技術總結(jié)
本實用新型公開了一種硅片花籃，包括前端板、后端板和花籃側(cè)板，所述花籃側(cè)板上等距離分布有若干隔片，相鄰兩隔片之間形成用于卡放硅片的卡槽，還包括定位桿和加強桿，所述定位桿穿過所述花籃側(cè)板上的耳孔與所述前端板、后端板連接，所述加強桿設于所述花籃側(cè)板底部，所述加強桿與所述前端板、后端板固定連接。本實用新型花籃通過定位桿定位，底部通過加強桿加強，花籃側(cè)板用定位環(huán)定位后，保證了基準高度，解決了長時間使用花籃變形問題，并有效控制基準面誤差＜30um；節(jié)約頻繁更換花籃的時間，提高硅片的生產(chǎn)效率；提高了產(chǎn)能，從而降低了單片的生產(chǎn)成本。

技術研發(fā)人員：李述周
受保護的技術使用者：常州市科沛達超聲工程設備有限公司
文檔號碼：201720138695
技術研發(fā)日：2017.02.16
技術公布日：2017.09.08