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陣列基板、制作方法、觸控顯示面板及觸控顯示裝置與流程

文檔序號:12864996閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種陣列基板、制作方法、觸控顯示面板及觸控顯示裝置,制作方法包括在基板上形成薄膜晶體管的柵極;形成覆蓋柵極的第一絕緣層;形成薄膜晶體管的有源層以及壓力傳感器的感應(yīng)電阻,二者同層制作;形成第一電極層,第一電極層覆蓋感應(yīng)電阻;形成薄膜晶體管的源極和漏極;刻蝕與源極和漏極未交疊部分的第一摻雜層,第一電極層仍覆蓋感應(yīng)電阻;形成覆蓋源極和漏極的第二絕緣層;刻蝕與感應(yīng)電阻交疊部分的第二絕緣層,以露出覆蓋感應(yīng)電阻的第一電極層;形成第二電極層,刻蝕與感應(yīng)電阻交疊部分的第一電極層和第二電極層,露出感應(yīng)電阻。通過本發(fā)明的技術(shù)方案簡化了觸控顯示面板的制作工藝,降低了觸控顯示面板的制作成本。

技術(shù)研發(fā)人員:敦棟梁;夏志強;劉金娥;秦鋒
受保護(hù)的技術(shù)使用者:上海中航光電子有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.06.30
技術(shù)公布日:2017.11.03
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