技術編號：11179176
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種以石墨烯作為接觸層的電極制備方法，適用于以石墨烯電極作為源漏電極的頂電極結構的場效應晶體管。背景技術自從石墨烯、MoS2等二維材料被報道以來，基于二維材料的晶體管一直是研究的熱點。近年來，多種新型二維材料被發(fā)現(xiàn)，二維有機半導體材料也被報道并引起人們的研究興趣。二維材料的晶體管中，歐姆接觸一直是一個主要問題。二維半導體材料超薄的特性使其相對于傳統(tǒng)半導體材料更加容易受到工藝的影響，超薄的二維有機材料尤其明顯；二維半導體材料與電極金屬的能帶匹配和界面性質直接影響到接觸勢壘和電荷注入效率，...
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