技術(shù)編號：12727056
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體激光器技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種三階分布反饋太赫茲量子級聯(lián)激光器結(jié)構(gòu)及其制作方法。背景技術(shù)太赫茲(THz)量子級聯(lián)激光器(QuantumCascadeLaser，QCL)覆蓋1-10Thz的頻率范圍，具有體積小、重量輕、易集成等優(yōu)點，是太赫茲應(yīng)用領(lǐng)域的一個十分重要的輻射源。為了迎合在通信、成像、頻譜分析等領(lǐng)域的應(yīng)用，需要在波導(dǎo)結(jié)構(gòu)方面對THzQCL進行優(yōu)化設(shè)計，使THzQCL具有單模輸出、低的遠場發(fā)散角、高的輸出功率等性能。目前主要有兩種波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，半絕緣表面等離子體波導(dǎo)結(jié)構(gòu)和雙面金屬波導(dǎo)...
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