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一種Bi2Sr2CaCu2O8單個約瑟夫森表面結(jié)的制備方法與流程

文檔序號:11409926閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種Bi2Sr2CaCu2O8單個約瑟夫森表面結(jié)的制備方法,將BSCCO單晶置于熱蒸發(fā)的真空環(huán)境中進(jìn)行解理,解理后迅速熱蒸發(fā)金電極,直接光刻圖形,通過氬離子束刻蝕的方法刻蝕掉圖形區(qū)域之外的金膜與BSCCO單晶,之后在圖形四周蒸發(fā)一層絕緣的SiO作為保護(hù),經(jīng)過蒸金、光刻得到上下電極圖形,使用碘化鉀腐蝕液刻蝕掉其他區(qū)域的金膜,制備出只有一個結(jié)的約瑟夫森表面結(jié)。該制備方法簡單,克服了傳統(tǒng)離子束刻蝕無法精確控制刻蝕的厚度從而無法制備出單個表面結(jié)的缺點(diǎn),大大縮短了樣品制備周期并提高了樣品制備成功率,能制備出只有一個結(jié)的約瑟夫森表面結(jié),特性不受內(nèi)部結(jié)的干擾,對表面結(jié)特性的研究起到了重大的推動作用。

技術(shù)研發(fā)人員:蔣美萍;周憲靖;吳培亨
受保護(hù)的技術(shù)使用者:南京大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日:2017.04.12
技術(shù)公布日:2017.09.01
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