技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種LED金屬電極結(jié)構(gòu)及其制備方法，該制備方法包括以下步驟：S21：提供一外延片，制作電極圖形；S22：蒸鍍電極：在電子束蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)的腔體內(nèi)依次蒸鍍Cr層、Al層、第一Ti層、第一Ni層、第二Ti層、第二Ni層和Au層；S23：剝離與去膠：采用藍(lán)膜對(duì)金屬進(jìn)行剝離，待金屬剝離干凈后再將電極放入去膠劑中進(jìn)行超聲浸泡。本發(fā)明中Al層緊挨Cr層設(shè)計(jì)，Cr層不但能夠起到黏附作用，還能將傳輸?shù)絇、N電極的光反射回芯片內(nèi)部，被反射回的光從芯片內(nèi)部再射出來(lái)，從而提高了LED芯片的外量子效率；Ti層、Ni層交替的作用主要是為消除Ni應(yīng)力，杜絕在蒸鍍過(guò)程中產(chǎn)生翹金異常。

技術(shù)研發(fā)人員：呂振興;潘堯波;張德;劉亞柱
受保護(hù)的技術(shù)使用者：合肥彩虹藍(lán)光科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.25
技術(shù)公布日：2017.07.21