專利名稱：集成塊型濕敏元件基座的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型提供一種濕敏元件基座，屬電子元件目前的薄膜濕敏元件產(chǎn)品均是在薄片型陶瓷或塑料片上印制好電極，然后涂震感濕膜，再引出信號線便形成元件產(chǎn)品。由于一般都是采用交叉梳齒狀電極
該電極構(gòu)成電容，對濕敏元件產(chǎn)品的信號靈敏度和線性度產(chǎn)生一定的影響。同時，這種產(chǎn)品一般只能焊接應(yīng)用。
本實(shí)用新型的目的是提供一種改進(jìn)的集成塊型濕敏元件基座，以克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述不足。
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作詳細(xì)說明。


圖1是本實(shí)用新型一個實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)在同樣條件下測試的阻—濕曲線。
圖中，1-電極，2-基座，3-片狀引腳。
參照圖1，本實(shí)用新型的區(qū)別特征在于采用對稱不交叉梳齒狀電極(1)，它印制在經(jīng)過燒結(jié)的陶瓷體基座(2)的上臺階上，經(jīng)再燒制粘接成形后焊接上片狀引腳(3)，即構(gòu)成集成塊型濕敏元件基座。在布有電極(1)的上臺階上涂覆上濕敏膜，加上保護(hù)罩，便形成完整的濕敏元件產(chǎn)品。本實(shí)用新型將原來的引線改為片狀引腳(3)，使?jié)衩粼粌H可以焊接，也可以插接。
本實(shí)用新型中由于采用對稱不交叉梳齒狀電極，對提高產(chǎn)品的信號靈敏度及線性度確實(shí)起了很好的作用，這一點(diǎn)從實(shí)施例中的測試數(shù)據(jù)及圖2便能清楚地反映出來。同時，本實(shí)用新型提高了產(chǎn)品的應(yīng)用范圍，使之具有焊接與插接兩種功能。此外，本實(shí)用新型對于其它性質(zhì)薄膜敏感元件用于取信號也有積極意義，對于今后擴(kuò)展為溫濕度集成元件也提供了基礎(chǔ)。
實(shí)施例圖1所示基座做成的濕敏元件樣品與現(xiàn)有濕敏元件樣品在同等條件下進(jìn)行測試，測試結(jié)果如下表如示，并根據(jù)此測試結(jié)果繪制成阻(抗)—濕(度)曲線，見圖2。
測試條件激勵電壓3V，頻率f＝1000HZ。
說明9#樣品為本實(shí)用新型，6#為現(xiàn)有技術(shù)，兩樣品除電極形式外其濕敏薄膜材料及制作工藝均相同。
權(quán)利要求1.一種集成塊型濕敏元件基座，包括基座(2)以及印制于基座面上的電極(1)，基座(2)上連有引腳(3)，其特征在于電極(1)為對稱不交叉梳齒狀電極，引腳(3)為片狀引腳。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基座，其特征在于基座(2)采用陶瓷或塑料制作，引腳(3)采用金屬材料制作。
專利摘要一種集成塊型濕敏元件基座，屬電子元件，是在基座面上印制好電極而成，其特點(diǎn)是以對稱不交叉梳齒狀電極取代現(xiàn)有產(chǎn)品中的交叉梳齒狀電極，從而克服了原電極構(gòu)成的電容，提高了濕敏元件產(chǎn)品的信號靈敏度及線性度，并將原來的引線改為片狀引腳，使產(chǎn)品具有焊接與插接兩種功能，擴(kuò)大了產(chǎn)品的應(yīng)用范圍，從而提高了濕敏元件產(chǎn)品的質(zhì)量及競爭能力。
文檔編號H01L23/32GK2067865SQ8921180
公開日1990年12月19日 申請日期1989年11月10日 優(yōu)先權(quán)日1989年11月10日
發(fā)明者趙惕平 申請人:湖南省電子研究所技術(shù)服務(wù)部