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一種存在邊緣繞鍍層的TBC太陽能電池的制備方法與流程

文檔序號(hào):40392775發(fā)布日期:2024-12-20 12:15閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種存在邊緣繞鍍層的tbc太陽能電池的制備方法,其特征在于包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:s2中,每次堆疊的硅片的數(shù)量為100~300片,堆疊后相鄰硅片的正背面相貼,且四個(gè)邊緣側(cè)面齊平。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:s3中,在堆疊后的硅片四個(gè)邊緣側(cè)面依次構(gòu)建絕緣介質(zhì)膜。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:s3中,

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制備方法,其特征在于:s3中,

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法,其特征在于:s3中,

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:s4中,采用鏈?zhǔn)綑C(jī)酸蝕去除硅片背面氧化層,以20~60?wt%的hf水溶液作為酸蝕液,帶速1~10?m/min。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:s5和s9中,

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:s6中,所述兩步通源硼擴(kuò)散的條件為:

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:s10中,所述磷擴(kuò)散的條件為:溫度750~850℃,擴(kuò)散時(shí)間5~30?min,pocl3由氮?dú)鈹y帶其流速在500~1200?sccm,o2流速500~1000sccm,氧化推進(jìn)溫度850~950℃,o2流量1000~10000?sccm,推進(jìn)時(shí)間20~60?min。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及太陽能電池領(lǐng)域,公開了一種存在邊緣繞鍍層的TBC太陽能電池的制備方法。本發(fā)明通過特殊的“直接氧化?間接沉積?高溫退火”+“高溫致密化+硼摻雜”組合工藝在硅片邊緣預(yù)構(gòu)建絕緣介質(zhì)膜使邊緣繞鍍區(qū)域與硅片基底絕緣隔離,因此即使成品TBC太陽能電池的邊緣存在繞鍍層,繞鍍部分也不會(huì)有較大漏電產(chǎn)生;其次,該絕緣介質(zhì)膜還具有優(yōu)異的鈍化效果,可進(jìn)一步鈍化硅片側(cè)面區(qū)域,有利于提升電池的電學(xué)性能。最后,與常規(guī)TBC太陽能電池的邊緣全部為金字塔絨面相比,本發(fā)明硅片邊緣部分為金字塔絨面,部分為拋光面,邊緣絨面狀硅片在外力作用下更容易引起硅片碎片,而拋光面則更加有助于提高電池片良率。

技術(shù)研發(fā)人員:吳成坤,徐君,任勇,陳德爽
受保護(hù)的技術(shù)使用者:橫店集團(tuán)東磁股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2024/12/19
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