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一種基于腔外倍頻技術(shù)的527nm綠光脈沖固體激光器的制作方法

文檔序號(hào):11593826閱讀:1322來源:國知局

本實(shí)用新型涉及激光器技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種基于腔外倍頻技術(shù)的527nm綠光脈沖固體激光器。



背景技術(shù):

527nm脈沖激光器由于具有峰值功率高、重復(fù)頻率高、脈沖短等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛用于激光快速成形,激光焊接,激光打孔、切割,激光刻蝕,激光微調(diào),激光劃線,激光清洗,激光熱處理等領(lǐng)域。產(chǎn)生527nm脈沖激光器輸出通常是采用聲光調(diào)制的方式實(shí)現(xiàn)脈沖輸出,但是采用聲光調(diào)Q,使激光器的設(shè)計(jì)復(fù)雜、穩(wěn)定性差且成本高。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型的目的就在于為了解決上述問題而提供一種基于腔外倍頻技術(shù)的527nm綠光脈沖固體激光器。

本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)上述目的:

本實(shí)用新型包括泵浦源、光學(xué)耦合系統(tǒng)、鍵合晶體和KTP倍頻晶體,所述鍵合晶體為Nd:YLF+Cr:YAG晶體,長度為10mm,并且前端面鍍808nmAR/1053HR膜,另一面鍍1053nmPR膜;所述泵浦源發(fā)出的激光通過光學(xué)耦合系統(tǒng)耦合至增益介質(zhì)鍵合晶體上,KTP倍頻晶體放置在鍵合晶體后面,輸出527nm,KTP晶體兩端鍍1053nm/527nm AR膜,實(shí)現(xiàn)1064nm激光向527nm的頻率轉(zhuǎn)換,所述鍵合晶體及KTP倍頻晶體周圍分別設(shè)置紫銅散熱裝置,所述紫銅散熱裝置分別緊貼鍵合晶體及KTP倍頻晶體周圍設(shè)置,最后輸出527nm綠光激光。

本實(shí)用新型優(yōu)選的,所述鍵合晶體采用Nd:YAG+Cr:YAG晶體,通過調(diào)整制冷器溫控電流使所述泵浦源的發(fā)射波長為808.5nm,與Nd:YAG+Cr:YAG晶體的吸收峰相匹配。

本實(shí)用新型優(yōu)選的,所述光學(xué)耦合系統(tǒng)采用非球面透鏡。

本實(shí)用新型優(yōu)選的,所述LBO晶體長度為10mm。

本實(shí)用新型的有益效果在于:

本實(shí)用新型采用被動(dòng)調(diào)Q裝置實(shí)現(xiàn)脈沖激光輸出,被動(dòng)調(diào)Q是被激光輻射自身啟動(dòng)的,因此不需要高壓、快速電光驅(qū)動(dòng)器或射頻調(diào)制器,使得激光器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡單、系統(tǒng)體積小、堅(jiān)固,并且能夠節(jié)約成本,Nd:YAG+Cr:YAG晶體能有效降低激光晶體的溫度,減少端面變形帶來的熱透鏡效應(yīng)的影響,提高了光-光轉(zhuǎn)換效率及抗光傷閾值,改善了激光的輸出光束質(zhì)量,縮小了體積。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型所述一種基于腔外倍頻技術(shù)的527nm綠光脈沖固體激光器的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明:

如圖1所示:本實(shí)用新型包括泵浦源1、光學(xué)耦合系統(tǒng)2、鍵合晶體3、KTP倍頻晶體4,所述鍵合晶體3采用Nd:YAG+Cr:YAG晶體,其前端面鍍808nmAR/1053HR膜,其中AR表示抗反膜,HR表示高反膜,對(duì)808nm激光的剩余反射率R<5%,對(duì)1053nm的激光反射率為99.8%以上,作為諧振腔的一個(gè)鏡面,兩一面鍍1064nmPR膜,其中PR表示部分透射,對(duì)1053nm的激光透過率為80%,其長度為10mm;通過調(diào)整制冷器的制冷電流,使所述泵浦源1發(fā)出波長為808.5nm的激光,與Nd:YAG+Cr:YAG晶體的吸收峰相匹配,并通過光學(xué)耦合系統(tǒng)2耦合至Nd:YAG+Cr:YAG晶體3上;在Nd:YAG+Cr:YAG晶體后面放置KTP倍頻晶體4,KTP倍頻晶體長度為10mm,KTP晶體兩端面鍍1053nm/527nmAR膜,對(duì)1064nm、527nm的激光透過率為98%以上,實(shí)現(xiàn)1064nm倍頻至527nm的激光頻率轉(zhuǎn)換,最終實(shí)現(xiàn)527nm的綠光激光輸出。

所述光學(xué)耦合系統(tǒng)2采用非球面透鏡,曲率半徑為10mm,焦距為10mm,實(shí)現(xiàn)激光器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡單、系統(tǒng)體積?。凰鯪d:YAG+Cr:YAG晶體3及KTP倍頻晶體4的非入光面及出光面的表面包裹銦膜,然后周圍分別設(shè)置紫銅散熱裝置(圖中未示出),所述紫銅散熱裝置分別緊貼Nd:YAG+Cr:YAG晶體3及KTP倍頻晶體4周圍設(shè)置,對(duì)所述Nd:YAG+Cr:YAG晶體3及KTP倍頻晶體4進(jìn)行散熱。

綜上所述,本實(shí)用新型采用被動(dòng)調(diào)Q裝置實(shí)現(xiàn)脈沖激光輸出,被動(dòng)調(diào)Q是被激光輻射自身啟動(dòng)的,因此不需要高壓、快速電光驅(qū)動(dòng)器或射頻調(diào)制器,使得激光器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡單、系統(tǒng)體積小、堅(jiān)固,并且能夠節(jié)約成本,Nd:YAG+Cr:YAG晶體能有效降低激光晶體的溫度,減少端面變形帶來的熱透鏡效應(yīng)的影響,提高了光-光轉(zhuǎn)換效率及抗光傷閾值,改善了激光的輸出光束質(zhì)量,縮小了體積。

本領(lǐng)域技術(shù)人員不脫離本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)和精神,可以有多種變形方案實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型,以上所述僅為本實(shí)用新型較佳可行的實(shí)施例而已,并非因此局限本實(shí)用新型的權(quán)利范圍,凡運(yùn)用本實(shí)用新型說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)變化,均包含于本實(shí)用新型的權(quán)利范圍之內(nèi)。

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