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角向夾持雙徑向電子束角度對數(shù)平面曲折慢波線慢波結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:11262652閱讀:336來源:國知局
角向夾持雙徑向電子束角度對數(shù)平面曲折慢波線慢波結(jié)構(gòu)的制造方法與工藝

本發(fā)明屬于徑向束行波管慢波系統(tǒng)領(lǐng)域,具體為一種用于徑向束行波管的注波互作用系統(tǒng)。



背景技術(shù):

電真空微波功率器件中的行波管,具有工作頻帶寬、輸出功率大、互作用效率高及壽命長等特點(diǎn),在電子對抗、軍民通信領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,其性能決定整機(jī)裝備的整體水平。

基于微帶線的角度對數(shù)慢波結(jié)構(gòu)的徑向束行波管具有工作電壓低、工作頻帶寬、體積小等特點(diǎn)。角度對數(shù)微帶慢波結(jié)構(gòu)使用的板上微帶線的厚度在(0.004~0.018)mm的范圍內(nèi)。

專利號為201611144229.8的專利公開了“基于光子帶隙結(jié)構(gòu)加載的角度徑向?qū)?shù)曲折線微帶慢波結(jié)構(gòu)”,包括微帶慢波結(jié)構(gòu),按角度徑向?qū)?shù)規(guī)律呈周期的曲折線結(jié)構(gòu)分布,光子帶隙結(jié)構(gòu),與微帶慢波結(jié)構(gòu)相互獨(dú)立、與微帶慢波結(jié)構(gòu)內(nèi)行波位移矢量有間隔距離且對行波的傳播場產(chǎn)生互作用。此文件中的微帶慢波線也就是本發(fā)明所說的對數(shù)平面曲折慢波線。此公開文件還公開了:微帶慢波結(jié)構(gòu)設(shè)置在介質(zhì)基底一側(cè),且所述的介質(zhì)基底為扇形幾何結(jié)構(gòu)的、厚度為0.254毫米的石英介質(zhì)板,與微帶慢波結(jié)構(gòu)重合的位置有一定高度的凸起。但是上述方案有存在這嚴(yán)重的加工困難的問題,具體為:第一,在對石英介質(zhì)板加工的時(shí)候,要加工“與微帶慢波結(jié)構(gòu)重合的位置的一定高度的凸起”非常困難;第二,角度徑向?qū)?shù)曲折線的材質(zhì)為金屬,在進(jìn)行整管裝配的過程中存在,不能使用機(jī)械夾持的方法裝配,微帶線結(jié)構(gòu)慢波系統(tǒng)的石英介質(zhì)基板在進(jìn)行整片焊接時(shí),由于焊料流散的均勻性、石英與金屬之間的膨脹系數(shù)差異等原因,易造成石英介質(zhì)基板的斷裂,造成慢波系統(tǒng)的失效。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明的目的在于:現(xiàn)有的角度徑向?qū)?shù)曲折線微帶慢波結(jié)構(gòu)存在著加工困難的問題,具體為:具體為:第一,在對石英介質(zhì)板加工的時(shí)候,要加工“與微帶慢波結(jié)構(gòu)重合的位置的一定高度的凸起”非常困難;第二,角度徑向?qū)?shù)曲折線的材質(zhì)為金屬,在進(jìn)行整管裝配的過程中存在,不能使用機(jī)械夾持的方法裝配,微帶線結(jié)構(gòu)慢波系統(tǒng)的石英介質(zhì)基板在進(jìn)行整片焊接時(shí),由于焊料流散的均勻性、石英與金屬之間的膨脹系數(shù)差異等原因,易造成石英介質(zhì)基板的斷裂,造成慢波系統(tǒng)的失效。為了解決這個(gè)問題,本發(fā)明提供一種角向夾持的雙徑向電子束角度對數(shù)平面曲折慢波線慢波結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明的方案如下:

一種角向夾持的雙徑向電子束角度對數(shù)平面曲折慢波線慢波結(jié)構(gòu),包括金屬腔體,以及位于金屬腔體內(nèi)部的角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線、上理想陰極、下理想陰極、介質(zhì)支撐桿一、介質(zhì)支撐桿二。

所述金屬腔體上設(shè)有輸入端口和輸出端口,輸入端口和輸出端口均與金屬腔體內(nèi)部連通。

所述角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線為截取角度θ后對數(shù)螺旋線的通過首尾依次連接構(gòu)成的平面曲折慢波線,且相鄰兩條對數(shù)螺旋線在直角連接處有倒角;所述角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線的兩端分別延長,延長段作為輸入內(nèi)導(dǎo)體和輸出內(nèi)導(dǎo)體。

所述上理想陰極和下理想陰極對稱置于角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線的軸向兩側(cè),上理想陰極和下理想陰極用于提供覆蓋整個(gè)角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線的扇形徑向電子束。

所述介質(zhì)支撐桿一位于角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線輸入輸出端的一側(cè),所述介質(zhì)支撐桿二位于角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線輸入輸出端的另一側(cè),局部金屬化的介質(zhì)支撐桿一和介質(zhì)支撐桿二的一側(cè)與角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線連接、另一側(cè)與金屬腔體的內(nèi)壁連接,從而實(shí)現(xiàn)對角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線的支撐。

具體地,所述角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線的每一條對數(shù)螺旋線的截面為矩形,矩形截面的尺寸為厚度t=0.05~0.2mm,寬度w=0.05~0.1mm;所述倒角的尺寸為1.6×w×sin(π/4)×45°。

具體地,所述的局部金屬化的介質(zhì)支撐桿一和介質(zhì)支撐桿二的具體結(jié)構(gòu)為:與金屬腔體的內(nèi)壁接觸的一側(cè)進(jìn)行金屬化,與角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線接觸的部分進(jìn)行金屬化,其他不接觸的部分不進(jìn)行金屬化。介質(zhì)支撐桿一和介質(zhì)支撐桿二有效支撐角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線,保持其在真空腔中的相對位置,支撐桿一和支撐桿二需要進(jìn)行局部金屬化;并且,局部金屬化后的支撐桿還可以起到角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線與金屬腔體的絕緣作用,同時(shí)確保角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線直角折彎之間的絕緣。

具體地,介質(zhì)支撐桿一和介質(zhì)支撐桿二的局部金屬化的具體結(jié)構(gòu)為:與金屬腔體的內(nèi)壁接觸的一側(cè)進(jìn)行金屬化,與角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線接觸的部分進(jìn)行金屬化,其他不接觸的部分不進(jìn)行金屬化。

優(yōu)選地,所述金屬腔體為長方體形,所述輸入端口和輸出端口分別位于金屬腔體的正面的左右兩端,輸入內(nèi)導(dǎo)體的幾何中心與輸入端口的幾何中心重合,輸出內(nèi)導(dǎo)體的幾何中心與輸出端口的幾何中心重合。

具體地,所述所述輸入端口和輸出端口均為邊長l_port=0.5~1.5mm正方形。

具體地,所述上理想陰極2和所述下理想陰極3對稱置于角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線的軸向兩側(cè)。

具體地,所述扇形徑向電子束與角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線之間的間距為0.02~0.2mm,扇形徑向電子束的厚度t_cathode=0.2mm,扇形徑向電子束的角度為θ。

具體地,介質(zhì)支撐桿一和介質(zhì)金屬桿二的厚度t均與角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線的厚度相同,寬度w_bar=0.1~1mm,介質(zhì)支撐桿一的長度l_bar1=l-(0.1~0.3)mm,介質(zhì)支撐桿二的長度l_bar2=l-2w。

優(yōu)選地,介質(zhì)支撐桿一和介質(zhì)支撐桿二與角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線連接方式為焊接,與金屬腔體的內(nèi)壁連接的方式也為焊接。

優(yōu)選地,介質(zhì)支撐桿一和介質(zhì)支撐桿二的材料均為氧化鈹或氮化硼陶瓷。

本發(fā)明的原理如下:

一定頻率的電磁波通過輸入端口饋入由角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線、支撐桿一和支撐桿二構(gòu)成的慢波系統(tǒng),并沿角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線傳播。在傳播過程中,電磁波的徑向分量電場與具有一定直流功率的扇形徑向電子束進(jìn)行持續(xù)的能量交換,使扇形徑向電子束的直流功率傳遞給沿角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線傳輸?shù)碾姶艌?,使其得到放大,放大后的電磁波通過輸出端口饋入到負(fù)載(或天線)等微波器件。

角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線的金屬線厚度為(0.05~0.2)mm的高熔點(diǎn)金屬,如金屬鉬,在工作過程中,部分散焦電子束轟擊角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線時(shí)不易熔斷,可有效提高工作穩(wěn)定性。

本發(fā)明采用雙扇形徑向電子束,工作電流和電壓均相同,當(dāng)工作電壓為1400v,束電流為0.15a,輸入功率為1w時(shí),35ghz輸出功率為67.5w,電子效率為16.07%,當(dāng)工作電壓為2600v,束電流為0.15a輸入功率為1w時(shí),26ghz的輸出功率為79w,對應(yīng)的電子效率為10.13%,說明,本結(jié)構(gòu)具有多模工作的潛力,即使用不同的工作電壓,可實(shí)現(xiàn)對不同頻率范圍內(nèi)的微波進(jìn)行放大,且具有較高的電子效率。

采用上述方案后,本發(fā)明的有益效果在于:

(1)采用了介質(zhì)支撐桿一和介質(zhì)支撐桿二來支撐角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線,金屬平面曲折慢波線的底部不需要與金屬腔體的內(nèi)壁底部接觸,金屬腔體內(nèi)壁的底部也不需要與角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線相應(yīng)的凸起,只需要將介質(zhì)支撐桿一和介質(zhì)支撐桿二與金屬平面曲折慢波線的側(cè)面連接,再加上介質(zhì)支撐桿一和介質(zhì)支撐桿二的底面與金屬腔體的內(nèi)壁底部接觸,采用這種方式將角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線固定在金屬腔體內(nèi),并且,本發(fā)明的平面曲折慢波線是采用的金屬材料,介質(zhì)支撐桿一和介質(zhì)支撐桿二與金屬平面曲折慢波線、金屬腔體連接的部分都是采用的金屬材料,這些都大大減小了加工難度。

(2)省去了介質(zhì)基板;對于專利號為201611144229.8的專利,在工作過程中,散焦電子束不僅會轟擊在微帶線的表面,也會轟擊在介質(zhì)基板的表面,由于介質(zhì)基板屬于絕緣材料,電子會在轟擊區(qū)域積累形成靜電場,該靜電場會進(jìn)一步影響徑向電子束的運(yùn)行狀態(tài),破壞在微帶慢波線表面的電子束形態(tài),影響互作用效果。當(dāng)電荷積累到一定程度時(shí),會造成局部放電,可能破壞其周圍的微帶線,造成慢波系統(tǒng)的失效。本發(fā)明中,扇形徑向電子束的運(yùn)行范圍內(nèi)不含有介質(zhì)材料,有效地避免了上述缺陷。

(3)由于金屬平面曲折慢波線的底部沒有與金屬腔體內(nèi)壁底部接觸,將理想陰極分為上下兩個(gè),可以發(fā)出雙扇形徑向電子束,將充分利用平面型角度對數(shù)金屬曲折線上下兩面的表面徑向場分量,從而獲得更明顯的注波互作用效果,得到較高的電子效率。

(4)專利號為201611144229.8的專利中的微帶線的厚度為0.004~0.018mm,材料為金(或銅),金和銅的熔點(diǎn)分別為1064.18℃和1083℃。而本發(fā)明中,角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線的厚度為0.05~0.2mm,材料為鉬,熔點(diǎn)為2620℃,將極大地提升慢波線的抗電子束轟擊能力,保證器件在工作過程中的穩(wěn)定性和可靠性。

(5)對于介質(zhì)支撐桿一和介質(zhì)支撐桿二采用局部金屬化結(jié)構(gòu),與金屬腔體的內(nèi)壁接觸的一側(cè)進(jìn)行金屬化,與角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線接觸的部分進(jìn)行金屬化,其他不接觸的部分不進(jìn)行金屬化,局部金屬化后的支撐桿還可以起到角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線與金屬腔體的絕緣作用,同時(shí)確保角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線直角折彎之間的絕緣。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的互作用腔體的局部剖切示意圖;

圖2為本發(fā)明的前視圖;

圖3角度對數(shù)曲折線的單周期構(gòu)成示意圖

圖4角度對數(shù)平面曲折慢波線俯視圖

圖5為介質(zhì)支撐桿的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖6為介質(zhì)支撐桿加載的角度對數(shù)金屬曲折線慢波結(jié)構(gòu)俯視圖;

圖7為實(shí)施例的檢測結(jié)果示意圖一;

圖8為實(shí)施例的檢測結(jié)果示意圖一;

圖中標(biāo)記:1-金屬腔體,11-輸入端口,12-輸出端口,2-上理想陰極,3-下理想陰極,4-介質(zhì)支撐桿一,5-介質(zhì)支撐桿二,6-角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線,7-輸入內(nèi)導(dǎo)體,8-輸出內(nèi)導(dǎo)體。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明的方案進(jìn)行進(jìn)一步地詳細(xì)說明。

如圖1所示,一種角向夾持的雙徑向電子束角度對數(shù)平面曲折慢波線慢波結(jié)構(gòu),包括金屬腔體1,以及位于金屬腔體1內(nèi)部的角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線6、上理想陰極2、下理想陰極3、介質(zhì)支撐桿一4、介質(zhì)支撐桿二5。

如圖2所示,金屬腔體1上設(shè)有輸入端口11和輸出端口12,輸入端口11和輸出端口12均與金屬腔體1內(nèi)部連通;所述金屬腔體1為長方體形,所述輸入端口11和輸出端口12分別位于金屬腔體1的正面的左右兩端,輸入端口11和輸出端口12均為邊長l_port=0.5~1.5mm正方形。輸入內(nèi)導(dǎo)體7的幾何中心與輸入端口11的幾何中心重合,輸出內(nèi)導(dǎo)體8的幾何中心與輸出端口12的幾何中心重合。

金屬腔體之所以材料為金屬,是因?yàn)樵谡麄€(gè)結(jié)構(gòu)裝配時(shí),腔體在整管裝配的時(shí)候構(gòu)成真空隔離的殼體,真空管在裝配過程中需要進(jìn)行高溫焊接,比如(780~820)℃的氫焊,550℃的排氣工序,必須使用金屬材料,一般采用鎳銅合金、彌散無氧銅等;并且,電磁波在角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線上傳輸,金屬腔體的內(nèi)壁構(gòu)成電壁,對信號起到屏蔽(或約束)的作用。

如圖3和圖4所示,角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線6為截取角度θ后對數(shù)螺旋線的通過首尾依次連接構(gòu)成的平面曲折慢波線,且相鄰兩條對數(shù)螺旋線在直角連接處有倒角;所述角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線6的兩端分別延長,延長段作為輸入內(nèi)導(dǎo)體7和輸出內(nèi)導(dǎo)體8,延長段的長度l_port=0.5~3mm。下面,將對角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線6的形成過程以及參數(shù)作具體說明。

對數(shù)螺旋的定義為:其中,b=(14~18)mm為表征對數(shù)螺旋線起始半徑的參數(shù),p=(0.0012~0.0022)為表征對數(shù)螺旋線線圈之間間隔大小的參數(shù)。在本實(shí)施例中,角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線的掃掠角度為θ,因此,首段角度對數(shù)螺旋線的定義為:其中首段。如圖3所示,第2段角度對數(shù)螺旋線的定義為:其中,的取值與第一段角度對數(shù)螺旋線相同,為:圖3中,首段和第2段角度對數(shù)螺旋線的端點(diǎn)分別是①、②和③、④,點(diǎn)⑤為3段角度對數(shù)螺旋線的起點(diǎn),公式為:r3=be4πp。使用線段依次首尾連接以上5個(gè)點(diǎn)構(gòu)成角度對數(shù)螺旋線的一個(gè)周期。第3段至第n段角度對數(shù)螺旋線的建立依次類推,通用公式為:其中使用同樣的連接方式,構(gòu)成角度對數(shù)平面曲折慢波線,如圖4所示。本實(shí)施例中,n=50。

如圖4所示,角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線6的每一條對數(shù)螺旋線的截面為矩形,矩形截面的尺寸為厚度t=0.05~0.2mm,寬度w=0.05~0.1mm;所述倒角的尺寸為1.6×w×sin(π/4)×45°。矩形截面沿角度對數(shù)平面曲折慢波線掃掠,使用高熔點(diǎn)金屬材料,構(gòu)成角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線6。角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線6的總長度:l=w+b(e2nπp-1)。

如圖2和圖5所示,上理想陰極2和下理想陰極3對稱置于角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線6的軸向兩側(cè),上理想陰極2和下理想陰極3用于提供覆蓋整個(gè)角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線6的扇形徑向電子束;本實(shí)施例中,上理想陰極2和下理想陰極3在靠近輸入輸出端的一側(cè)。徑向電子束應(yīng)覆蓋互作用區(qū)域,從小半徑往大半徑,為發(fā)散型電子束;從大半徑往小半徑,為收斂型電子束。如果放置在輸出內(nèi)導(dǎo)體一側(cè),理論上應(yīng)獲得與放置在輸入內(nèi)導(dǎo)體一側(cè)相同的效果。只是,習(xí)慣上,成為電子束運(yùn)動方向的起始端為輸入端,如果理想陰極放在大半徑一側(cè),原輸出內(nèi)導(dǎo)體就變成了輸入內(nèi)導(dǎo)體。扇形徑向電子束與角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線1之間的間距為0.02~0.2mm,扇形徑向電子束的厚度t_cathode=0.2mm,扇形徑向電子束的角度為θ。

如圖6所示,介質(zhì)支撐桿一4和介質(zhì)支撐桿二5的材料均為氧化鈹或氮化硼陶瓷。介質(zhì)支撐桿一4位于角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線6輸入輸出端的一側(cè),所述介質(zhì)支撐桿二5位于角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線6輸入輸出端的另一側(cè),局部金屬化的介質(zhì)支撐桿一4和介質(zhì)支撐桿二5的一側(cè)與角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線6焊接、另一側(cè)與金屬腔體1的內(nèi)壁焊接,從而實(shí)現(xiàn)對角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線6的支撐。介質(zhì)支撐桿一4和介質(zhì)金屬桿二5的厚度t均與角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線6的厚度相同,寬度w_bar=0.1~1mm,介質(zhì)支撐桿一4的長度l_bar1=l-0.1~0.3mm,介質(zhì)支撐桿二5的長度l_bar2=l-2w。介質(zhì)支撐桿用于支撐角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線,同時(shí)起到使角度對數(shù)金屬平面曲折慢波線與互作用腔之間隔離的作用。

采用本具體實(shí)施例中制備出來的角向夾持的雙徑向電子束角度對數(shù)平面曲折慢波線慢波結(jié)構(gòu),試驗(yàn)后得到的具體參數(shù)如下:

當(dāng)工作電壓為1400v,輸入功率為1w時(shí),35ghz的輸出功率見圖7,經(jīng)換算,輸出功率為67.5w,增益為10lg(135/1)=18.3db。電子效率為:輸出功率/電子束直流功率=67.5/(1400*0.15*2)*100%=16.07%.

當(dāng)工作電壓為2600v,輸入功率為1w時(shí),26ghz的輸出功率見圖8,經(jīng)換算,輸出功率為79w,增益為10lg(157.9/1)=18.9db。電子效率為:輸出功率/電子束直流功率=79/(2600*0.15*2)*100%=10.13%。

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