技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種石墨烯電極的制備與轉(zhuǎn)移方法，包括如下步驟：1)在化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)中生長石墨烯，并將石墨烯轉(zhuǎn)移到平整干凈的襯底表面；2)用紫外臭氧對石墨烯進(jìn)行表面處理，并根據(jù)需要對石墨烯進(jìn)行摻雜，然后在石墨烯表面沉積圖形化金屬作為支撐層得到金屬/石墨烯復(fù)合結(jié)構(gòu)電極；3)在顯微鏡下，利用探針操作，將金屬/石墨烯復(fù)合結(jié)構(gòu)電極從襯底轉(zhuǎn)移到晶體管溝道上，形成晶體管的接觸電極；將金屬支撐層與石墨烯層從襯底轉(zhuǎn)移到晶體管溝道上，形成接觸電極。本發(fā)明具有整個(gè)過程避免有機(jī)溶劑和高溫工藝的優(yōu)點(diǎn)，最大程度減少晶體管溝道材料的損傷并改善晶體管的接觸性能。

技術(shù)研發(fā)人員：王欣然;何道偉;吳冰;呂未;施毅
受保護(hù)的技術(shù)使用者：南京大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.08
技術(shù)公布日：2017.10.03