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一種光纖耦合輸出半導體激光器的制作方法

文檔序號:11278480閱讀:1397來源:國知局
一種光纖耦合輸出半導體激光器的制造方法與工藝

本發(fā)明屬于半導體激光器技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種高功率光纖耦合輸出半導體激光器。



背景技術(shù):

光纖耦合輸出半導體激光器具有重量輕、體積小、效率高、可靠性好、壽命長等優(yōu)點,已廣泛應用于各個領(lǐng)域,比如:作為光纖激光器或固體激光器的泵浦源,醫(yī)療領(lǐng)域,工業(yè)加工和軍事領(lǐng)域。

目前存在的光纖耦合輸出半導體激光器系統(tǒng),包括半導體激光器光源、光束傳輸系統(tǒng)、光纖耦合系統(tǒng)和相應的冷卻設(shè)備,整個半導體激光器系統(tǒng)體積較大,集成度較差,系統(tǒng)密封性較差,穩(wěn)定性較差,不能在惡劣的環(huán)境下工作。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

(一)要解決的技術(shù)問題

本發(fā)明的目的是提供一種高功率光纖耦合輸出半導體激光器,以解決上述激光器系統(tǒng)存在的集成度差、密封性差和穩(wěn)定性差的問題。

(二)技術(shù)方案

一種光纖耦合輸出半導體激光器,包括:光源、光束合束系統(tǒng)、光閘、光束縮束系統(tǒng)、光纖耦合系統(tǒng)和吸收體;

光源發(fā)出的光經(jīng)過光束合束系統(tǒng),光閘為打開狀態(tài)時,合束后的光經(jīng)光閘反射進入光束縮束系統(tǒng)進行縮束,縮束后的光進入光纖耦合系統(tǒng),對激光進行聚焦和光纖耦合后輸出;光閘為關(guān)斷狀態(tài)時,合束后的光進入吸收體被吸收。

優(yōu)選地,還包括慢軸二次準直,設(shè)置在光束合束系統(tǒng)與光閘之間。

優(yōu)選地,所述光源包括至少兩個半導體激光模塊;

所述光束合束系統(tǒng)包括至少一組高反鏡和至少一組二向色鏡;

半導體激光模塊發(fā)出的光通過高反鏡和二向色鏡實現(xiàn)波長合束和空間合束。

優(yōu)選地,所述光閘包括電機和扇形介質(zhì)鏡,用于控制激光的輸出;

電機帶動扇形介質(zhì)鏡進入光路,光閘為打開狀態(tài),光束被扇形介質(zhì)鏡反射進入光束縮束系統(tǒng);

電機帶動扇形介質(zhì)鏡脫離光路,光閘為關(guān)斷狀態(tài),光束被吸收體吸收。

優(yōu)選地,所述光束縮束系統(tǒng)包括一組柱透鏡,用于將快軸的光寬壓縮為原來的一半。

優(yōu)選地,所述光纖耦合系統(tǒng)包括耦合器底座、聚焦鏡組和保護線,保護線固定在耦合器底座上。

優(yōu)選地,還包括45°高透鏡,45°高透鏡設(shè)置在慢軸二次準直與光閘之間,用于將一部分入射光反射到功率計進行功率探測,另一部分光直接通過。

優(yōu)選地,還包括45°高反鏡,45°高反鏡設(shè)置在光閘之后,光閘為關(guān)斷狀態(tài)時,將合束后的光束反射到吸收體中,被吸收體吸收。

優(yōu)選地,還包括平臺;

所述光源、光束合束系統(tǒng)、光閘和光束縮束系統(tǒng)均設(shè)置有保護罩和上蓋板;

所述半導體激光器設(shè)置有溫度與濕度檢測電路板、漏水檢測線和通氣孔,用于對半導體激光器內(nèi)部環(huán)境條件實時檢測與控制。

優(yōu)選地,所述光源包括第一半導體激光模塊、第二半導體激光模塊、第三半導體激光模塊和第四半導體激光模塊;

第一半導體激光模塊和第二半導體激光模塊相對設(shè)置,且底部均設(shè)置有墊塊,第一半導體激光模塊和第二半導體激光模塊分別經(jīng)一組高反鏡和二向色鏡實現(xiàn)波長合束,合束光為c1;

第三半導體激光模塊和第四半導體激光模塊相對設(shè)置,且在出光方向均設(shè)置有連接筒,第三半導體激光模塊和第四半導體激光模塊分別經(jīng)另一組高反鏡和二向色鏡實現(xiàn)波長合束,合束光為c2;

所述光束c1和光束c2空間合束,所述第一、第二、第三和第四半導體激光模塊的光束從發(fā)光端面到達慢軸二次準直的光程相等。

(三)有益效果

(1)本發(fā)明全部采用模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計方案,高功率光纖耦合輸出半導體激光器系統(tǒng)集成度高;

(2)半導體激光器設(shè)置溫度與濕度檢測電路板、漏水檢測線和通氣孔可以對半導體激光器內(nèi)部環(huán)境條件做到實時檢測與控制;

(3)各部分保護罩上下表面均設(shè)置密封槽,可使高功率光纖耦合輸出半導體激光器系統(tǒng)防水、防塵,能夠勝任在惡劣的環(huán)境條件下連續(xù)穩(wěn)定工作;

(4)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單,調(diào)節(jié)方便,成本低。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實施例的高功率光纖耦合輸出半導體激光器立體圖。

圖2為本發(fā)明實施例的高功率光纖耦合輸出半導體激光器的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本發(fā)明實施例的高功率光纖耦合輸出半導體激光器激光傳播路徑圖。

具體實施方式

為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚明白,以下結(jié)合具體實施例,并參照附圖,對本發(fā)明作進一步的詳細說明。

本發(fā)明提供的高功率光纖耦合輸出半導體激光器采用模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計的半導體激光模塊,進行空間合束和波長合束,再進行慢軸二次準直、快軸縮束,最后通過光纖耦合系統(tǒng)實現(xiàn)光纖輸出。

如圖1為本發(fā)明實施例的高功率光纖耦合輸出半導體激光器立體圖,圖2為本發(fā)明實施例的高功率光纖耦合輸出半導體激光器的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1和圖2所示,高功率光纖耦合輸出半導體激光器包括:四個半導體激光模塊、光束合束系統(tǒng)、慢軸二次準直、光閘、光束縮束系統(tǒng)、光纖耦合系統(tǒng)、吸收體和用于固定模塊的平臺。所述的光束合束系統(tǒng)、慢軸二次準直、光閘、光束縮束系統(tǒng)、光纖耦合系統(tǒng)和吸收體均位于半導體激光模塊的出光方向上。

半導體激光模塊分為a組(a1和a2)和b組(b1和b2),其中,半導體激光模塊a1和b1相對設(shè)置,且均固定在墊塊34上,墊塊34位于平臺36的一端。半導體激光模塊a2和b2相對設(shè)置,均直接固定在平臺36上,且在其出光方向均連接有一個連接筒7,連接筒用于光路密封。a組半導體激光模塊的中心波長是938nm,b組半導體激光模塊的中心波長是976nm。所采用的四個半導體激光模塊結(jié)構(gòu)完全相同,半導體激光模塊包括殼底熱沉13a、保護罩10a、上蓋板10、通氣孔、正極接線柱8、負極接線柱9、進水口5、出水口6和窗口鏡。保護罩上設(shè)置有通氣孔,通過填充干凈干燥空氣使模塊內(nèi)部保持干燥;正極接線柱與外接電源的正極相接,負極接線柱與外接電源的負極相接;殼底熱沉開有安裝孔,半導體激光模塊a1和b1固定在墊塊34上,半導體激光模塊a2和b2固定在平臺36上;殼底熱沉13a上開有進水口5和出水口6,用于與外部的冷水機相連接;保護罩和上蓋板開有安裝孔,用于兩者相互固定;墊塊34上開有安裝孔35,用于固定在平臺36上,平臺36固定在平臺底座37上。

光束合束系統(tǒng)包括兩個高反鏡18a、18b,和兩個二向色鏡19a、19b。其中,高反鏡18a固定于半導體激光模塊a1發(fā)光面的前端,二向色鏡19a固定于半導體激光模塊b1發(fā)光面的前端;高反鏡18b固定于半導體激光模塊a2發(fā)光面的前端,二向色鏡19b固定于半導體激光模塊b2發(fā)光面的前端。鏡片18a、18b、19a和19b均固定在通水底座16上,通水底座設(shè)置有通水口17;光束合束系統(tǒng)設(shè)置有漏水檢測線15,用于檢測平臺是否有水;光束合束系統(tǒng)設(shè)置有保護罩11和上蓋板,并且保護罩11上設(shè)置4個通光孔,分別與各半導體激光模塊窗口鏡相連通;光束合束系統(tǒng)在出光方向還設(shè)置有一通光孔,允許激光光束通過;光束合束系統(tǒng)保護罩內(nèi)側(cè)開有安裝孔,用于將保護罩固定在平臺上;光束合束系統(tǒng)保護罩和上蓋板開有安裝孔,用于二者的相互固定;光束合束系統(tǒng)保護罩上下表面均設(shè)置凹槽,通過硅膠密封圈來對整個保護罩進行密封。

慢軸二次準直包括慢軸準直鏡(sac)20,位于光束合束系統(tǒng)的出光方向,用于將慢軸光斑大小變換為所需大小,慢軸準直鏡(sac)設(shè)置在通水塊上,通水塊上開有進水口與出水口。

光閘包括電機23和扇形介質(zhì)鏡22,光閘與激光入射方向呈45°放置,可將激光光束偏轉(zhuǎn)90°。扇形介質(zhì)鏡22上鍍有相應波長的高反膜。電機驅(qū)動器27控制電機的轉(zhuǎn)動,帶動扇形介質(zhì)22鏡進入或脫離光路。光閘用來控制激光的輸出,當為打開狀態(tài)時,光纖耦合輸出激光;當為關(guān)斷狀態(tài)時,光纖耦合不能輸出激光,激光偏轉(zhuǎn)進入吸收體32,,被吸收體32吸收。

慢軸二次準直20和光閘23外部設(shè)置保護罩12,保護罩12設(shè)置通光孔,用于與光束合束系統(tǒng)、光束縮束系統(tǒng)和吸收體相連通。保護罩上下表面均設(shè)置凹槽14,通過硅膠密封圈來對整個保護罩進行密封,保護罩外部連接有指示光支架,指示光25設(shè)置在指示光支架26,指示光用于激光器在使用過程中指示激光的實際位置。

光束縮束系統(tǒng)用來將快軸的光寬壓縮為原來的一半,包括一組柱透鏡29、擴束鏡架28、保護罩13和上蓋板,柱透鏡29設(shè)置在擴束鏡架28上,擴束鏡架28設(shè)置進水口與出水口,擴束鏡架28開有安裝孔,用于將擴束鏡架固定在平臺36上,保護罩13和上蓋板開有安裝孔,用于將上蓋板固定在保護罩上。

光纖耦合系統(tǒng)用來使空間傳輸?shù)募す饩劢购笤诠饫w中傳輸,包括耦合器底座30、聚焦鏡組和保護線31,保護線31固定在耦合器底座30上,用于檢測耦合器與光纖接頭32是否連接,耦合器底座開有安裝孔,固定在光束縮束系統(tǒng)保護罩13上,聚焦鏡組設(shè)置在耦合器底座內(nèi),用于聚焦經(jīng)過光束縮束系統(tǒng)的激光。

吸收體32設(shè)置有通水口33,用來對吸收體進行冷卻。

半導體激光器還包括45°高透鏡21和45°高反鏡24,45°高透鏡21設(shè)置在慢軸準直鏡20與扇形介質(zhì)鏡22之間,用于對經(jīng)過光束合束系統(tǒng)的激光取樣監(jiān)測,并換算為實時激光功率;45°高反鏡24設(shè)置在扇形介質(zhì)鏡22之后,用于將光束反射到吸收體中,被吸收體吸收。45°高透鏡21和高反鏡24均設(shè)置在通水塊上,通水塊上開有進水口與出水口。45°高反鏡24鍍有增反膜,用于增加相應波長范圍光束的反射,45°高透鏡21鍍有增透膜,用于增加相應波長范圍光束的透射。

墊塊34、平臺36、上蓋板10材料為鋁合金,可以使高功率光纖耦合輸出半導體激光器具有更輕的重量。通水底座16、26材料為不銹鋼。

圖3為本發(fā)明實施例的高功率光纖耦合輸出半導體激光器激光傳播路徑圖,如圖3所示,半導體激光模塊a1發(fā)出的光經(jīng)過高反鏡18a反射,與半導體激光模塊b1發(fā)出的光通過二向色鏡19a進行波長合束,波長合束后的光束為c1。半導體激光模塊a2和b2的光束合束與a1和b1的光束合束過程相同,a2和b2波長合束后的光束為c2,兩組半導體激光模塊(a1和b1、a2和b2)分別經(jīng)過波長合束后,c1與c2在傳播方向(即圖2中的豎直方向)存在一定的高度差,可以使c1和c2實現(xiàn)空間合束。

4個半導體激光模塊經(jīng)過光束合束系統(tǒng)實現(xiàn)波長合束和空間合束后,4個半導體激光模塊的光束從發(fā)光端面到達慢軸二次準直鏡20(sac)的光程相等,保證了各模塊激光光斑亮度的一致性(光程差相等)。光束經(jīng)過慢軸準直后,通過45°高透鏡21,一少部分光被反射到功率計進行功率探測,另一部分光直接通過。電機23被電機驅(qū)動器27控制,當電機打開時,扇形介質(zhì)鏡22進入光路,光束被扇形介質(zhì)鏡22反射,通過一組柱透鏡29將快軸方向的光寬壓縮為原來的一半,最后通過耦合器底座30將光束耦合到光纖接頭中,半導體激光模塊輸出功率為2kw,4個模塊合束后,經(jīng)過光纖耦合輸出功率大于6000w;當電機關(guān)閉時,扇形介質(zhì)鏡22脫離光路,光束被45°高反鏡24反射到吸收體32內(nèi),從而被吸收。

以上所述的具體實施例,對本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進行了進一步詳細說明,應理解的是,以上所述僅為本發(fā)明的具體實施例而已,并不用于限制本發(fā)明,凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),所做的任何修改、等同替換、改進等,均應包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。

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