專利名稱：金屬線接合裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種金屬線接合裝置，特別是一種帶有改進(jìn)的接合頭的金屬線接合裝置。
通常，用于將一芯片接合到一具有許多根成形引線的引線框上并然后用金屬線(通常為金線)連接芯片和引線的金屬線接合過程是通過作為金屬線接合裝置的核心部分的接合頭來完成的。
根據(jù)驅(qū)動方法，已有若干種用于這種金屬線接合裝置的接合頭。由日本的Shinkawa制造的一種接合頭(型號為UTC—100)使用用以沿X和Y方向傳送變換器的其上安裝有滾珠螺旋(ballscrew)和線性電機(jī)導(dǎo)向件的X，Y臺用以沿X和Y方向傳送變換器(transducer)，以及用于沿Z方向傳送它的一電機(jī)和一凸輪。
在接合頭的另一個例子中，X，Y臺用于沿X，Y方向傳送變換器，而一線性電機(jī)用于沿Z方向傳送它。
使用通常的如上所述的接合頭的金屬線接合裝置具有如下問題。
首先，用于沿X，Y和Z方向傳送變換器的滾珠螺旋或線性電機(jī)由于零件間的摩擦和磨損而引起能量損失，因而需要定期更換零件。
其次，接合頭的結(jié)構(gòu)非常復(fù)雜，因而需要許多裝配操作步驟而使生產(chǎn)率難以提高。
第三，為了獲得高速金屬線接合，需要在X，Y臺上安裝AC或DC伺服電機(jī)以及驅(qū)動裝置，因而由于設(shè)備成本增加而使產(chǎn)品成本上升。
第四，X，Y臺很重，因而需要大的安裝空間。
因此，本發(fā)明的目的是提供能夠克服由于現(xiàn)有技術(shù)的限制和缺陷而產(chǎn)生的一個或更多個問題的金屬線接合裝置。
本發(fā)明提供了一種具有簡單結(jié)構(gòu)的金屬線接合裝置，它能夠減少由于驅(qū)動部分的摩擦而產(chǎn)生的能量損失。另外，本發(fā)明的接合頭能做得很緊湊并能根據(jù)X，Y臺的移動精確控制其位置。
本發(fā)明的其它特征和優(yōu)點將在以下的具體說明中顯示出來，部分將從說明書或本發(fā)明的實踐中明顯看出。本發(fā)明的目的和其它優(yōu)點將由說明書，權(quán)利要求書以及所附的附圖中描述的裝置實現(xiàn)和獲得。
為了實現(xiàn)這些和其它的優(yōu)點及根據(jù)本發(fā)明的目的，如實施例及概括的說明，本發(fā)明提供了一種金屬線接合裝置，包括一框架；一安裝在框架上的X，Y臺，具有一帶第一定子和第一感應(yīng)器的線性步進(jìn)電機(jī)；一可樞軸轉(zhuǎn)動地安裝在X，Y臺上的變換器，其一端安裝一用于接合金屬線的毛細(xì)管；第一傳送裝置，安裝在框架上以使變換器的另一端傳送，從而用于接合金屬線的毛細(xì)管傳送；第二傳送裝置，在第一傳送裝置之前安裝在X，Y臺上以使變換器的另一端在接合的時候傳送；以及一安裝到框架和X，Y臺上的第一位置探測部分，用以探測沿X和Y方向的移動量。
在本發(fā)明中，第一傳送裝置包括一線性步進(jìn)電機(jī)，它具有垂直安裝在框架上的第二定子和可沿第二定子在垂直方向滑動的第二感應(yīng)器；一用于連接安裝到第二感應(yīng)器的一端的支承件和變換器的另一端的彈簧；以及一安裝到第二定子上用于與變換器的另一端的上表面接觸的擋塊。
此外，第一位置探測裝置包括一用于探測第一感應(yīng)器沿X方向傳送的距離的X方向探測部分和一用于探測第一感應(yīng)器沿Y方向傳送的距離的Y方向探測部分。
X方向探測部分包括一安裝到X，Y臺的第一感應(yīng)器上的編碼鏡，具有一用于反射光線的預(yù)定的第一反射層圖形；一安裝到框架上的殼體，其中設(shè)有用于向編碼鏡輻射光線的光源和用于接受從光源輻射出并由第一反射層圖形反射的光線接受部分；以及一安裝到其中設(shè)有光源和光接受部分的殼體的上表面上的光鏡，它具有第二反射層圖形，用于通過由編碼鏡朝向光接受部分反射的光線或?qū)⒐饩€反射到編碼鏡。
此外，第一傳送裝置還包括一用于探測第二感應(yīng)器的傳送位置的第二位置探測裝置。
應(yīng)理解上面的一般描述和下面的詳細(xì)描述均是以舉例和解釋的方式對所附權(quán)利要求所限定的發(fā)明提供進(jìn)一步的解釋。
附圖是為了更好地理解本發(fā)明并作為說明書的一部分，示出本發(fā)明的一個實施例并與說明書一起用于解釋本發(fā)明的原理。
作為說明書一部分的附圖示出了本發(fā)明的實施例，它和說明書一起用于說明本發(fā)明的目的，優(yōu)點和原理。附圖中

圖1為根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的金屬線接合裝置的透視圖；圖2為第一位置探測部分的分解透視圖；圖3為第一位置探測部分的X方向探測部分的編碼鏡和光鏡的透視圖，并示出第一第一反射層圖形和第二反射層圖形；
圖4為第一位置探測部分的Y方向探測部分的編碼鏡和光鏡的透視圖，并示出第三反射層圖形和第四反射層圖形；圖5為第二位置探測部分的透視圖；圖6為示出根據(jù)本發(fā)明的金屬線接合裝置的接合周期的圖表；圖7—14示出根據(jù)本發(fā)明的金屬線接合裝置的操作狀態(tài)。
根據(jù)本發(fā)明的金屬線接合裝置具有一加熱塊和一用于對安裝在加熱塊上的引線框進(jìn)行金屬線接合的接合頭。
下面參照附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的一個最佳實施例。
圖1示出本發(fā)明的金屬線接合裝置的作為示例的實施例。
如圖1所示，金屬線接合裝置包括一框架；一安裝在框架1上的X，Y臺10，它具有一線性步進(jìn)電機(jī)；一可樞軸轉(zhuǎn)動地安裝在X，Y臺上用于接合金屬線的頭部分20；一靠近頭部分20的變換器23的一端安裝的第一傳送部分30，以傳送變換器23；一在第一傳送部分30之前安裝在X，Y臺10上的第二傳送部分40，以傳送頭部分的變換器23的另一端；一安裝到框架1和X，Y臺10上用于探測沿X和Y方向的移動量的第一位置探測部分100；以及安裝到第一傳送傳送部分30上用于探測傳送位置的第二位置探測部分60。
X，Y臺10固定安裝到框架1上并包括一通常的線性步進(jìn)電機(jī)。由一線性步進(jìn)電機(jī)組成的X，Y臺10包括一安裝到框架1上的第一定子11和安裝在第一定子11上的第一感應(yīng)器13，從而由一永磁體12，一空氣軸承和一電磁體(未示出)沿X軸線和Y軸線傳送。這里，在朝向第一感應(yīng)器13的第一定子11的表面上沿X軸線和Y軸線形成多行齒14。
頭部分20安裝到X，Y臺10的第一感應(yīng)器13上，從而頭部分20的兩端能夠樞軸轉(zhuǎn)動，以將引線框架的接線端接合到芯片的導(dǎo)線上。頭部分20包括一固定到第一感應(yīng)器13上的托架21和一固定到變換器23的兩端之間的一部分上并與托架21鉸接以相對于托架21可樞軸轉(zhuǎn)動地支承變換器23的支承件22。一用于接合金屬線500的毛細(xì)管24安裝到變換器23的一端，而一可相對轉(zhuǎn)動地安裝到變換器上的輥25安裝到變換器23的另一端。在變換器23之上還安裝有一由支承件22支承的的金屬線夾26。
第一傳送部分30垂直于X，Y臺10而安裝到框架1上以使與托架21鉸接的頭部分20的變換器23作繞樞軸轉(zhuǎn)動，并包括一通常的步進(jìn)電機(jī)。由線性步進(jìn)電機(jī)構(gòu)成的第一傳送部分30包括一垂直于框架1固定安裝的第二定子31，；一可由一永磁體，一空氣軸承和一電磁體沿Z軸線傳送到第二定子31的第二感應(yīng)器32以及用于當(dāng)?shù)诙袘?yīng)器32相對于第二定子31傳送時防止第二感應(yīng)器32轉(zhuǎn)動的導(dǎo)向件33；還包括一安裝在第二定子31上的支承件34，一用于將支承件34的一端連接到感應(yīng)器23的安裝有輥25的一端的彈簧35，以及一從第二感應(yīng)器32的前表面伸出預(yù)定長度以與輥的上表面接觸的擋塊36。在這里，導(dǎo)向件33固定到第二感應(yīng)器32上并由一與第二定子31的側(cè)表面可滑動地接觸的板狀永磁體構(gòu)成。
第二傳送部分40安裝在變換器23的另一端和X，Y臺的第一感應(yīng)器之間，并由一通常的音圈電機(jī)41構(gòu)成，以使變換器23可轉(zhuǎn)動地移動。
參見圖2，第一位置探測部分100安裝到框架1和X，Y臺10的第一感應(yīng)器13上，并包括一用于探測其上安裝有頭部分20(見圖1)的第一感應(yīng)器13沿X軸線的傳送距離的X方向探測部分110，以及用于探測其沿Y軸線的傳送距離的Y方向探測部分120。
X軸線探測部分110的結(jié)構(gòu)如下帶有用于反射光線的預(yù)定的第一反射層圖形111的編碼鏡112安裝到X，Y臺10的感應(yīng)器13上。用于向編碼鏡112輻射光線的光源114和用于探測從光源114輻射出并由第一反射層圖形11反射的光線量的光線接受部分115安裝在固定到框架1上的殼體113中，從而其位置垂直于編碼鏡112。一光鏡117朝向光源114和光線接受部分115而安裝在殼體113上，該光鏡具有一供由編碼鏡112反射的光線通過到光接受部分115或?qū)⑸鲜龉饩€重新反射至編碼鏡112的第二反射層圖形116。用于支承編碼鏡112的支承孔13a形成在第一感應(yīng)器13中，而編碼鏡112固定在支承孔13a內(nèi)以避免受外部干擾。
如圖3中所示，形成在編碼鏡112上的第一反射層圖形111是通過在透明的編碼鏡112上形成沿Y方向設(shè)置的具有預(yù)定間距的平行條狀的第一反射層111a而實現(xiàn)的。而且，如圖3中所示，形成在光鏡117上的第二反射層圖形116是通過在光鏡117的第一，第二，第三和第四象限A1，A2，A3和A4上分別形成沿Y方向設(shè)置的具有預(yù)定間距的平行條狀的第二反射層116a，116b，116c和116d而實現(xiàn)的。在這里，分別形成在第一，第二，第三和第四象限A1，A2，A3和A4上的第二反射層116a，116b，116c和116d在光鏡的Y軸線的基礎(chǔ)上以預(yù)定的間距交錯。
Y軸線探測部分110的結(jié)構(gòu)如下帶有用于反射光線的預(yù)定的第三反射層圖形121的編碼鏡122安裝到X，Y臺10的感應(yīng)器13上，如圖1和2所示。用于向編碼鏡122輻射光線的光源124和用于探測從光源124輻射出并由第三反射層圖形121反射的光線量的光線接受部分125安裝在由框架1支承的殼體123中，從而其位置垂直于編碼鏡122。一光鏡127朝向光源124和光線接受部分125而安裝在殼體123上，該光鏡具有一供由編碼鏡122反射的光線通過到光接受部分125或?qū)⑸鲜龉饩€重新反射至編碼鏡122的第四反射層圖形126。
如圖4中所示，形成在編碼鏡122上的第三反射層圖形121是通過在透明的編碼鏡122上形成沿X方向設(shè)置的具有預(yù)定間距的平行條狀的第三反射層121a而實現(xiàn)的。而且，形成在光鏡127上的第四反射層圖形126是通過在光鏡127的第一，第二，第三和第四象限B1，B2，B3和B4上分別形成沿X方向設(shè)置的具有預(yù)定間距的平行條狀的第四反射層126a，126b，126c和126d而實現(xiàn)的。在這里，分別形成在第一，第二，第三和第四象限B1，B2，B2和B4上的第四反射層126a，126b，126c和126d在光鏡的X軸線的基礎(chǔ)上以預(yù)定的間距交錯。
參見圖5，第二位置探測部分60探測第二感應(yīng)器32沿Z軸線方向相對于第二定子31的傳送距離。第二位置探測部分60包括一安裝到一對從第二定子31的側(cè)表面伸出的支承突起61和62上并距固定到第二定子31上的托架66相等的預(yù)定距離的編碼鏡64。托架66上形成有一預(yù)定的第三反射層圖形，其中形成供編碼鏡插入的槽。光源67面向編碼鏡64的一側(cè)表面安裝以輻射光線。一光鏡68和一光接受部分69朝向編碼鏡64的另一側(cè)表面順序安裝到托架66上。這里，形成在光鏡68和編碼鏡64上的反射圖形與上述第一位置探測部分100中的圖形一樣。
下面參照圖6—14說明具有上述結(jié)構(gòu)的本發(fā)明的金屬線接合裝置的操作。
圖6示出根據(jù)本發(fā)明的金屬線接合裝置的操作的接合周期的圖表；而圖7—14順序示出根據(jù)本發(fā)明的金屬線接合裝置的操作狀態(tài)。
下面參照接合過程圖表說明將芯片接合到接線上的狀態(tài)，該操作狀態(tài)示出將接線框架300和芯片400供送到加熱塊200上，該加熱塊位于安裝在頭部分20的變換器23的端部上的毛細(xì)管24的垂直的下方。
首先，芯片400到金屬線的接合口的狀態(tài)如下在通過第一傳送部分30的彈簧35與托架21鉸接的變換器23上施加繞樞軸轉(zhuǎn)動力，安裝到第一傳送部分30的第二感應(yīng)器32上的擋塊36與安裝到變換器23一端上的輥25接觸，以防止變換器23的另一端上升，從而保持如圖7所示的狀態(tài)。沿Z方向安裝在變換器23一端的毛細(xì)管24的位置為圖6中所示的Z5。
在該狀態(tài)下，隨著第二感應(yīng)器32在第一傳送部分30的作用下相對于第二定子上升，擋塊36上升，而在彈簧35張力作用下繞樞軸轉(zhuǎn)動的變換器23以及安裝在變換器23一端的毛細(xì)管24下降到如圖8所示的狀態(tài)，毛細(xì)管24的位置為Z4。毛細(xì)管24的位置Z4為用于接合的初始或設(shè)定位置。
在實現(xiàn)上述操作的過程中，首先，安裝在框架1上的由線性步進(jìn)電機(jī)構(gòu)成的X，Y臺10的感應(yīng)器13沿X軸線方向，Y軸線方向，或X和Y軸線方向相對于第一定子11傳送，從而使安裝到變換器23一端的毛細(xì)管24位于接到接線框架的接線口的芯片口之上。
在上述狀態(tài)中，如果第一傳送部分30操作使第二感應(yīng)器32進(jìn)一步上升，毛細(xì)管24下降到一位置Z2，芯片與毛細(xì)管24的尖端之間的距離在150—200μm的范圍內(nèi)，并且毛細(xì)管以約250mm/sec的速度移動至如圖9所示的狀態(tài)。
在該狀態(tài)中，向音圈電機(jī)41供給電流以提供用于接合的壓力，從而改變毛細(xì)管24的下降速度使其低于第二感應(yīng)器32的上升速度。因此，第二感應(yīng)器32的擋塊36與變換器23的輥25分開，并且音圈電機(jī)41連續(xù)操作以使變換器23的安裝輥25的一端上升，從而使毛細(xì)管24與芯片400接觸，如圖10所示。在該狀態(tài)中，變換器23在音圈電機(jī)41的作用下轉(zhuǎn)動，并因而以預(yù)定長的時間在毛細(xì)管24上施加接合力以接合金屬線。此外，當(dāng)完成芯片400的口的接合時，中斷向音圈供電。
當(dāng)完成芯片口的接合時，第一傳送部分30的第二感應(yīng)器32以高速下降，從而使安裝到變換器23一端的輥25與擋塊36接觸，如圖11中所示。因此，毛細(xì)管24以高速上升，從而與芯片的距離變成Z3。
當(dāng)完成到芯片口的接合時，安裝在框架1上的構(gòu)成X，Y臺10的線性步進(jìn)電機(jī)的第一感應(yīng)器13沿X軸線方向，Y軸線方向或X和Y軸線方向移動，以使毛細(xì)管24位于接線框架的接線口上以連接到芯片口上。
此時，由第一位置探測部分100探測第一感應(yīng)器13相對于第一定子11的傳送量，以使位于安裝在第一感應(yīng)器13上的變換器23一端的毛細(xì)管24精確位于接線框架之上以進(jìn)行接合。
由第一探測部分30對第一感應(yīng)器13的傳送距離的探測是由X方向探測部分110和Y方向探測部分120進(jìn)行的。下面參照圖2，3和4說明由X方向探測部分110對第一感應(yīng)器13的傳送距離的探測。
光源114打開以輻射光線至光鏡117和編碼鏡112，光鏡117上形成有第二反射層圖形116，而在編碼鏡112上形成有第一反射層圖形111，使從光源輻射出的光線通過第二反射層圖形116輻射至第一反射層圖形111，然后使輻射光線由形成第一反射層圖形111的第一反射層111a反射，從而使穿過第二反射層圖形116的第二反射層116a—116d之間的反射光線被光接受部分115接受。在這種狀態(tài)中，傳送第一感應(yīng)器13以及編碼鏡112。因此，在第一和第二反射層111a和116a—116d中產(chǎn)生相互重疊的部分，從而使由光線接受部分探測到的光線的量不同。即，第一反射層圖形111的第一反射層111a之間具有預(yù)定的間距，并形成沿Y方向設(shè)置的條狀。
另外，形成在光鏡117上的第二反射層圖形116分別在光鏡的第一，第二，第三和第四象限上具有預(yù)定的間距，并由設(shè)置成條帶狀的第二反射層116a，116b，116c和116d組成。分別形成在第一，第二，第三和第四象限上的第二反射層116a，116b，116c和116d在光鏡117上在Y軸線的基礎(chǔ)上以預(yù)定的間距交錯。因此，如果傳送安裝在第一感應(yīng)器13上的編碼鏡112，第一反射層圖形111和第二反射層圖形116部分重疊而產(chǎn)生光的干涉，因而光線接受部分115接受的穿過形成在第一，第二，第三和第四象限上的第二反射層116a，116b，116c和116d的由第一反射層圖形111反射的光線量不同。將由光線接受部分115探測的光線量轉(zhuǎn)換成距離，從而可精確計算第一感應(yīng)器13沿X軸線方向的傳送距離。
第一位置探測部分的Y方向探測部分將由光線接受部分125由于沿X方向形成的第三和第四反射層圖形121和126的干涉而探測到的光線量以上述方法轉(zhuǎn)變成第一感應(yīng)器13沿Y方向的傳送距離。
如上所述，如果由第一位置探測部分100通過計算第一感應(yīng)器13的傳送距離而控制X，Y臺10的傳送位置，以使毛細(xì)管24精確地位于接線框架的接線口之上，第一傳送部分30的第二感應(yīng)器32上升使毛細(xì)管24下降，從而使毛細(xì)管24的高度變成如圖6和12所示的Z3。如果毛細(xì)管24的位置為Z3，則停止第二感應(yīng)器32的上升并且第二傳送部分40供給音圈電機(jī)41電流以減小毛細(xì)管24的下降速度。然后，第二感應(yīng)器32以高速上升，從而擋塊36與變換器23的一端分離，而毛細(xì)管24只在音圈電機(jī)41的作用下下降而如圖13所示與接線口接觸以接合金屬線。在這種狀態(tài)下，以預(yù)定的時間供給音圈電機(jī)電流以給變換器施加接合力。
當(dāng)完成接合時，停止向音圈電機(jī)41供給電流，金屬線500由線夾26抓取，第二感應(yīng)器32如圖14所示下降而使擋塊36與輥25接觸。然后，擋塊36連續(xù)下降使毛細(xì)管24支承著金屬線500上升而切斷金屬線。當(dāng)毛細(xì)管24的高度達(dá)到如圖6所示的Z4的距離時，停止毛細(xì)管24的上升。X，Y臺操作將毛細(xì)管傳送至其初始位置，這樣就可以上述方法連續(xù)進(jìn)行接合操作。
如上所述，本發(fā)明的金屬線接合裝置由于用于傳送毛細(xì)管的第一傳送部分和X，Y臺的驅(qū)動部分的摩擦量較小而能夠大大地降低由于摩擦產(chǎn)生的能量損失。此外，本發(fā)明的簡單結(jié)構(gòu)也簡化了金屬線接合裝置的維護(hù)。
而且，除了接合裝置，本發(fā)明還能廣泛地用于高速精度控制設(shè)備以及各種半導(dǎo)體制造裝置。
權(quán)利要求
1.一種金屬線接合裝置，包括一框架；一安裝在所述框架上的X，Y臺，所述的臺具有一設(shè)有可沿X和Y方向相互相對移動的定子和感應(yīng)器的線性步進(jìn)電機(jī)；一可繞樞軸轉(zhuǎn)動地安裝在所述X，Y臺上的變換器，所述變換器包括靠近其一端安裝用于支承接合金屬線的毛細(xì)管；第一傳送裝置，靠近變換器的與所述一端相對的另一端安裝在所述框架上，用于傳送所述毛細(xì)管；第二傳送裝置，朝向變換器的所述一端與第一傳送裝置相隔一定距離安裝在所述X，Y臺上，以使所述變換器的所述一端在接合的時候傳送所述毛細(xì)管；以及一安裝到所述框架和所述X，Y臺上的第一位置探測部分，用以探測X，Y臺沿X和Y方向的移動量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的金屬線接合裝置，其特征在于，所述第一傳送裝置包括一第二線性步進(jìn)電機(jī)，它具有垂直于第一定子安裝在所述框架上的第二定子和沿所述第二定子在垂直方向可滑動地安裝以沿所述第二定子在垂直方向移動的第二感應(yīng)器，一用于連接安裝到所述第二感應(yīng)器的一端的支承件和變換器的另一端的彈簧，以及一安裝到所述第二定子上用于與所述變換器的另一端接觸以限制變換器的繞樞軸轉(zhuǎn)動的擋塊。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的金屬線接合裝置，其特征在于，所述第二傳送裝置為一安裝在所述X，Y臺的所述感應(yīng)器與所述變換器的另一端之間的音圈電機(jī)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2的金屬線接合裝置，其特征在于，變換器的另一端包括一輥，其外圓周表面與所述擋塊接合。
5.根據(jù)權(quán)利要求1的金屬線接合裝置，其特征在于，所述用于探測位置的裝置包括一用于探測所述感應(yīng)器沿X方向的傳送距離的X方向探測部分；和一用于探測所述感應(yīng)器沿Y方向的傳送距離的Y方向探測部分。
6.根據(jù)權(quán)利要求5的金屬線接合裝置，其特征在于，X方向探測部分包括一安裝到所述X，Y臺的感應(yīng)器上的編碼鏡，具有一用于反射光線的預(yù)定的第一反射層圖形；一安裝到所述框架上的殼體，其中設(shè)有用于向所述編碼鏡輻射光線的光源和用于接受從所述光源輻射出并由所述第一反射層圖形反射的光線接受部分；以及一安裝到其中設(shè)有所述光源和所述光接受部分的所述殼體上的光鏡，它具有第二反射層圖形，用于通過由所述編碼鏡朝向所述光接受部分反射的光線或?qū)⒐饩€反射到編碼鏡。
7.根據(jù)權(quán)利要求6的金屬線接合裝置，其特征在于，所述形成在所述編碼鏡上的第一反射層圖形由在編碼鏡上沿Y方向以預(yù)定的間距設(shè)置成條帶形的第一反射層構(gòu)成。
8.根據(jù)權(quán)利要求6的金屬線接合裝置，其特征在于，所述形成在所述光鏡上的第二反射層圖形是這樣形成的，以將所述光鏡的上表面分成第一，第二，第三和第四象限，分別沿Y軸線方向設(shè)置在第一，第二，第三和第四象限上的條狀第二反射層以預(yù)定的間距間距形成；并且分別形成在第一，第二，第三和第四象限上的所述第二反射層在所述光鏡上相對于Y軸線方向以預(yù)定的間距交錯。
9.根據(jù)權(quán)利要求5的金屬線接合裝置，其特征在于，所述Y方向探測部分包括一安裝到所述X，Y臺的感應(yīng)器上的編碼鏡，具有一用于反射光線的預(yù)定的第三反射層圖形；一安裝到所述框架上的殼體，其中設(shè)有用于向所述編碼鏡輻射光線的光源和用于接受從所述光源輻射出并由所述第三反射層圖形反射的光線接受部分；以及一安裝到其中設(shè)有所述光源和所述光接受部分的所述殼體上的光鏡，它具有第四反射層圖形，用于通過由所述編碼鏡朝向所述光接受部分反射的光線或?qū)⒐饩€反射到編碼鏡。
10.根據(jù)權(quán)利要求9的金屬線接合裝置，其特征在于，所述形成在所述編碼鏡上的第三反射層圖形由在編碼鏡上沿X方向以預(yù)定的間距設(shè)置成條帶形的第三反射層構(gòu)成。
11.根據(jù)權(quán)利要求9的金屬線接合裝置，其特征在于，所述形成在所述光鏡上的第四反射層圖形是這樣形成的，以將所述光鏡的上表面分成第一，第二，第三和第四象限，分別沿X軸線方向設(shè)置在第一，第二，第三和第四象限上的條狀第四反射層以預(yù)定的間距間距形成；并且分別形成在第一，第二，第三和第四象限上的所述第四反射層在所述光鏡上相對于X軸線方向以預(yù)定的間距交錯。
12.根據(jù)權(quán)利要求1的金屬線接合裝置，其特征在于，所述第一傳送裝置還包括一用于探測所述第二感應(yīng)器的傳送位置的第二位置探測裝置。
13.一種金屬線接合裝置，包括一框架；一位于所述框架上可沿X，Y方向移動的X，Y臺；一變換器，其一端具有用于支承接合金屬線的毛細(xì)管；第一傳送裝置，靠近變換器的與所述一端相對的另一端位于所述框架上，用于傳送所述毛細(xì)管；第二傳送裝置，與所述第一傳送裝置相隔一定距離位于所述X，Y臺上，以使變換器的所述一端在接合的時候傳送所述毛細(xì)管；以及一鄰近所述框架和所述X，Y臺的第一位置探測部分，用以探測X，Y臺沿X和Y方向的移動量。
全文摘要
金屬線接合裝置包括框架；安裝在框架上的X，Y臺；安裝在X，Y臺上的變換器，其一端支承接合金屬線的毛細(xì)管；安裝到框架上的第一傳送裝置，使變換器的另一端上升，從而使用于金屬線接合的毛細(xì)管上升；在第一傳送裝置之前安裝到X，Y臺上的第二傳送裝置，以在接合過程中使變換器的另一端上升；以及安裝到框架和X，Y臺上的第一位置探測部分，用以探測X，Y臺沿X和Y方向的移動量，因而可減小根據(jù)頭部分的驅(qū)動的能量損失。
文檔編號H01L21/60GK1129619SQ9511853
公開日1996年8月28日 申請日期1995年10月30日 優(yōu)先權(quán)日1994年10月29日
發(fā)明者南秀根 申請人:三星航空產(chǎn)業(yè)株式會社