專利名稱：一種高穩(wěn)定稀土-鐵-永磁碳化物及其制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用快淬冷凝方法制備高穩(wěn)定高碳含量的稀土-鐵基化合物，尤其是用快淬或快淬后晶化形成具有2∶17型或1∶12型結(jié)構(gòu)的具有高矯頑力的稀土鐵基永磁碳化物及其制備方法。
用鐵替代高價(jià)的鈷制備稀土永磁材料一直是人們追求的目標(biāo)，第三代稀土永磁材料釹-鐵-硼的發(fā)現(xiàn)是成功的一例，它已被廣泛應(yīng)用于電子、電工、冶金、航空航天及民用等領(lǐng)域。然而，釹-鐵-硼永磁材料的穩(wěn)定性較差影響了這一材料的更廣泛的應(yīng)用。因此，研究和尋找新一代永磁材料已是人們共同的奮斗目標(biāo)。到目前為止，已發(fā)現(xiàn)了一些有希望成為永磁材料的化合物，例如釹鐵鈦氮(1∶12型)和釤鐵氮(2∶17型)等，但至今尚未成為實(shí)用性磁體。
1990年，愛爾蘭教授發(fā)現(xiàn)稀土鐵(2∶17型)化合物通過低溫滲氮不改變其結(jié)構(gòu)，并具有良好的內(nèi)稟磁性，尤其是釤鐵氮(Sm2Fe17N8)化物具有單軸各向異性、高飽和磁化強(qiáng)度和高居里溫度，完全具備了制成稀土永磁材料的基礎(chǔ)。這一發(fā)現(xiàn)引起了世界科技界和工業(yè)界的重視。隨后中國(guó)教授又發(fā)現(xiàn)釹鐵鈦氮化物(NdFe11TiN9)也具備制成稀土永磁體的條件，而且使用低成本的釹而不用釤，因此更引起人們的注意。近幾年來，已有許多科技人員投入了2∶17和1∶12型稀土-鐵基永磁體的研究。繼稀土鐵氮化物(2∶17型)發(fā)現(xiàn)之后，人們也研究了氣固相反應(yīng)獲得的稀土鐵碳化物(2∶17型)。通過低溫滲碳制備的稀土鐵碳化物(2∶17型)具有稀土鐵氮化物(2∶17型)類似的特征。
通過低溫氣固相反應(yīng)得到稀土鐵R2Fe17和R(FeM)12氮化物和碳化物，是將熔煉后形成的2∶17和1∶12型結(jié)構(gòu)的稀土鐵基合金，研磨成很細(xì)的粉末，一般小于40μm，然后在低于600℃的溫度下將氮或碳擴(kuò)散進(jìn)入合金的晶格中。由于這類氮化物或碳化物只能在低溫下滲氮或碳才能獲得，因此，它們是亞穩(wěn)態(tài)的，在700℃時(shí)便完全分解成α-鐵及稀土氮化物或碳化物，而不能再恢復(fù)到原有化合物的結(jié)構(gòu)。目前使用的稀土鐵基永磁體一般都是通過粉末冶金的方法把粉末壓制成型后在大于1000℃的高溫下燒結(jié)而成的。顯然，粉末冶金工藝不能用于這類氮化物或碳化物的制備，這就給2∶17或1∶12型高永磁性能的氮化物或碳化物的制備帶來了嚴(yán)重的困難。
為了獲得高的內(nèi)稟矯頑力，R2Fe17或R(FeM)12的粉末氮化后還必須進(jìn)一步研磨到1-5μm。這一過程將使其飽和磁化強(qiáng)度4πMs嚴(yán)重下降，退磁特性變差，因此不能獲得應(yīng)具有的高磁能積。
為了克服稀土鐵R2Fe17、NdFe10M2氮化物或碳化物不能進(jìn)行燒結(jié)的缺點(diǎn)，人們通過加入低熔點(diǎn)金屬(如鋅Zn，Sn等)在低于其分解溫度下燒結(jié)，用熔化的低熔點(diǎn)金屬把氮化或碳化的粉末粘結(jié)起來。另一方面，也可在氮化或碳化粉末中加入環(huán)氧樹脂等一類的粘合劑來制成粘結(jié)磁體。但這些方法得到的磁體的磁性主要靠粉末本身的磁性，而不是象高溫?zé)Y(jié)材料那樣通過磁體內(nèi)部的組織調(diào)整來提高磁體性能，并且加入了這些非磁性的組分后，大大降低了磁體的有效填充率，使磁體的剩磁顯著降低，因此不可能獲得高性能磁體。
稀土鐵R2Fe17碳化物，當(dāng)碳含量不高時(shí)，可通過冶煉的方法獲得。對(duì)輕稀土的R2Fe17Cx，x一般小于1.0，對(duì)重稀土，x一般小于1.5。這樣制備的Sm2Fe17Cx化合物雖然具有制備永磁體的基礎(chǔ)，但于碳含量較低，使磁體的各向異性場(chǎng)不高，因而不能制成理想的實(shí)用磁體。
本發(fā)明的目的在于克服上述已有缺點(diǎn)和不足，從而提供一種完全不同于氣固相反應(yīng)的快淬冷凝方法制備高穩(wěn)定高碳含量的稀土鐵基化合物，經(jīng)粉末冶金的燒結(jié)工藝，使磁體內(nèi)部形成磁性顆粒間的磁相互作用，再經(jīng)磁場(chǎng)取向改善退磁曲線的方形度，得到具有高居里溫度，高飽和磁化強(qiáng)度和高磁能積的材料。
本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的其一通過調(diào)整組份，形成一種高穩(wěn)定高碳含量的稀土鐵基永磁材料，其組成為(R1-xR′x)α(Fe1-yMy)βCγ其中R為單一的Sm或Nd或Pr;R′為單一的或一個(gè)以上的下述元素;
Y，Ce，Pr，Nd，Pm，Sm，Eu，Gd，Tb，Dy，Ho，Er，Tm，Yb，Lu;
M為單一的或一個(gè)以上的下述元素Ti，V，Cr，Mn，Co，Ni，Cu，Zr，Nb，Mo，Hf，Ta，W，B，Al，Si，P，Zn，N，S;
α＝0.7-2.5;
β＝10-19;
γ＝0-6;
X＝0-1.0;
Y的范圍如下Co，Ni，Mn分別為0-1.0;Cr，Cu分別為0-0.5;其余分別為0-0.3。
其二提供一種快淬冷凝制備稀土-鐵基-永磁碳化物的方法。主要的制備工藝步驟如下1、熔煉熔煉的目的在于獲得成分均勻的母合金。先將鐵Fe和碳C按上述比例稱料，混合熔煉成Fe-C合金，再用Fe，F(xiàn)e-C熔煉的合金和稀土原料按上述配比成分稱料，放入真空電弧爐內(nèi)先抽真空至2×10-3Pa，然后充入0.5-1.5個(gè)大氣壓的惰性氣體(氬Ar/He等)，在溫度為1400-2500℃，時(shí)間1-30分鐘下進(jìn)行熔煉，也可將配好的原料放入抽真空密封(或抽真空后充入惰性氣體)的石英管中進(jìn)行感應(yīng)熔煉，真空度、氣壓、熔煉溫度和時(shí)間與電弧熔煉相同。熔煉過程中稀土比其他元素容易揮發(fā)，因此，配比時(shí)稀土原料多加稀土應(yīng)有重量的2%，其中Sm多加5-20%。
2、快淬冷凝工藝是本發(fā)明不同于氣固相反應(yīng)的特征措施，其步驟如下取熔煉好的母合金放在石英管或氮化硼坩堝中，坩堝的底部開有小孔(孔徑0.1-1.0毫米，也可是0.1-0.5毫米寬0.5-10毫米長(zhǎng)的扁嘴)，坩堝放入感應(yīng)線圈中間，在坩堝小孔和線圈下面，按放一個(gè)金屬輥，輥?zhàn)又睆?0-50厘米，輥?zhàn)涌梢允怯肅u，F(xiàn)e，Cγ或它們的合金做成;原料、坩堝、線圈和輥?zhàn)佑置芊庠谡婵諣t中，在真空度為2×10-3Pa以上，然后充入惰性氣體保護(hù);將原料進(jìn)行感應(yīng)加熱，加熱溫度為1100-1700℃，時(shí)間為0.1-3分鐘;待原料基本熔化后，開動(dòng)電機(jī)，使輥?zhàn)愚D(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)速為2-60米/秒，可根據(jù)成分配比和材料性能選定;當(dāng)輥?zhàn)愚D(zhuǎn)速達(dá)到所需要求時(shí)，將熔化成液態(tài)的原料用氬氣從坩堝底部的小孔吹出，吹氣壓為0.01-2kg/cm2，吹出的液體直接噴到轉(zhuǎn)動(dòng)的輥?zhàn)颖砻?，使其很快凝固冷卻，并形成1-20毫米寬，10-50微米厚的帶子。輥?zhàn)愚D(zhuǎn)速直接控制快淬材料的冷卻速率，并與材料性能有較大關(guān)系。高碳含量的稀土鐵基合金經(jīng)電弧熔煉后，顯示出的主相為α-鐵以及某些雜質(zhì)相(如稀土碳化物)，通過快淬，控制輥?zhàn)愚D(zhuǎn)速在10-20米/秒時(shí)，直接得到2∶17，1∶12或其它型結(jié)構(gòu)的高碳稀土鐵基單相材料，其中的碳原子的淬火過程中直接進(jìn)入晶胞的間隙位置，形成間隙碳的稀土-鐵-碳化物，這是本發(fā)明的關(guān)鍵步驟之一，在含釹Nd，鐠Pr，釤Sm，鏑Dy，鋱Tb元素的材料中直接獲得高矯頑力的永磁材料。
3、晶化利用快淬冷凝設(shè)備及工藝，增加快淬的速率，使輥?zhàn)愚D(zhuǎn)速到40-60米/秒，直接獲得含碳的稀土鐵基非晶態(tài)合金，在非晶合金中具有2∶17，1∶12等結(jié)構(gòu)的短程有序，將它們?cè)诜蔷B(tài)合金的晶化溫度(依配比成分不同，一般為300-600℃)以上退火時(shí)，便可形成上述類型的單相材料。這也是本發(fā)明的關(guān)鍵步驟之一。從非晶態(tài)合金晶化的材料，通過控制退火溫度，可使非晶帶中形成微晶結(jié)構(gòu)，晶粒尺寸在幾百-幾千埃，基本為單疇顆粒尺寸，在含Nd，Pr，Sm，Dy，Tb等的高碳鐵基稀土材料中，顯示出高矯頑力和高飽和磁化強(qiáng)度。稀土鐵基非晶材料的最佳退火溫度為600-1000℃，低于600℃，或高于1000℃退火，材料的永磁性將隨之下降。
4、退火經(jīng)過步驟1和2，制備出主相為2∶17或1∶12型結(jié)構(gòu)的稀土-鐵-碳化物，然后在真空中或惰性氣體(如氬Ar)保護(hù)下進(jìn)行高溫退火，退火溫度為800-1050℃，退火時(shí)間為0-30小時(shí)，退火后快速降至室溫。退火后的材料不改變?cè)械南嘟Y(jié)構(gòu)，在高溫是穩(wěn)定的，退火后的材料晶粒長(zhǎng)大，易于取向，這又是本發(fā)明的關(guān)鍵步驟之一。
5、破碎經(jīng)過步驟1和2或1和3或4，已獲得10-50微米厚，1-20毫米寬的2∶17或1∶12高碳鐵基單相材料薄帶，為了便于材料磁場(chǎng)成型，首先必須將薄帶破碎到0.5-50微米的粉末，破碎可采用球磨、氣流、振動(dòng)等手段。由于破碎的粉末易于氧化，因此，破碎是在真空或氮、氬等氣體保護(hù)下進(jìn)行，或在汽油、丙酮、石油醚等有機(jī)溶劑保護(hù)下進(jìn)行球磨。
6、磁場(chǎng)成型經(jīng)過破碎，獲得的粉末可直接在磁場(chǎng)中成型，成型壓力為0.5-5噸/平方厘米，成型過程中所加磁場(chǎng)強(qiáng)度為10-20KOe。
7、燒結(jié)經(jīng)過步驟6，獲得的材料密度低，內(nèi)部空隙大，強(qiáng)度低，通過900-1100℃高溫?zé)Y(jié)0.1-10小時(shí)，使磁體密度增至7.5g/cm3以上，剩磁、矯頑力和磁能積都明顯提高。
8、粘結(jié)經(jīng)步驟1和2或1和3或4已經(jīng)得到具有高永磁性能的薄帶，并經(jīng)步驟5破碎的粉末，加粘合劑(環(huán)氧樹脂等)制備成粘結(jié)磁體。
9、快淬材料的氣固相反應(yīng)用與1、2相同的工藝，制備出不含碳的稀土-鐵基化合物，再經(jīng)破碎到平均粒度為0.5-200微米的粉末，然后滲入N、C或H，使之成為間隙原子，再將粉末進(jìn)行磁場(chǎng)成型，較低溫度(小于600℃下)退火得到高性能永磁材料。
本發(fā)明的制備方法工藝流程可有以下四種方式(1)配料-熔煉-快淬-破碎-粘結(jié)-成型(2)配料-熔煉-快淬-晶化-破碎-粘結(jié)-成型(3)配料-熔煉-快淬-破碎-滲N.C或H-粘結(jié)-成型(4)配料-熔煉-快淬-退火-破碎-成型-燒結(jié)發(fā)明的效果本發(fā)明通過熔煉加快淬的方法，克服了通過熔煉無法提高鐵基稀土化合物中碳含量的缺點(diǎn)，制備出具有高碳含量的鐵基稀土化合物(如2∶17、1∶12等型結(jié)構(gòu)的稀土-鐵化合物)本發(fā)明制備的鐵基稀土化合物在高溫是穩(wěn)定的，克服了通過氣固相反應(yīng)制備的鐵基稀土化合物在高溫不穩(wěn)定的缺點(diǎn)，因此，能將快淬后形成的材料進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，從而控制磁體內(nèi)部的組織結(jié)構(gòu)，制備高磁能積和高居里溫度的永磁材料。
本發(fā)明采用快淬方法或非晶晶化方法，使鐵基稀土化合物中的晶粒細(xì)化，直接形成高矯頑力和高飽和磁化強(qiáng)度的永磁材料，使工藝簡(jiǎn)單化，降低成本。
本發(fā)明的快淬為關(guān)鍵手段，因此，制備的材料具有高抗腐蝕特性，快淬永磁材料抗腐蝕性明顯優(yōu)于Nd-Fe-B磁體。
本發(fā)明使用鐵為主體材料，因此，制備的磁體成本大大低于傳統(tǒng)的Sm-Co磁體。
本發(fā)明制備的鐵基稀土化合物，其居里溫度和各向異性場(chǎng)均高于Nd-Fe-B磁體，具有比Nd-Fe-B磁體更高的熱穩(wěn)定性，表1-3列出了本發(fā)明實(shí)施例稀土鐵基永磁碳化物材料的性能。
實(shí)施例1按(Sm1-xRx)α(Fe1-yMy)βCγ組成配料，取9.6at% at%Sm、81.7at%Fe和8.7at%C(也就是按Sm2Fe17C1.8配比稱料)，原料使用化學(xué)純的，F(xiàn)e-C合金使用98.85%的，那么按重量比為23.6wt%Sm、74.7wt%Fe、和17.wt%的C，其中Sm多加15%，共稱35g。
配好的料放入電弧爐內(nèi)，抽真空至3×10-3Pa，然后充一個(gè)大氣壓的氬氣，在1500-1800℃(電弧電流300-350A)下熔煉1.5分鐘，共熔煉4次，冷卻后為一鈕扣狀合金，熔后的重量損失為5%。
將熔煉好的合金敲碎，取其中5克，裝入直徑10毫米的石英管容器中，石英管底部開小孔直徑為0.5毫米，石英管放置在感應(yīng)線圈中心，管小孔與輥面距離為1毫米，然后抽真空至8×10-3Pa后，充一個(gè)大氣壓的氬氣保護(hù)，合金經(jīng)感應(yīng)加熱至1600℃成液態(tài)，通過石英管的另一端快速充0.7kg/cm2壓強(qiáng)的氬氣，使熔化的合金通過小孔噴射到高速旋轉(zhuǎn)的輥?zhàn)颖砻妫c垂直方向成45°角甩出，形成1毫米寬、20-30微米厚、長(zhǎng)不等的金屬帶。輥?zhàn)又睆綖?0厘米，轉(zhuǎn)速1430轉(zhuǎn)/分鐘，相當(dāng)于淬火速度為15米/秒，這樣制備的帶子近似為Th2Zn17型結(jié)構(gòu)的單相。
快淬后的帶子通過球磨成粉末，為防止氧化，球磨在石油醚中進(jìn)行，球料比25∶1，球磨時(shí)間為1.5小時(shí)，球磨后粉末的平均顆粒度約為20微米，然后在磁場(chǎng)中壓型，加壓強(qiáng)度為2噸/平方厘米，壓型過程中加磁場(chǎng)15KOe，壓好的材料在1000℃燒結(jié)2小時(shí)，獲得致密的高性能永磁體。


圖1a和b分別為熔煉后的母合金和快淬后1∶17型化合物的X射線衍射譜;
圖2為磁體的退磁曲線，相應(yīng)密度和永磁體性能見表1。
實(shí)施例2按實(shí)施例1的成分配比稱料，熔煉、快淬、球磨條件均同實(shí)施例1，然后將破碎好的粉末加1%環(huán)氧樹脂混合均勻，在2噸/平方厘米的壓力下壓制成型，所得永磁體的性能和密度見表1。
實(shí)施例3按實(shí)施例1成分配方，熔煉，按實(shí)施例1快淬工藝淬火速度為47米/秒，所得為Sm2Fe17C1.8非晶態(tài)合金，然后在750℃退火20分鐘，獲得Th2Zn17型結(jié)構(gòu)的近似單相化合物。所得永磁性能和密度見表1，圖3a、b分別為Sm2Fe17C1.8非晶態(tài)合金和退火樣品的X射線衍射譜;
實(shí)施例4制備(Sm1-xRx)2(Fe1-yMy)17Cγ組成的稀土-鐵-永磁碳化物材料，按成分配比為7.4at%Sm，1.9at%Er，79.1at%Fe、11.6at%C稱料。制備工藝完全同實(shí)施例1，所制備永磁體的性能和密度見表1。
實(shí)施例5按成分配比為9.6at%Sm、65.4at%Fe、16.3at%Co、8.7at%C稱料，制備工藝完全同實(shí)施例1，所制備永磁材料的性能和密度見表1。
實(shí)施例6按實(shí)施例4成分配料，合金熔煉同實(shí)施例1，快淬工藝如實(shí)施例1，但淬火速度為12米/秒，相應(yīng)永磁性能見表1。
表1
實(shí)施例7-13按表2成分配料，制備工藝按實(shí)施例1，磁體的性能和密度見表2。
表2
實(shí)施例14-20按表3成分配料，工藝如實(shí)施例1，相應(yīng)永磁性能見表3。
表權(quán)利要求
1.一種高穩(wěn)定稀土-鐵-永磁碳化物，其特征在于組成為(R1-xR′x)α(Fe1-yMy)βCγ其中R為單一的Sm或Nd或Pr；R′為單一的或一個(gè)以上的下述元素；Y，Ce，Pr，Nd，Pm，Sm，Eu，Gd，Tb，Dy，Ho，Er，Tm，Yb，Lu；M為單一的或一個(gè)以上的下述元素Ti，V，Cr，Mn，Co，Ni，Cu，Zr，Nb，Mo，Hf，Ta，W，B，Al，Si，P，Zn，N，S；α=0.7-2.5；β=10-19；γ=0-6；X=0-1.0；Y的范圍如下Co，Ni，Mn分別為0-1.0；Cr，Cu分別為0-0.5；其余分別為0-0.3。
2.一種專用于制備權(quán)利要求1所述的稀土-鐵基-永磁碳化物的方法，經(jīng)配料、熔煉、破碎成型，其特征在于還包括在熔煉成母合金后采用快淬工藝;然后再破碎與在磁場(chǎng)成型;所說的快淬工藝是，先通過電弧熔煉方法把Fe和C混合熔煉后再與稀土混合熔煉成母合金，把母合金放在底部開有一小孔的石英管內(nèi)，石英管放在感應(yīng)線圈中間，石英管小孔與感應(yīng)線圈下面安放一個(gè)與電機(jī)聯(lián)接的金屬輥?zhàn)樱呙芊庠谡婵諣t內(nèi)，當(dāng)真空度達(dá)2×10-3Pa時(shí)，充入一個(gè)大氣壓惰性氣體，并進(jìn)行加溫至1100-1700℃，時(shí)間0.1-3分鐘，母合金熔化后使輥?zhàn)愚D(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)速為2-60米/秒，用氬氣將熔化的合金液體從石英管底部小孔吹出噴到轉(zhuǎn)動(dòng)輥?zhàn)颖砻妫焖倮淠?-20mm，寬，10-50μm厚帶子;所說的破碎是采用防氧化手段進(jìn)行破碎為0.5-50μm的粉末;在10-20KOe磁場(chǎng)下，用0.5-500噸/cm2壓力成型。
3.一種按權(quán)利要求2所述的制備稀土-鐵-永磁碳化物的方法，其特征在于還包括經(jīng)粉碎的粉末加入粘合劑攪拌均勻，在磁場(chǎng)中成型。
4.一種按權(quán)利要求2所述的制備稀土-鐵-永磁碳化物的方法，其特征在于還包括經(jīng)快淬后得到的非晶態(tài)稀土-鐵-碳化物再進(jìn)行晶化，快淬是將金屬輥?zhàn)愚D(zhuǎn)速達(dá)40-60米/秒，將液體合金從石英管小孔中用氬氣吹出噴到金屬輥?zhàn)由?，制成帶子，再?jīng)破碎工藝，粘結(jié)、磁場(chǎng)成型。
5.一種按權(quán)利要求2所述的制備稀土-鐵-永磁碳化物的方法，其特征在于還包括在破碎工藝后采用滲N、C或H工藝，再加入粘合劑攪拌均勻，在磁場(chǎng)下成型。
6.一種按權(quán)利要求2所述的制備稀土-鐵-永磁碳化物的方法，其特征在于還包括在快淬工藝后進(jìn)行退火，退火條件在真空度為3×10-3Pa或惰性氣體保護(hù)下退火，退火溫度800-1050℃時(shí)間0-30小時(shí)，然后快速冷卻到室溫，再破碎，磁場(chǎng)成型后在900-1100℃下燒結(jié)，0.1-10小時(shí)。
7.按權(quán)利要求2、3、4、5、6所述的制備稀土-鐵基-永磁碳化物的方法，其特征在于所述的惰性氣體是為0.5-2個(gè)大氣壓的N2、He、Ar氣體。
8.按權(quán)利要求2所述的制備稀土-鐵-永磁碳化物的方法，其特征在于所述的石英管子底部開小孔大小為φ0.1-1.0mm或?qū)?.1-0.5mm×長(zhǎng)0.5-1.0mm的矩形孔。
9.按權(quán)利要求2所述的制備稀土-鐵-永磁碳化物的方法，其特征在于所述的快淬工藝中的金屬輥?zhàn)邮怯肅u、Fe、Cr或它們的合金做成。
10.按權(quán)利要求2所述的制備稀土-鐵-永磁碳化物的方法，其特征在于快淬工藝中所用Ar氣噴氣壓力為0.01-2kg/cm2。
11.按權(quán)利要求2、3、4、5、6所述的制備稀土-鐵-永磁碳化物的方法，其特征在于所說的防氧化破碎是在有機(jī)溶劑汽油、石油醚、丙酮中球磨或在真空或惰性氣體中進(jìn)行振動(dòng)破碎。
全文摘要
本發(fā)明涉及用快淬冷凝方法制備高穩(wěn)定高碳含量的稀土-鐵基化合物，尤其是用快淬或快淬后晶化形成具有2∶17型或1∶12型結(jié)構(gòu)的具有高矯頑力的稀土鐵基永磁碳化物及其制備方法，本發(fā)明的目的是提供一種完全不同于氣、固相反應(yīng)的快淬冷凝方法，經(jīng)粉末冶金燒結(jié)工藝，使磁體內(nèi)部形成磁性顆粒間的磁相互作用，經(jīng)磁場(chǎng)取向改善退磁曲線方形度，得到高居里溫度，高飽和磁化強(qiáng)度和高磁能積的材料。
文檔編號(hào)H01F1/053GK1089385SQ9211479
公開日1994年7月13日 申請(qǐng)日期1992年12月26日 優(yōu)先權(quán)日1992年12月26日
發(fā)明者沈保根, 孔麟書, 曹蕾, 寧太山, 胡明, 嚴(yán)啟偉, 郭慧群, 詹文山, 王芳衛(wèi) 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院物理研究所