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一種提高ECR離子源中氫分子離子比例系統(tǒng)及其方法與流程

文檔序號:11289538閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種提高ECR離子源中氫分子離子比例系統(tǒng)及其方法。本發(fā)明采用放電室內(nèi)襯套裝在放電室內(nèi),放電室內(nèi)襯的材料采用高復(fù)合系數(shù)材料,其中鉭材料為首次在該類型的離子源中作為內(nèi)襯使用來提高H2+離子比例;通過進氣口向放電室中通入純氫氣;微波系統(tǒng)將微波通過微波窗傳輸至放電室內(nèi);磁體提供軸向共振場;微波與放電室中的氫氣作用產(chǎn)生等離子體,同時,氫原子在放電室內(nèi)襯的高復(fù)合系數(shù)材料表面發(fā)生復(fù)合作用,形成大量氫分子,使得放電室內(nèi)的氫分子含量升高,等離子體中氫原子含量減少,從而使得H+比例降低,H2+離子比例升高;H2+離子流強可以達到40mA,H2+離子的比例可以達到50%;系統(tǒng)運行的穩(wěn)定性高,壽命長。

技術(shù)研發(fā)人員:彭士香;徐源;任海濤;張艾霖;張?zhí)?張景豐;溫佳美;武文斌
受保護的技術(shù)使用者:北京大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日:2017.05.11
技術(shù)公布日:2017.09.22
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