1.一種具有高反壓終端保護(hù)膜的平面整流二極管芯片,其特征在于:它包括N型單晶硅(2),在所述N型單晶硅(2)的背面通過高濃度磷摻雜擴(kuò)散的方式形成N+重?fù)诫s襯底陰極區(qū)(1),在所述N型單晶硅(2)的正面一側(cè)通過高濃度硼摻雜擴(kuò)散的方式形成P+陽極區(qū)(3),另一側(cè)通過高濃度磷摻雜擴(kuò)散的方式形成N+截止環(huán)區(qū)(4),在所述N型單晶硅(2)的正面淀積一層SIPOS鈍化層(5),所述SIPOS鈍化層(5)的底部兩側(cè)搭接于P+陽極區(qū)(3)和N+截止環(huán)區(qū)(4)上,在所述SIPOS鈍化層(5)的正面依次向上淀積相同面積的第一二氧化硅介質(zhì)層(6)、磷硅玻璃介質(zhì)層(7)和第二二氧化硅介質(zhì)層(8),所述SIPOS鈍化層(5)、第一二氧化硅介質(zhì)層(6)、磷硅玻璃介質(zhì)層(7)和第二二氧化硅介質(zhì)層(8)構(gòu)成高反壓終端保護(hù)膜,在所述P+陽極區(qū)(3)和N+截止環(huán)區(qū)(4)的正面露出部分、高反壓終端保護(hù)膜的兩側(cè)及正面兩側(cè)區(qū)域包覆有金屬電極層(9),在所述高反壓終端保護(hù)膜和金屬電極層(9)的正面涂覆有聚酰亞胺鈍化層(10)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有高反壓終端保護(hù)膜的平面整流二極管芯片,其特征在于:所述SIPOS鈍化層(5)的厚度范圍為0.2μm~0.6μm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有高反壓終端保護(hù)膜的平面整流二極管芯片,其特征在于:所述第一二氧化硅介質(zhì)層(6)、磷硅玻璃介質(zhì)層(7)和第二二氧化硅介質(zhì)層(8)三層介質(zhì)層的厚度范圍均為0.1μm~0.5μm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有高反壓終端保護(hù)膜的平面整流二極管芯片,其特征在于:所述聚酰亞胺鈍化層(10)的厚度范圍為1μm~5μm。