本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)用具技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種晶圓板體載具。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域，尤其是晶圓制造領(lǐng)域，由于晶圓屬于靜電敏感產(chǎn)品，極易受到靜電的損傷?，F(xiàn)有的晶圓板體載具為簡易的金屬框架載具，其存在以下缺點：第一：因晶圓板體在載具中存放的位置不同，導(dǎo)致不同帶電板體之間會相互影響，增加靜電損傷的風(fēng)險。第二：現(xiàn)有的載具為直插式載具，板體與載具之間的直接摩擦?xí)黾影弩w帶電的風(fēng)險。第三：現(xiàn)有的載具不備靜電屏蔽功能，板體容易受到外界帶電物體的影響。
技術(shù)實現(xiàn)要素：
針對上述問題，本發(fā)明提供了一種晶圓板體載具，其安全可靠，可降低板體電勢，降低晶圓板體面臨靜電損傷的風(fēng)險，可以避免摩擦帶電。
本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的：一種晶圓板體載具，包括載具架，其特征在于：所述載具架包括分別設(shè)置在兩側(cè)的金屬側(cè)板，所述金屬側(cè)板之間自上至下分布有金屬隔層，相鄰的兩個所述金屬隔層之間設(shè)置有載盤，所述載盤通過轉(zhuǎn)軸安裝在一側(cè)的所述金屬側(cè)板上，所述金屬側(cè)板、金屬隔層、載盤、轉(zhuǎn)軸的表面分別涂有防靜電涂層，所述金屬側(cè)板的下部設(shè)有接地插口。
進一步的，所述載盤呈直角扇形。
進一步的，所述載盤的上表面上設(shè)有限位點。
進一步的，所述限位點至少設(shè)有三個。
進一步的，所述載盤的前端設(shè)有金屬拉手，所述金屬拉手上涂有防靜電涂層。
進一步的，兩個所述金屬側(cè)板之間的上端和下端分別設(shè)有連接桿。
本發(fā)明的晶圓板體載具通過接地插口接地，其在金屬側(cè)板、金屬隔層、載盤、轉(zhuǎn)軸的表面分別涂有防靜電涂層，確保晶圓板體載具與參考地gnd之間具有良好的接觸，當(dāng)帶電晶圓板體進入放在載板上后，帶電晶圓板體會與參考地gnd形成一個等效電容，通過設(shè)置金屬隔層可以減小帶電晶圓板體與參考地gnd之間的距離，從而增大等效電容值，當(dāng)帶電晶圓板體所帶電量一定時，增大的電容值會導(dǎo)致晶圓板體上的電勢值下降，從而降低晶圓板體所面臨的靜電損傷風(fēng)險；同時晶圓板體放在載板上后，晶圓板體的上方和下方均設(shè)有金屬隔層，因為金屬隔層的電勢與參考地gnd相同，因此可以起到屏蔽外界靜電干擾的作用，防止外界電場引起板體表面靜電電荷的積累，從而降低晶圓板體所面臨的靜電損傷風(fēng)險；載板通過轉(zhuǎn)軸安裝，沿著轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，從而將晶圓板體送入的晶圓板體載具內(nèi)部，避免晶圓板體直接與晶圓板體載具之間發(fā)生摩擦，從而降低晶圓板體因摩擦而帶電的風(fēng)險，載盤上設(shè)有金屬拉手，方便轉(zhuǎn)動載盤，載盤上設(shè)有限位點，用于限定所承載晶圓板體的位置，避免晶圓板體在載板上發(fā)生移動。
附圖說明
圖1是本發(fā)明晶圓板體載具的其中一種實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
見圖1，本發(fā)明的晶圓板體載具，包括載具架，載具架包括分別設(shè)置在兩側(cè)的金屬側(cè)板1，金屬側(cè)板1之間自上至下分布有金屬隔層2，相鄰的兩個金屬隔層2之間設(shè)置有載盤3，載盤3通過轉(zhuǎn)軸4安裝在一側(cè)的金屬側(cè)板1上，金屬側(cè)板1、金屬隔層2、載盤3、轉(zhuǎn)軸4的表面分別涂有防靜電涂層，金屬側(cè)板1的下部設(shè)有接地插口5，載盤3呈直角扇形，載盤3的上表面上設(shè)有三個限位點6，晶圓板體7置于三個限位點6之間，載盤3的前端設(shè)有金屬拉手8，金屬拉手8上涂有防靜電涂層，兩個金屬側(cè)板1之間的上端和下端分別設(shè)有連接桿9。
本發(fā)明的晶圓板體載具通過接地插口接地，其在金屬側(cè)板、金屬隔層、載盤、轉(zhuǎn)軸的表面分別涂有防靜電涂層，確保晶圓板體載具與參考地gnd之間具有良好的接觸，當(dāng)帶電晶圓板體進入放在載板上后，帶電晶圓板體會與參考地gnd形成一個等效電容，通過設(shè)置金屬隔層可以減小帶電晶圓板體與參考地gnd之間的距離，從而增大等效電容值，當(dāng)帶電晶圓板體所帶電量一定時，增大的電容值會導(dǎo)致晶圓板體上的電勢值下降，從而降低晶圓板體所面臨的靜電損傷風(fēng)險；同時晶圓板體放在載板上后，晶圓板體的上方和下方均設(shè)有金屬隔層，因為金屬隔層的電勢與參考地gnd相同，因此可以起到屏蔽外界靜電干擾的作用，防止外界電場引起板體表面靜電電荷的積累，從而降低晶圓板體所面臨的靜電損傷風(fēng)險；載板通過轉(zhuǎn)軸安裝，沿著轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，從而將晶圓板體送入的晶圓板體載具內(nèi)部，避免晶圓板體直接與晶圓板體載具之間發(fā)生摩擦，從而降低晶圓板體因摩擦而帶電的風(fēng)險，載盤上設(shè)有金屬拉手，方便轉(zhuǎn)動載盤，載盤上設(shè)有三個限位點，用于限定所承載晶圓板體的位置，避免晶圓板體在載板上發(fā)生移動。
以上，僅為本發(fā)明較佳的具體實施方式，但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此，任何熟悉該技術(shù)的人在本發(fā)明所揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護范圍應(yīng)該以權(quán)利要求的保護范圍為準(zhǔn)。