1.一種存在邊緣繞鍍層的tbc太陽能電池的制備方法,其特征在于包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:s2中,每次堆疊的硅片的數(shù)量為100~300片,堆疊后相鄰硅片的正背面相貼,且四個(gè)邊緣側(cè)面齊平。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:s3中,在堆疊后的硅片四個(gè)邊緣側(cè)面依次構(gòu)建絕緣介質(zhì)膜。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:s3中,
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制備方法,其特征在于:s3中,
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法,其特征在于:s3中,
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:s4中,采用鏈?zhǔn)綑C(jī)酸蝕去除硅片背面氧化層,以20~60?wt%的hf水溶液作為酸蝕液,帶速1~10?m/min。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:s5和s9中,
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:s6中,所述兩步通源硼擴(kuò)散的條件為:
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:s10中,所述磷擴(kuò)散的條件為:溫度750~850℃,擴(kuò)散時(shí)間5~30?min,pocl3由氮?dú)鈹y帶其流速在500~1200?sccm,o2流速500~1000sccm,氧化推進(jìn)溫度850~950℃,o2流量1000~10000?sccm,推進(jìn)時(shí)間20~60?min。