技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開一種基板晶片以及Ⅲ族氮化物半導(dǎo)體元件的制造方法。其中由一六方晶系單晶材料所構(gòu)成的基板晶片，且上述六方晶系單晶材料包含一c軸晶面、一a軸晶面、及一m軸方向，包含：一上表面，包含上述c軸晶面構(gòu)成的一c軸平面；一第一側(cè)邊，與上述上表面連接，且自垂直于上述c軸平面方向觀之，上述第一側(cè)邊實(shí)質(zhì)為一弧線；以及一第二側(cè)邊，與上述第一側(cè)邊連接，且自垂直于上述c軸平面方向觀之，上述第二側(cè)邊實(shí)質(zhì)為一直線；其中，上述a軸晶面與上述m軸方向平行；其中，上述第二側(cè)邊與上述m軸方向不平行。

技術(shù)研發(fā)人員：陳凱欣;黃信雄;李宛蓉;陳佩佳;戴永信
受保護(hù)的技術(shù)使用者：晶元光電股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.24
技術(shù)公布日：2017.10.31