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新型半導(dǎo)體IC集成電路支架上料結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):40321339發(fā)布日期:2024-12-18 12:58閱讀:18來(lái)源:國(guó)知局
新型半導(dǎo)體IC集成電路支架上料結(jié)構(gòu)的制作方法

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體固晶設(shè)備,具體涉及新型半導(dǎo)體ic集成電路支架上料結(jié)構(gòu)。


背景技術(shù):

1、在半導(dǎo)體器件如集成電路(ic)和發(fā)光二極管(led)等的封裝過(guò)程中,固晶是極其重要的環(huán)節(jié)。固晶的過(guò)程是:首先上料系統(tǒng)把儲(chǔ)料裝置內(nèi)的固晶支架輸送到進(jìn)料通道上,隨后固晶支架順著進(jìn)料通道移動(dòng)并停留在確定位置上,這時(shí)機(jī)架上的點(diǎn)膠模組自動(dòng)點(diǎn)粘合物質(zhì),即在固晶支架的固晶區(qū)點(diǎn)上粘合物質(zhì),然后由自動(dòng)取放裝置從晶圓盤(pán)上取芯片,并將芯片粘接到固晶支架的固晶區(qū)上,即完成固晶。

2、現(xiàn)有的固晶支架上料方式一般分為兩種,一種是將固晶支架放入料盒上料,一種是將固晶支架疊放上料。傳統(tǒng)固晶機(jī)上料機(jī)構(gòu)需要分別配置,無(wú)法在同一機(jī)構(gòu)上兼容使用料盒進(jìn)料和堆疊進(jìn)料,因而只能實(shí)現(xiàn)單一模式上料,靈活性不足,給實(shí)際生產(chǎn)帶來(lái)不便,阻礙生產(chǎn)進(jìn)程,不利于產(chǎn)業(yè)化大生產(chǎn)。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的的固晶機(jī)無(wú)法兼容料盒進(jìn)料方式和堆疊進(jìn)料方式,只能實(shí)現(xiàn)單一模式的上料,靈活性不足,阻礙生產(chǎn)進(jìn)程,不利于產(chǎn)業(yè)化大生產(chǎn)的現(xiàn)象,本發(fā)明提供一種新型半導(dǎo)體ic集成電路支架上料結(jié)構(gòu)。

2、本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:一種新型半導(dǎo)體ic集成電路支架上料結(jié)構(gòu),其具有堆料上料模式和料盒上料模式,所述上料結(jié)構(gòu)包括:

3、基座;

4、堆料架,設(shè)于所述基座的上方,用于承載裝滿待固晶支架的料盒或承載堆疊放置有待固晶支架的料盤(pán);

5、送料托盤(pán),設(shè)于所述堆料架的一側(cè),能夠相對(duì)堆料架沿z軸方向豎直升降,且其頂面可拆卸設(shè)有與固晶機(jī)的進(jìn)料通道連通的送料軌道;

6、吸盤(pán)取料組件,設(shè)于堆料架和送料托盤(pán)的上方,其能夠相對(duì)堆料架沿x軸方向和z軸方向移動(dòng),在所述堆料上料模式下,所述吸盤(pán)取料組件用于將堆疊放置于料盤(pán)上的待固晶支架依次吸取至送料軌道上;

7、推料盒組件,設(shè)于所述堆料架上,在所述料盒上料模式中,所述推料盒組件用于將裝滿待固晶支架的料盒推送至送料托盤(pán)上;以及

8、推料組件,設(shè)于所述送料托盤(pán)背離固晶機(jī)的送料通道的一側(cè),其用于在所述堆料上料模式下,將吸盤(pán)取料組件吸取至送料軌道上的待固晶支架推入固晶機(jī)的送料通道上,或在所述料盒上料模式下,將所述推料盒組件從堆料架推送至送料托盤(pán)上的料盒內(nèi)的待固晶支架依次推入固晶機(jī)的送料通道上;

9、使用所述堆料上料模式上料時(shí),所述吸盤(pán)取料組件將堆疊放置于料盤(pán)上的待固晶支架依次吸取至送料托盤(pán)的送料軌道上,所述推料組件將送料軌道上的待固晶支架推入固晶機(jī)的送料通道上,實(shí)現(xiàn)堆料上料;

10、使用所述料盒上料模式上料時(shí),將所述送料托盤(pán)上的送料軌道拆下,所述吸盤(pán)取料組件移動(dòng)至送料托盤(pán)遠(yuǎn)離堆料架的一側(cè),所述推料盒組件將位于堆料架上的料盒推送至送料托盤(pán)上,所述推料組件將料盒中的待固晶支架依次推入固晶機(jī)的送料通道上,實(shí)現(xiàn)料盒上料。

11、可選的,所述吸盤(pán)取料組件包括設(shè)于基座上的支板、滑移設(shè)于支板上的x軸移動(dòng)座、固定設(shè)于x軸移動(dòng)座上的z軸固定座、滑動(dòng)設(shè)于z軸固定座上的z軸升降架以及設(shè)于z軸升降架上的吸盤(pán)組,所述支板沿x軸方向設(shè)置,且所述支板位于堆料架的上方,所述x軸移動(dòng)座能夠沿支板的長(zhǎng)度方向左右移動(dòng),所述z軸固定座沿z軸方向設(shè)置,所述z軸升降架能夠沿z軸固定座的長(zhǎng)度方向上下移動(dòng),所述吸盤(pán)組用于吸取堆疊放置于料盤(pán)上的待固晶支架。

12、可選的,吸盤(pán)取料組件還包括用于驅(qū)動(dòng)x軸移動(dòng)座沿支板的長(zhǎng)度方向左右移動(dòng)的x軸驅(qū)動(dòng)件以及用于驅(qū)動(dòng)z軸升降架沿z軸固定座的長(zhǎng)度方向上下移動(dòng)的z軸驅(qū)動(dòng)件。

13、可選的,所述x軸驅(qū)動(dòng)件包括轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)于支板上、沿支板的長(zhǎng)度方向設(shè)置的x軸絲桿,螺紋套設(shè)于x軸絲桿上、且與x軸移動(dòng)座固定連接的x軸螺母座,沿支板的長(zhǎng)度方向設(shè)置、且與的x軸移動(dòng)座滑移配合的x軸導(dǎo)軌,以及用于驅(qū)動(dòng)x軸絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)的x軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)。

14、可選的,所述z軸驅(qū)動(dòng)件包括轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)于z軸固定座上、沿z軸固定座的長(zhǎng)度方向設(shè)置的z軸絲桿,螺紋套設(shè)于z軸絲桿上、且與z軸升降座固定連接的z軸螺母座,沿支板的長(zhǎng)度方向設(shè)置、且與z軸升降架滑移配合的z軸導(dǎo)軌,以及用于驅(qū)動(dòng)z軸絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)的z軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)。

15、可選的,所述推料盒組件包括滑動(dòng)設(shè)于堆料架上的推料架、設(shè)于推料架上的推料塊以及用于驅(qū)動(dòng)推料架朝靠近或遠(yuǎn)離送料托盤(pán)方向移動(dòng)的推料盒氣缸,所述推料架能夠沿堆料架的長(zhǎng)度方向朝靠近或遠(yuǎn)離送料托盤(pán)的方向滑動(dòng),所述推料塊凸出所述堆料架并與裝滿待固晶支架的料盒相抵接,所述推料氣缸沿堆料架的長(zhǎng)度方向設(shè)置,且所述推料盒氣缸的活塞桿固定連接于推料架。

16、可選的,所述基座上豎直設(shè)置有用于承載送料托盤(pán)的承載架,所述送料托盤(pán)滑動(dòng)設(shè)于承載架的側(cè)壁,所述承載架上設(shè)有用于驅(qū)動(dòng)所述送料托盤(pán)相對(duì)基座豎直升降的升降組件,以使在所述料盒上料模式下,所述推料組件能夠?qū)⒘虾袃?nèi)的待固晶支架依次推入固晶機(jī)的進(jìn)料通道上;

17、所述升降組件包括豎直開(kāi)設(shè)于承載架上的豎槽、轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)于豎槽內(nèi)的升降絲桿、與升降絲桿螺紋連接的升降座以及用于驅(qū)動(dòng)升降絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)的升降電機(jī),所述豎槽內(nèi)還設(shè)置有與升降座滑移配合的豎向?qū)к?,所述送料托盤(pán)固定連接于升降座,以使所述升降電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述升降絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),所述升降座能夠帶動(dòng)送料托盤(pán)相對(duì)基座豎直升降。

18、可選的,承載架上設(shè)有用于將料盒夾緊,以令所述料盒能夠穩(wěn)定地位于送料托盤(pán)上的夾緊組件;

19、所述夾緊組件包括滑動(dòng)設(shè)于承載架頂面的滑動(dòng)架、設(shè)于滑動(dòng)架靠近送料托盤(pán)一側(cè)的抵接板、分別設(shè)于滑動(dòng)架和抵接板上的第一限位條和第二限位條以及設(shè)于第二限位條上的夾緊氣缸,所述滑動(dòng)架能夠相對(duì)承載架朝靠近或遠(yuǎn)離送料托盤(pán)的方向移動(dòng),所述抵接板用于與料盒相抵接,所述第一限位條和第二限位條配合夾緊料盒,所述夾緊氣缸用于抵緊料盒的一側(cè),以便將料盒的另一側(cè)抵緊于第一限位條。

20、可選的,所述推料組件包括固定設(shè)于承載架上的安裝板、設(shè)于安裝板上的推料氣缸以及設(shè)于推料氣缸上的推桿,所述推料氣缸位于送料推盤(pán)背離固晶機(jī)的送料通道的一側(cè),且所述推桿與料盒內(nèi)的待固晶支架平齊。

21、可選的,所述堆料架與基座之間設(shè)有用于收集空料盒的收料架,所述基座上設(shè)有用于將空料盒從收料架的一端推送至另一端的收料盒組件;

22、所述收料盒組件包括滑動(dòng)設(shè)于基座上的移動(dòng)架以及用于驅(qū)動(dòng)移動(dòng)架朝靠近或遠(yuǎn)離收料架的方向移動(dòng)的收料氣缸,所述移動(dòng)架用于推動(dòng)空料盒沿收料架的長(zhǎng)度方向移動(dòng),以使所述空料盒能夠從收料架的一端被推送至收料架的另一端。

23、采用上述技術(shù)方案后,本發(fā)明有益效果為:

24、本技術(shù)在使用堆料模式上料時(shí),通過(guò)吸盤(pán)取料組件將疊放于料盤(pán)上的待固晶支架依次吸取至送料托盤(pán)的送料軌道上,使推料組件能夠?qū)⑺土宪壍郎系拇叹еЪ芡扑椭凉叹C(jī)的進(jìn)料通道上,從而實(shí)現(xiàn)堆料上料,在需要使用料盒模式上料時(shí),將送托料盤(pán)上的送料軌道拆下,同時(shí)將吸盤(pán)取料組件移動(dòng)至送料托盤(pán)遠(yuǎn)離堆料架的一側(cè),此時(shí)通過(guò)推料盒組件將位于堆料架上的料盒推送至送料托盤(pán)上,使推料組件能夠?qū)⒘虾袃?nèi)的待固晶支架推入固晶機(jī)的送料通道上,從而實(shí)現(xiàn)料盒上料,操作簡(jiǎn)單方便,拆下送料軌道以及調(diào)整吸盤(pán)取料組件的位置即可從堆料上料模式切換成料盒上料模式,從而滿足多種支架的進(jìn)料,適用場(chǎng)景多樣,有助于提高生產(chǎn)效率,且具有較佳的市場(chǎng)推廣價(jià)值。

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