之間設(shè)置所述緩沖部材,同時利用所述緩沖部材覆蓋所述連接部附近的所述連接端子。
24.根據(jù)權(quán)利要求22的壓電振子的安裝方法,其特征在于,所述緩沖部材是彈性粘結(jié)劑,在所述引線端子和所述布線基片之間設(shè)置所述緩沖部材的步驟,是在至少與所述連接處對應(yīng)之處在所述引線端子和所述布線基片之間設(shè)置所述緩沖部材,同時利用所述緩沖部材連接所述壓電振子元件和所述布線基片。
25.根據(jù)權(quán)利要求22-24中任一項(xiàng)的壓電振子的安裝方法,其特征在于,所述壓電振子是壓電變壓器。
26.一種壓電變壓器部件,具有壓電振子元件,其特征在于,還包括裝載所述壓電振子元件的裝載基片和所述壓電振子部件的外部連接端子,在所述裝載基片上裝載所述壓電振子元件,在所述裝載基片上安裝或者設(shè)置所述外部連接端子,通過所述裝載基片的導(dǎo)電部材,使所述壓電振子元件和所述外部連接端子電連接。
27.根據(jù)權(quán)利要求26的壓電變壓器部件,其特征在于,在所述壓電振子元件的寬度方向的中心線上,在所述壓電振子元件縱向長度的1/n(n是2以上的整數(shù))的m倍(m是比n小的整數(shù))的位置中的一個以上的位置,通過彈性體接合所述壓電振子元件和所述裝載基片。
28.根據(jù)權(quán)利要求26的壓電變壓器部件,其特征在于,在所述壓電振子元件的振動節(jié)點(diǎn)的相當(dāng)位置中的一個以上的位置,通過彈性體接合所述壓電振子元件和所述裝載基片。
29.根據(jù)權(quán)利要求27或28的壓電變壓器部件,其特征在于,通過所述彈性體接合的接合處是2個以上。
30.根據(jù)權(quán)利要求27-29中任一項(xiàng)的壓電變壓器部件,其特征在于,在與所述裝載基片的所述壓電振子元件的所述接合部分所對應(yīng)的部分設(shè)置貫通孔。
31.根據(jù)權(quán)利要求27-30中任一項(xiàng)的壓電變壓器部件,其特征在于,所述彈性體是彈性粘結(jié)劑。
32.一種壓電變壓器部件的制造方法,該壓電變壓器部件具有壓電振子元件和裝載所述壓電振子元件的裝載基片,該方法的特征在于包括以下步驟在所述裝載基片的預(yù)定部分設(shè)置貫通孔;通過所述貫通孔,從所述裝載基片的裝載所述壓電振子元件的面相反側(cè)的面,注入彈性粘結(jié)劑,利用所述彈性粘結(jié)劑接合所述壓電振子元件和所述裝載基片。
33.根據(jù)權(quán)利要求32的壓電變壓器部件的制造方法,其特征在于,在所述裝載基片的預(yù)定部分設(shè)置貫通孔的步驟,是在與所述壓電振子元件的寬度方向的中心線上,所述壓電振子元件縱向長度的1/n(n是2以上的整數(shù))的m倍(m是比n小的整數(shù))的位置中的一處以上的位置對應(yīng)的所述裝載基片的預(yù)定部分設(shè)置貫通孔。
34.根據(jù)權(quán)利要求32的壓電變壓器部件的制造方法,其特征在于,在所述裝載基片的預(yù)定部分設(shè)置貫通孔的步驟,是在與所述壓電振子元件的振動節(jié)點(diǎn)相當(dāng)?shù)奈恢弥械囊惶幰陨系奈恢脤?yīng)的所述裝載基片的預(yù)定部分設(shè)置貫通孔。
35.一種壓電變壓器的支撐結(jié)構(gòu),把壓電振子元件支撐在布線基片上,其特征在于,在所述壓電振子元件的寬度方向的中心線上,所述壓電振子元件縱向長度的1/n(n是2以上的整數(shù))的m倍(m是比n小的整數(shù))的位置中的一處以上的位置對應(yīng)的所述裝載基片的預(yù)定部分設(shè)置貫通孔;在所述預(yù)定位置,利用彈性體接合所述壓電振子元件和所述裝載基片。
36.一種壓電變壓器的支撐結(jié)構(gòu),把壓電振子元件支撐在布線基片上,其特征在于,在與所述壓電振子元件的振動節(jié)點(diǎn)相當(dāng)?shù)奈恢弥械囊惶幰陨系奈恢脤?yīng)的所述裝載基片的預(yù)定部分設(shè)置貫通孔;在所述預(yù)定位置,利用彈性體接合所述壓電振子元件和所述裝載基片。
37.一種壓電變壓器的安裝方法,在布線基片上安裝壓電振子元件,其特征在于包括以下步驟在所述壓電振子元件的寬度方向的中心線上,所述壓電振子元件縱向長度的1/n(n是2以上的整數(shù))的m倍(m是比n小的整數(shù))的位置中的一處以上的位置對應(yīng)的所述裝載基片的預(yù)定部分設(shè)置貫通孔;通過所述貫通孔,從與所述布線基片的裝載所述壓電振子元件的面相反側(cè)的面注入彈性粘結(jié)劑,利用所述彈性粘結(jié)劑接合所述壓電振子元件和所述裝載基片。
38.一種壓電變壓器的安裝方法,在布線基片上安裝壓電振子元件,其特征在于包括以下步驟在與所述壓電振子元件的振動節(jié)點(diǎn)相當(dāng)?shù)奈恢弥械囊惶幰陨系奈恢脤?yīng)的所述裝載基片的預(yù)定部分設(shè)置貫通孔;通過所述貫通孔,從與所述布線基片的裝載所述壓電振子元件的面相反側(cè)的面注入彈性粘結(jié)劑,利用所述彈性粘結(jié)劑接合所述壓電振子元件和所述裝載基片。
全文摘要
一種構(gòu)成壓電變壓器的壓電振子元件(100)由引線框架(32、34、36)支撐。引線框架(32)的一端在連接部位(31)與初級側(cè)電極(22)焊接,另一端與連接盤(42)焊接。引線框架(34)的一端在連接部位(35)與次級側(cè)電極(26)焊接,另一端與連接盤(46)焊接。連接部位(31和33)位于振動節(jié)點(diǎn)。由于通過引線框架(32、34、36)實(shí)現(xiàn)電氣和機(jī)械連接,所以結(jié)構(gòu)簡單,容易減小振子的厚度,易于組合振子。
文檔編號H01L41/00GK1197548SQ96197193
公開日1998年10月28日 申請日期1996年8月22日 優(yōu)先權(quán)日1995年8月25日
發(fā)明者金山光一, 高木周作, 吉田光伸, 巖田靖司 申請人:三井化學(xué)株式會社