技術(shù)特征:
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明圖案化金屬網(wǎng)柵薄膜的制作方法屬于光學(xué)透明導(dǎo)電薄膜技術(shù)領(lǐng)域;該方法首先在襯底上涂覆網(wǎng)柵掩模液,然后自然干燥網(wǎng)柵掩模液,形成網(wǎng)柵掩模結(jié)構(gòu),再采用激光燒蝕方法,在網(wǎng)柵掩模結(jié)構(gòu)上熔融圖案區(qū)域,形成圖案化網(wǎng)柵掩模結(jié)構(gòu),接著在圖案化網(wǎng)柵掩模結(jié)構(gòu)上沉積金屬層,最后采用丙酮或氯仿溶解去除圖案化網(wǎng)柵掩模結(jié)構(gòu),得到圖案化金屬網(wǎng)柵薄膜;本發(fā)明只需要在形成網(wǎng)柵掩模結(jié)構(gòu)與沉積金屬層兩個步驟之間,增加采用激光燒蝕方法,在網(wǎng)柵掩模結(jié)構(gòu)上熔融圖案區(qū)域,形成圖案化網(wǎng)柵掩模結(jié)構(gòu)的步驟,即可得到圖案化的金屬網(wǎng)柵薄膜,因此該方法不僅無需附加材料,降低制作成本,而且不會污染環(huán)境,同時降低了工藝復(fù)雜性,節(jié)省了大量的人力物力。
技術(shù)研發(fā)人員:金光國
受保護(hù)的技術(shù)使用者:蘇州麥田光電技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.03.24
技術(shù)公布日:2017.07.14