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面向物聯(lián)網(wǎng)的硅基具有熱電轉(zhuǎn)換功能的BJT器件的制作方法

文檔序號(hào):12036471閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種面向物聯(lián)網(wǎng)的硅基具有熱電轉(zhuǎn)換功能的BJT器件,所述三個(gè)BJT電極即基極、發(fā)射極、集電極周圍的二氧化硅層表面均排布有熱電偶;所述熱電偶包括金屬Al型熱電臂、多晶硅N型熱電臂和連接線金屬鋁,所述金屬Al型熱電臂分別繞三個(gè)BJT電極分布,所述多晶硅N型熱電臂分別繞三個(gè)BJT電極分布,同一個(gè)BJT電極周圍的金屬Al型熱電臂和多晶硅N型熱電臂交替設(shè)置,且同一個(gè)BJT電極周圍的金屬Al型熱電臂和多晶硅N型熱電臂通過連接線金屬鋁串聯(lián)起來,同時(shí)同一個(gè)BJT電極留出兩個(gè)熱電偶電極;三個(gè)BJT電極之間留出的熱電偶電極通過連接線金屬鋁串聯(lián)起來,且留下兩個(gè)留出的熱電偶電極作為塞貝克電壓的輸出極。

技術(shù)研發(fā)人員:廖小平;陳友國(guó)
受保護(hù)的技術(shù)使用者:東南大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日:2017.07.10
技術(shù)公布日:2017.10.24
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