本發(fā)明涉及液晶產(chǎn)品制作技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種離子注入量調(diào)節(jié)裝置及方法、離子注入設(shè)備、判斷方法。

背景技術(shù)：

離子注入是影響oleddevice(有機(jī)發(fā)光二極管器件)性能的重要工藝，摻雜離子注入量的多少，決定了oledtft(有機(jī)發(fā)光二極管顯示器中的薄膜晶體管)閾值電壓、接觸電阻大小，現(xiàn)有的離子注入設(shè)備中，離子出口的調(diào)節(jié)形式單一，只有narrow(窄)、wide(寬)兩種模式，無法進(jìn)行dose(離子注入)量的調(diào)節(jié)。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種離子注入量調(diào)節(jié)裝置及方法、離子注入設(shè)備、判斷方法，可以靈活調(diào)節(jié)離子注入量。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：一種離子注入量調(diào)節(jié)裝置，應(yīng)用于離子注入設(shè)備，包括：

調(diào)節(jié)件，用于開啟和關(guān)閉離子出口；

驅(qū)動結(jié)構(gòu)，用于控制所述調(diào)節(jié)件運(yùn)動以調(diào)節(jié)離子出口的開口度。

進(jìn)一步的，所述調(diào)節(jié)件包括設(shè)置于離子出口處的調(diào)節(jié)板，所述調(diào)節(jié)板為一板狀結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步的，所述驅(qū)動結(jié)構(gòu)包括：

電機(jī)；

傳動桿，所述傳動桿的一端與所述電機(jī)驅(qū)動連接，所述傳動桿的另一端與所述調(diào)節(jié)板傳動連接。

進(jìn)一步的，所述傳動桿的另一端通過旋轉(zhuǎn)軸與所述調(diào)節(jié)板的一端連接，所述調(diào)節(jié)板的另一端為自由端。

進(jìn)一步的，所述調(diào)節(jié)件包括兩個調(diào)節(jié)板，一個所述傳動桿的另一端通過旋轉(zhuǎn)軸與每個所述調(diào)節(jié)板的一端連接以同時控制兩個所述調(diào)節(jié)板的運(yùn)動，每個所述調(diào)節(jié)板的另一端為自由端。

進(jìn)一步的，所述調(diào)節(jié)件包括兩個調(diào)節(jié)板，所述驅(qū)動結(jié)構(gòu)包括分別控制兩個所述調(diào)節(jié)板的兩個驅(qū)動單元，每個所述驅(qū)動單元包括：

所述電機(jī)；

所述傳動桿，所述傳動桿的一端與相應(yīng)的所述電機(jī)驅(qū)動連接，所述傳動桿的另一端與相應(yīng)的所述調(diào)節(jié)板傳動連接。

進(jìn)一步的，兩個所述調(diào)節(jié)板對稱設(shè)置于離子注入設(shè)備的離子出口處。

本發(fā)明還提供一種離子注入設(shè)備，包括上述的離子注入量調(diào)節(jié)裝置。

本發(fā)明還提供一種離子注入量調(diào)節(jié)方法，采用上述的離子注入量調(diào)節(jié)裝置實現(xiàn)，包括：

驅(qū)動結(jié)構(gòu)控制調(diào)節(jié)件運(yùn)動；

檢測離子注入量，并根據(jù)檢測結(jié)果調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)件的運(yùn)動量。

本發(fā)明還提供一種判斷方法，用于離子束均勻度的判斷，采用上述的離子注入量調(diào)節(jié)裝置實現(xiàn)，包括：

驅(qū)動結(jié)構(gòu)控制調(diào)節(jié)件運(yùn)動使得離子出口的開口度為第一開口度；

檢測離子注入量，獲得第一檢測結(jié)果；

驅(qū)動結(jié)構(gòu)控制調(diào)節(jié)件運(yùn)動使得離子出口的開口度為第二開口度；

檢測離子注入量，獲得第二檢測結(jié)果；

根據(jù)所述第一檢測結(jié)果和所述第二檢測結(jié)果是否滿足預(yù)設(shè)要求而判斷離子束注入的均勻度。

本發(fā)明的有益效果是：可以靈活調(diào)節(jié)離子注入量。

附圖說明

圖1表示本發(fā)明實施例中離子注入量調(diào)節(jié)裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2表示本發(fā)明實施例中離子注入量調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)離子出口處于第一狀態(tài)示意圖；

圖3表示本發(fā)明實施例中離子注入量調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)離子出口處于第二狀態(tài)示意圖；

圖4表示本發(fā)明實施例中離子注入量調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)離子出口處于第三狀態(tài)示意圖。

具體實施方式

以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的特征和原理進(jìn)行詳細(xì)說明，所舉實施例僅用于解釋本發(fā)明，但是并不是對本發(fā)明的保護(hù)范圍的限定。

如圖1所示，本實施例提供一種離子注入量調(diào)節(jié)裝置，應(yīng)用于離子注入設(shè)備，包括：

調(diào)節(jié)件，用于開啟和關(guān)閉離子出口關(guān)閉；

驅(qū)動結(jié)構(gòu)，用于控制所述調(diào)節(jié)件移動以調(diào)節(jié)離子出口的開口度。

本實施例離子注入量調(diào)節(jié)裝置可以將離子注入設(shè)備的離子出口關(guān)閉，并且可以通過驅(qū)動結(jié)構(gòu)使得離子出口的開口度從0開始調(diào)節(jié)離子出口的開口度，且是可以靈活的調(diào)節(jié)為任意的開口度，從而可以調(diào)節(jié)從離子出口釋放出的離子量。

所述調(diào)節(jié)件的具體結(jié)構(gòu)形式可以有多種，只要實現(xiàn)對離子注入設(shè)備的遮擋、且在驅(qū)動結(jié)構(gòu)的控制下可以調(diào)節(jié)離子出口的開口度即可，本實施例中，所述調(diào)節(jié)件包括設(shè)置于離子出口處的調(diào)節(jié)板3，所述調(diào)節(jié)板3為一板狀結(jié)構(gòu)。

所述調(diào)節(jié)板3的數(shù)量可以根據(jù)實際需要設(shè)定，本實施例的一個實施方式中，所述調(diào)節(jié)件包括一個所述調(diào)節(jié)板3。

所述驅(qū)動結(jié)構(gòu)的具體結(jié)構(gòu)形式可以有多種，只要實現(xiàn)對調(diào)節(jié)件的控制、以控制調(diào)節(jié)件移動以調(diào)節(jié)離子出口的開口度即可，本實施例中，所述驅(qū)動結(jié)構(gòu)包括：

電機(jī)1；

傳動桿2，所述傳動桿2的一端與所述電機(jī)1驅(qū)動連接，所述傳動桿2的另一端與所述調(diào)節(jié)板3傳動連接。

所述傳動桿2的另一端通過旋轉(zhuǎn)軸與所述調(diào)節(jié)板3的一端連接，所述調(diào)節(jié)板3的另一端為自由端。

本實施例中，所述調(diào)節(jié)板3通過旋轉(zhuǎn)的方式開啟和關(guān)閉離子出口，當(dāng)然也可以采用其他運(yùn)動方式，例如，平移的方式、伸縮運(yùn)動方式等；

本實施例中，所述調(diào)節(jié)板3為矩形結(jié)構(gòu)，當(dāng)然也可以采用其他結(jié)構(gòu)形式，例如扇形等。

本實施例的另一個實施方式中，所述調(diào)節(jié)件包括兩個調(diào)節(jié)板3，一個所述傳動桿2的另一端通過旋轉(zhuǎn)軸與每個所述調(diào)節(jié)板3的一端連接以同時控制兩個所述調(diào)節(jié)板3的運(yùn)動，每個所述調(diào)節(jié)板3的另一端為自由端。

所述驅(qū)動結(jié)構(gòu)可以通過一個傳動桿2同時控制兩個所述調(diào)節(jié)板3的運(yùn)動，也可以設(shè)置兩個調(diào)節(jié)桿2分別獨(dú)立控制兩個所述調(diào)節(jié)板3，本實施例中優(yōu)選的，所述驅(qū)動結(jié)構(gòu)包括分別控制兩個所述調(diào)節(jié)板3的兩個驅(qū)動單元，每個所述驅(qū)動單元包括：

所述電機(jī)1；

所述傳動桿2，所述傳動桿2的一端與相應(yīng)的所述電機(jī)1驅(qū)動連接，所述傳動桿2的另一端與相應(yīng)的所述調(diào)節(jié)板3傳動連接。

圖2表示的是調(diào)節(jié)板3關(guān)閉離子出口的狀態(tài)示意圖，此時，兩個調(diào)節(jié)板3相接觸，即兩個調(diào)節(jié)板3的自由端之間的距離為0，離子不能從離子出口中流出；圖3表示兩個調(diào)節(jié)板3在驅(qū)動結(jié)構(gòu)的控制下旋轉(zhuǎn)預(yù)設(shè)角度的狀態(tài)示意圖，在驅(qū)動結(jié)構(gòu)的控制下，兩個調(diào)節(jié)板3旋轉(zhuǎn)使得離子出口的開口度大于0，部分離子可從離子出口通過，豎直箭頭表示離子束，曲向箭頭表示相應(yīng)的調(diào)節(jié)板3的旋轉(zhuǎn)方向；圖4表示的是兩個調(diào)節(jié)板3旋轉(zhuǎn)使得離子出口完全打開的狀態(tài)示意圖，此時所有的離子均可從離子出口通過。

本實施例中，兩個所述調(diào)節(jié)板3對稱設(shè)置于離子注入設(shè)備的離子出口處。圖3中所示為中間的離子束從兩個調(diào)節(jié)板3之間通過，在實際使用中并不限于此，可以根據(jù)實際需要使得預(yù)設(shè)區(qū)域的離子束通過兩個調(diào)節(jié)板3之間。

本實施例中，通過離子量注入調(diào)節(jié)裝置實現(xiàn)以電機(jī)1驅(qū)動調(diào)節(jié)板3的形式來靈活調(diào)節(jié)離子注入的離子量。

本發(fā)明還提供一種離子注入設(shè)備，包括上述的離子注入量調(diào)節(jié)裝置。

本發(fā)明還提供一種離子注入量調(diào)節(jié)方法，采用上述的離子注入量調(diào)節(jié)裝置實現(xiàn)，包括：

驅(qū)動結(jié)構(gòu)控制調(diào)節(jié)件運(yùn)動；

檢測離子注入量，并根據(jù)檢測結(jié)果調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)件的運(yùn)動量。

可以根據(jù)所需的離子注入量來調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)件的運(yùn)動量，從而調(diào)節(jié)離子出口的開口度。

本實施例還提供一種判斷方法，用于離子束均勻度的判斷，采用上述的離子注入量調(diào)節(jié)裝置實現(xiàn)，包括：

驅(qū)動結(jié)構(gòu)控制調(diào)節(jié)件運(yùn)動使得離子出口的開口度為第一開口度；

檢測離子注入量，獲得第一檢測結(jié)果；

驅(qū)動結(jié)構(gòu)控制調(diào)節(jié)件運(yùn)動使得離子出口的開口度為第二開口度；

檢測離子注入量，獲得第二檢測結(jié)果；

根據(jù)所述第一檢測結(jié)果和所述第二檢測結(jié)果是否滿足預(yù)設(shè)要求而判斷離子束注入的均勻度。

通過調(diào)整離子開口的開口度保證離子縱向(離子束)的均一性，及離子束形貌，可以以預(yù)定速度控制一個調(diào)節(jié)板的運(yùn)動，或者同時控制兩個調(diào)節(jié)板的運(yùn)動，獲得第一檢測結(jié)果和第二檢測結(jié)果，根據(jù)所述第一檢測結(jié)果和所述第二檢測結(jié)果是否滿足預(yù)設(shè)要求來判斷離子束的均勻度，所述預(yù)設(shè)要求包括隨著離子開口度的增大，離子注入量的增加是線性的，則離子束注入是均勻的?；蛘撸梢苑謩e控制兩個調(diào)節(jié)板運(yùn)動，然后將得到的第一檢測結(jié)果和第二檢測結(jié)果進(jìn)行對比，所述預(yù)設(shè)要求包括兩個調(diào)節(jié)板3運(yùn)動量相同，得到第一檢測結(jié)果和第二檢測結(jié)果相同，則判斷離子注入是均勻的。

以下具體介紹幾種離子束均勻度的判斷方法。

所述調(diào)節(jié)件包括兩個調(diào)節(jié)板3，且兩個調(diào)節(jié)板3對稱設(shè)置于離子出口處時，離子束均勻度的判斷方法的具體步驟包括：

驅(qū)動結(jié)構(gòu)控制一個調(diào)節(jié)板3旋轉(zhuǎn)預(yù)設(shè)角度至第一位置時，離子出口的開口度為第一開口度；

檢測離子注入量，獲得第一檢測結(jié)果，所述第一檢測結(jié)果包括第一離子注入量；

驅(qū)動結(jié)構(gòu)控制另一個調(diào)節(jié)板3旋轉(zhuǎn)所述預(yù)設(shè)角度至第二位置時，離子出口的開口度為第二開口度；

檢測離子注入量，獲得第二檢測結(jié)果，所述第二檢測結(jié)果包括第二離子注入量；

兩個調(diào)節(jié)板3旋轉(zhuǎn)相同的角度，此時第一開口度和第二開口度相同，但是離子出射的區(qū)域不同，在所述第一檢測結(jié)果和所述第二檢測結(jié)果滿足預(yù)設(shè)要求，即所述第一離子注入量與所述第二離子注入量相同，則離子出口對應(yīng)于第一位置與第二位置之間的離子束的注入是均勻的，反之，則離子出口對應(yīng)于第一位置與第二位置之間的離子束的注入是不均勻，如果所述第一離子注入量大于所述第二離子注入量，則需將所述第二檢測結(jié)果對應(yīng)的離子注入?yún)^(qū)域內(nèi)的離子束增加(或者減少所述第一檢測結(jié)果對應(yīng)的離子注入?yún)^(qū)域的離子束)，如果所述第二離子注入量大于所述第一離子注入量，則需將所述第一檢測結(jié)果對應(yīng)的離子注入?yún)^(qū)域內(nèi)的離子束增加(或者減少所述第二檢測結(jié)果對應(yīng)的離子注入?yún)^(qū)域的離子束)，以此為例可以繼續(xù)對比在相應(yīng)的調(diào)節(jié)板旋轉(zhuǎn)其他角度下的檢測結(jié)果，以此判斷結(jié)果作為調(diào)節(jié)離子束的均勻度的依據(jù)。

調(diào)節(jié)件包括兩個調(diào)節(jié)板，驅(qū)動結(jié)構(gòu)通過一個傳動桿的另一端通過旋轉(zhuǎn)軸與每個所述調(diào)節(jié)板的一端連接以同時控制兩個所述調(diào)節(jié)板的運(yùn)動，離子束均勻度的判斷方法的具體步驟包括：

驅(qū)動結(jié)構(gòu)控制兩個調(diào)節(jié)板同時旋轉(zhuǎn)第一預(yù)設(shè)角度，使得離子出口的開口度為第一開口度；

檢測離子注入量，獲得第一檢測結(jié)果，所述第一檢測結(jié)果包括第三離子注入量；

驅(qū)動結(jié)構(gòu)控制兩個調(diào)節(jié)板同時繼續(xù)旋轉(zhuǎn)一定的角度，使得離子出口的開口度為第二開口度，第二開口度不同于第一開口度；

檢測離子注入量，獲得第二檢測結(jié)果，所述第二檢測結(jié)果包括第四離子注入量；

根據(jù)所述第一檢測結(jié)果和所述第二檢測結(jié)果是否滿足預(yù)設(shè)要求而判斷離子束注入的均勻度，所述預(yù)設(shè)要求包括所述第三離子注入量與第四離子注入量之間的變化呈線性變化。

需要說明的是上述兩個調(diào)節(jié)板第二次同時旋轉(zhuǎn)的角度可以是讓第二開口和第一開口不同的任意角度。

以上所述為本發(fā)明較佳實施例，需要說明的是，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明所述原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明保護(hù)范圍。