技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種三階分布反饋太赫茲量子級聯(lián)激光器結(jié)構(gòu)及其制作方法，所述結(jié)構(gòu)包括襯底、脊波導(dǎo)區(qū)以及三階光柵結(jié)構(gòu)；所述脊波導(dǎo)區(qū)自下而上依次包括下電極、夾層區(qū)及上電極；所述夾層區(qū)自下而上依次包括下接觸層、有源區(qū)及上接觸層；所述三階光柵結(jié)構(gòu)包括若干呈周期性排列的平行縫隙，所述縫隙上下貫穿上電極及夾層區(qū)；所述三階光柵結(jié)構(gòu)的縱向占空比范圍是8%?15%；太赫茲波在有源區(qū)內(nèi)產(chǎn)生，并通過三階光柵結(jié)構(gòu)的選模作用，從縫隙處出射，在空間中耦合到脊波導(dǎo)區(qū)的縱向兩端。本發(fā)明在太赫茲量子級聯(lián)激光器的波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中引入了三階光柵，并通過調(diào)整不同的光柵占空比以獲得比較小的遠(yuǎn)場發(fā)散角，克服了三階光柵因?yàn)橄辔徊黄ヅ涠嬖诘倪h(yuǎn)場發(fā)散角偏大的問題。

技術(shù)研發(fā)人員：黎華;朱永浩;曹俊誠
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
文檔號碼：201710277857
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.25
技術(shù)公布日：2017.06.20