本發(fā)明涉及顯示設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種柔性基板及一種應(yīng)用所述柔性基板的柔性顯示器。

背景技術(shù)：

柔性顯示器具有可撓曲、可穿戴、輕、薄、功耗小、輻射低等特點(diǎn)，其被認(rèn)為是下一代顯示器，現(xiàn)其已廣泛應(yīng)用于各種顯示終端的高端前沿產(chǎn)品中。

柔性顯示器一般是在柔性基板上形成薄膜晶體管(Thin Film Transistor，TFT)或其他功能器件，以達(dá)到顯示的效果。而柔性基板一般需要較好的水汽、氧氣隔絕性，以保證功能器件的穩(wěn)定性。

傳統(tǒng)柔性基板結(jié)構(gòu)通常采用多層有機(jī)層和多層無(wú)機(jī)層的交替層疊設(shè)置，有機(jī)層和無(wú)機(jī)層均為連續(xù)的整層結(jié)構(gòu)，通過無(wú)機(jī)層實(shí)現(xiàn)阻隔水汽及氧氣滲入基板上方功能器件的功能。隨著可折疊、可穿戴終端的概念提出，現(xiàn)代柔性顯示器已越來(lái)越關(guān)注柔性基板的彎折性能。而在傳統(tǒng)柔性基板中，由于多數(shù)無(wú)機(jī)層的應(yīng)力較差，例如采用二氧化硅(SiO₂)材料的無(wú)機(jī)層，當(dāng)彎折幅度較大時(shí)，無(wú)機(jī)層彼此擠壓容易導(dǎo)致崩裂，無(wú)機(jī)層崩裂所產(chǎn)生的突刺等亦會(huì)損毀有機(jī)層，從而導(dǎo)致水汽、氧氣滲入至器件中，導(dǎo)致柔性顯示器顯示異常。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于提供一種彎折性能良好的柔性基板。

此外，本發(fā)明還提供一種應(yīng)用所述柔性基板的柔性顯示器。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明實(shí)施方式采用如下技術(shù)方案：

提供一種柔性基板，包括：

第一有機(jī)層；

圖案化的第一無(wú)機(jī)層，設(shè)在所述第一有機(jī)層上，所述第一無(wú)機(jī)層包括多個(gè)間隔設(shè)置的第一條塊，所述第一條塊包括第一中部和設(shè)于所述第一中部?jī)蓚?cè)的第一邊部；

第二有機(jī)層，覆蓋所述第一無(wú)機(jī)層；以及

圖案化的第二無(wú)機(jī)層，位于第二有機(jī)層的遠(yuǎn)離所述第一有機(jī)層的一側(cè)，所述第二無(wú)機(jī)層包括多個(gè)間隔設(shè)置的第二條塊，所述第二條塊包括第二中部和設(shè)于所述第二中部?jī)蓚?cè)的第二邊部；

所述第二條塊的延伸方向與所述第一條塊的延伸方向相同，所述第二有機(jī)層部分嵌入相鄰的所述第一條塊之間和相鄰的所述第二條塊之間，所述第一中部與所述第二中部交錯(cuò)設(shè)置，所述第一邊部與所述第二邊部重疊設(shè)置。

其中，所述第一邊部位于所述第一中部?jī)蓚?cè)的區(qū)域?qū)挾认嗟取?/p>

其中，所述第一中部的寬度與所述第一邊部單側(cè)的寬度的比為第一數(shù)值，所述第一數(shù)值大于等于2且小于等于3。

其中，所述第二中部的寬度與所述第二邊部單側(cè)的寬度的比為第二數(shù)值，所述第二數(shù)值等于所述第一數(shù)值。

其中，所述第一無(wú)機(jī)層的厚度與所述第二無(wú)機(jī)層的厚度相等。

其中，所述第一無(wú)機(jī)層的厚度小于所述第二有機(jī)層的厚度。

其中，所述第一條塊包括相對(duì)設(shè)置的第一頂面和第一底面以及連接在所述第一頂面和所述第一底面之間的第一側(cè)面，所述第一底面貼合所述第一有機(jī)層，所述第一側(cè)面與所述第一底面之間形成第一夾角，所述第一夾角大于等于30°且小于等于60°。

其中，所述第一有機(jī)層和所述第二有機(jī)層均采用聚酰亞胺材料，所述第一無(wú)機(jī)層和所述第二無(wú)機(jī)層均采用二氧化硅材料。

其中，所述柔性基板還包括保護(hù)層，所述保護(hù)層位于所述第二有機(jī)層的遠(yuǎn)離所述第一有機(jī)層的一側(cè)并覆蓋所述第二無(wú)機(jī)層。

另一方面，還提供一種柔性顯示器，包括前述柔性基板。

相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明具有以下有益效果：

由于所述第一條塊和所述第二條塊沿相同方向(定義為第一方向)延伸，相鄰的所述第一條塊彼此間隔設(shè)置，相鄰的所述第二條塊彼此間隔設(shè)置，所述第二有機(jī)層部分嵌入相鄰的所述第一條塊之間和相鄰的所述第二條塊之間，因此所述柔性基板在所述第一方向的垂直平面上彎折時(shí)，所述第二有機(jī)層能夠有效緩沖和平衡多個(gè)所述第一條塊和多個(gè)所述第二條塊上的應(yīng)力，使得多個(gè)所述第一條塊和多個(gè)所述第二條塊受力均勻，從而改善了所述第一無(wú)機(jī)層和所述第二無(wú)機(jī)層的應(yīng)力問題，降低了所述第一無(wú)機(jī)層和所述第二無(wú)機(jī)層發(fā)生崩裂的風(fēng)險(xiǎn)，使得所述柔性基板彎折性能良好。由于所述第一中部與所述第二中部交錯(cuò)設(shè)置，所述第一邊部與所述第二邊部重疊設(shè)置，因此所述第一無(wú)機(jī)層與所述第二無(wú)機(jī)層共同形成了對(duì)所述柔性基板的整面性保護(hù)，從而能夠避免水汽和氧氣穿透所述柔性基板。簡(jiǎn)言之，所述柔性基板既具有隔絕水汽和氧氣的能力，還具有良好的彎折性能，使得應(yīng)用所述柔性基板的所述柔性顯示器使用壽命較長(zhǎng)且能夠獲得更好的彎折性能。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施方式中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施方式，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以如這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種柔性顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種柔性基板的制作方法中對(duì)應(yīng)于步驟S01的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種柔性基板的制作方法中對(duì)應(yīng)于步驟S02的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是圖3所示結(jié)構(gòu)的俯視圖。

圖5是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種柔性基板的制作方法中對(duì)應(yīng)于步驟S03的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種柔性基板的制作方法中對(duì)應(yīng)于步驟S04的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖7是圖6所示結(jié)構(gòu)的俯視圖。

圖8是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種柔性基板的制作方法中對(duì)應(yīng)于步驟S05的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖9是圖8所示柔性基板的第一無(wú)機(jī)層和第二無(wú)機(jī)層在第一有機(jī)層上的正投影的示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

此外，以下各實(shí)施例的說(shuō)明是參考附加的圖示，用以例示本發(fā)明可用以實(shí)施的特定實(shí)施例。本發(fā)明中所提到的方向用語(yǔ)，例如，“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“內(nèi)”、“外”、“側(cè)面”等，僅是參考附加圖式的方向，因此，使用的方向用語(yǔ)是為了更好、更清楚地說(shuō)明及理解本發(fā)明，而不是指示或暗指所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。

在本發(fā)明的描述中，需要說(shuō)明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”、“設(shè)置在……上”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸地連接，或者一體地連接；可以是機(jī)械連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本發(fā)明中的具體含義。

此外，在本發(fā)明的描述中，除非另有說(shuō)明，“多個(gè)”的含義是兩個(gè)或兩個(gè)以上。若本說(shuō)明書中出現(xiàn)“工序”的用語(yǔ)，其不僅是指獨(dú)立的工序，在與其它工序無(wú)法明確區(qū)別時(shí)，只要能實(shí)現(xiàn)該工序所預(yù)期的作用則也包括在本用語(yǔ)中。另外，本說(shuō)明書中用“～”表示的數(shù)值范圍是指將“～”前后記載的數(shù)值分別作為最小值及最大值包括在內(nèi)的范圍。在附圖中，結(jié)構(gòu)相似或相同的單元用相同的標(biāo)號(hào)表示。

請(qǐng)參閱圖1，本發(fā)明實(shí)施例提供一種柔性顯示器100，所述柔性顯示器100包括柔性基板1、形成在所述柔性基板1上的器件層2以及形成在所述器件層2的遠(yuǎn)離所述柔性基板1一側(cè)的封裝層3。所述柔性基板1承載所述器件層2。所述器件層2用于進(jìn)行顯示，可采用有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)器件層。所述封裝層3用于封裝并保護(hù)所述器件層2。

請(qǐng)一并參閱圖1至圖9，所述柔性基板1包括第一有機(jī)層11、第一無(wú)機(jī)層12、第二有機(jī)層13以及第二無(wú)機(jī)層14。所述第一無(wú)機(jī)層12設(shè)在所述第一有機(jī)層11上。所述第一無(wú)機(jī)層12圖案化設(shè)置，所述第一無(wú)機(jī)層12包括多個(gè)間隔設(shè)置的第一條塊120，所述第一條塊120包括第一中部121和設(shè)于所述第一中部121兩側(cè)的第一邊部122。所述第二有機(jī)層13形成在所述第一有機(jī)層11上并覆蓋所述第一無(wú)機(jī)層12。所述第二無(wú)機(jī)層14位于第二有機(jī)層13的遠(yuǎn)離所述第一有機(jī)層11的一側(cè)。所述第二無(wú)機(jī)層14圖案化設(shè)置，所述第二無(wú)機(jī)層14包括多個(gè)間隔設(shè)置的第二條塊140，所述第二條塊140包括第二中部141和設(shè)于所述第二中部141兩側(cè)的第二邊部142。所述第二條塊140的延伸方向與所述第一條塊120的延伸方向相同，所述第二有機(jī)層13部分嵌入相鄰的所述第一條塊120之間和相鄰的所述第二條塊140之間。具體而言，所述第一條塊120和所述第二條塊140均沿第一方向X延伸。相鄰的所述第一條塊120之間存在第一空隙，所述第二有機(jī)層13部分嵌入所述第一空隙。相鄰的所述第二條塊140之間存在第二空隙，所述第二有機(jī)層13部分嵌入所述第二空隙。在所述第一有機(jī)層11的垂直方向Z上，所述第一中部121與所述第二中部141交錯(cuò)設(shè)置，所述第一邊部122與所述第二邊部142重疊設(shè)置。所述第一中部121在所述第一有機(jī)層11上的正投影與所述第二中部141在所述第一有機(jī)層11上的正投影彼此交錯(cuò)、不重疊，所述第一邊部122在所述第一有機(jī)層11上的正投影與所述第二邊部142在所述第一有機(jī)層11上的正投影彼此重疊。如圖9所示，單獨(dú)填充傾斜短線的區(qū)域代表所述第一中部121在所述第一有機(jī)層11上的正投影，單獨(dú)填充點(diǎn)的區(qū)域代表所述第二中部141在所述第一有機(jī)層11上的正投影，同時(shí)填充點(diǎn)和傾斜短線的區(qū)域代表所述第一邊部122和所述第二邊部142在所述第一有機(jī)層11上重疊的正投影。

在本實(shí)施例中，由于所述第一條塊120和所述第二條塊140均沿第一方向X延伸，相鄰的所述第一條塊120彼此間隔設(shè)置，相鄰的所述第二條塊140彼此間隔設(shè)置，所述第二有機(jī)層13部分嵌入相鄰的所述第一條塊120之間和相鄰的所述第二條塊140之間，因此所述柔性基板1在所述第一方向X的垂直平面上彎折時(shí)，所述第二有機(jī)層13能夠有效緩沖和平衡多個(gè)所述第一條塊120和多個(gè)所述第二條塊140上的應(yīng)力，使得多個(gè)所述第一條塊120和多個(gè)所述第二條塊140受力均勻，從而改善了所述第一無(wú)機(jī)層12和所述第二無(wú)機(jī)層14的應(yīng)力問題，降低了所述第一無(wú)機(jī)層12和所述第二無(wú)機(jī)層14發(fā)生崩裂的風(fēng)險(xiǎn)，使得所述柔性基板1彎折性能良好。由于所述第一中部121與所述第二中部141交錯(cuò)設(shè)置，所述第一邊部122與所述第二邊部142重疊設(shè)置，因此所述第一無(wú)機(jī)層12與所述第二無(wú)機(jī)層14共同形成了對(duì)所述柔性基板1的整面性保護(hù)，從而能夠避免水汽和氧氣穿透所述柔性基板1后滲入所述器件層2。簡(jiǎn)言之，所述柔性基板1既具有隔絕水汽和氧氣的能力，還具有良好的彎折性能，使得應(yīng)用所述柔性基板1的所述柔性顯示器100使用壽命較長(zhǎng)且能夠獲得更好的彎折性能。

可以理解的，“所述柔性基板1在所述第一方向X的垂直平面上彎折”是指，所述柔性基板1的彎折方向和彎折軌跡位于所述第一方向X的垂直平面。本發(fā)明所述柔性基板1的所述第一方向X可依據(jù)所述柔性顯示器100的彎折動(dòng)作進(jìn)行設(shè)置，使所述第一方向X垂直于所述柔性顯示器100的彎折動(dòng)作所在平面，以使所述柔性顯示器100具有良好的彎折性能。

由于所述第二有機(jī)層13覆蓋在多個(gè)所述第一條塊120上和所述第一有機(jī)層11上，因此所述第二有機(jī)層13具有依次連接的凹部和凸部(類似波浪狀)，所述第二有機(jī)層13呈凹凸面狀，相較于現(xiàn)有技術(shù)的平面狀來(lái)說(shuō)，所述第二有機(jī)層13的形狀能更好地承受和適應(yīng)頻繁的彎折和展平動(dòng)作，所述第二有機(jī)層13具有更佳的彎折性能。同時(shí)，所述第二有機(jī)層13也能夠更好地緩沖多個(gè)所述第一條塊120和多個(gè)所述第二條塊140之間的應(yīng)力。

作為一種可選實(shí)施例，如圖3和圖4所示，在垂直于所述第一方向X的第二方向Y上(所述第一方向X和所述第二方向Y均在所述第一有機(jī)層11的平面方向上)，所述第一邊部122位于所述第一中部121兩側(cè)的區(qū)域?qū)挾认嗟?。此時(shí)，所述第一邊部122兩側(cè)的區(qū)域可相對(duì)所述第一中部121對(duì)稱設(shè)置。

如圖6和圖7所示，在垂直于所述第一方向X的第二方向Y上，所述第二邊部142位于所述第二中部141兩側(cè)的區(qū)域?qū)挾认嗟?。此時(shí)，所述第二邊部142兩側(cè)的區(qū)域可相對(duì)所述第二中部141對(duì)稱設(shè)置。

可選的，在所述第二方向Y，所述第一中部121的寬度與所述第一邊部122單側(cè)的寬度的比為第一數(shù)值，所述第一數(shù)值大于等于2且小于等于3。

在本實(shí)施例中，所述第一數(shù)值大于等于2且小于等于3，合理地分配了所述第一條塊120的與所述第二條塊140的重疊面積和非重疊面積，使得所述第一無(wú)機(jī)層12和所述第二無(wú)機(jī)層14在所述柔性基板1展平或彎折的情況下，均具有彼此重疊的部分和彼此交錯(cuò)的部分，從而保障所述柔性基板1隔絕水汽和氧氣的能力以及良好的彎折性能。

可以理解的是，所述柔性基板1展平或彎折時(shí)，在所述第一有機(jī)層11的垂直方向Z上，所述第一中部121與所述第二中部141始終保持彼此交錯(cuò)，所述第一邊部122與所述第二邊部142的始終保持彼此重疊，所述第一邊部122與所述第二邊部142的重疊面積隨所述柔性基板1的彎折形狀而發(fā)生對(duì)應(yīng)變化。

可選的，在所述第二方向Y上，所述第二中部141的寬度與所述第二邊部142的寬度的比為第二數(shù)值，所述第二數(shù)值等于所述第一數(shù)值。此時(shí)，在所述第一有機(jī)層11的平面方向上，所述第二中部141的形狀及尺寸與所述第一中部121相同，所述第二邊部142的形狀及尺寸與所述第一邊部122相同，從而能夠簡(jiǎn)化所述柔性基板1的制程工藝，降低所述柔性基板1的成本。

可選的，如圖3、圖5及圖6所示，所述第一無(wú)機(jī)層12的厚度與所述第二無(wú)機(jī)層14的厚度相等，此時(shí)所述第一條塊120的厚度與所述第二條塊140的厚度相等。由于所述第二有機(jī)層13各區(qū)域厚度保持一致，所述第二有機(jī)層13嵌入相鄰的所述第一條塊120之間的區(qū)域處形成凹槽，所述第一條塊120與所述第二條塊140厚度相等，因此所述第二條塊140剛好能嵌入所述凹槽，并且所述第二條塊140的遠(yuǎn)離所述第一有機(jī)層11的表面與所述第二有機(jī)層13遠(yuǎn)離所述第一有機(jī)層11的表面上不連接所述第二條塊140的區(qū)域131平齊或大致平齊，有利于降低后續(xù)制程工藝的難度，同時(shí)也降低了所述柔性基板1的厚度。所述第二有機(jī)層13很好地同時(shí)隔離多個(gè)所述第一條塊120和多個(gè)所述第二條塊140，使得所述柔性基板1的彎折性能更佳。

可選的，所述第一無(wú)機(jī)層12的厚度和所述第二無(wú)機(jī)層14的厚度均小于所述第二有機(jī)層13的厚度，使得所述第二有機(jī)層13能夠充分地實(shí)現(xiàn)對(duì)多個(gè)所述第一條塊120和多個(gè)所述第二條塊140的應(yīng)力緩沖。

作為一種可選實(shí)施例，如圖3所示，所述第一條塊120包括相對(duì)設(shè)置的第一頂面123和第一底面124以及連接在所述第一頂面123和所述第一底面124之間的第一側(cè)面125。所述第一底面124貼合所述第一有機(jī)層11。所述第一頂面123和所述第一側(cè)面125連接所述第二有機(jī)層13。所述第一側(cè)面125與所述第一底面124之間形成第一夾角，所述第一夾角大于等于30°且小于等于60°。所述第一夾角可為30°、45°、60°等。

如圖6所示，所述第二條塊140包括相對(duì)設(shè)置的第二頂面143和第二底面144以及連接在所述第二頂面143和所述第二底面144之間的第二側(cè)面145。所述第二頂面143和所述第二側(cè)面145連接所述第二有機(jī)層13。所述第二底面144遠(yuǎn)離所述第一有機(jī)層11設(shè)置。此時(shí)，所述第二底面144與所述第二有機(jī)層13遠(yuǎn)離所述第一有機(jī)層11的表面上不連接所述第二條塊140的區(qū)域131平齊或大致平齊。所述第二側(cè)面145與所述第二底面144之間形成第二夾角，所述第二夾角大于等于30°且小于等于60°。所述第二夾角可為30°、45°、60°等。

請(qǐng)一并參閱圖3至圖9，在一種實(shí)施方式中，所述第一頂面123位于所述第一中部121，所述第一側(cè)面125連接所述第一頂面123的部分位于所述第一中部121，所述第一側(cè)面125連接所述第一底面124的部分位于所述第一邊部122。所述第二頂面143位于所述第二中部141，所述第二側(cè)面145連接所述第二頂面143的部分位于所述第二中部141，所述第二側(cè)面145連接所述第二底面144的部分位于所述第二邊部142。

作為一種可選實(shí)施例，所述第一有機(jī)層11和所述第二有機(jī)層13均采用聚酰亞胺(Polyimide，PI)材料，所述第一無(wú)機(jī)層12和所述第二無(wú)機(jī)層14均采用二氧化硅(SiO₂)材料。

作為一種可選實(shí)施例，如圖6和圖8所示，所述柔性基板1還包括保護(hù)層15。所述保護(hù)層15形成在所述第二有機(jī)層13的遠(yuǎn)離所述第一有機(jī)層11的一側(cè)并覆蓋所述第二無(wú)機(jī)層14，所述保護(hù)層15可用于保護(hù)所述第二有機(jī)層13和所述第二無(wú)機(jī)層14。此時(shí)，所述第二條塊140的遠(yuǎn)離所述第一有機(jī)層11的表面(也即所述第二底面144)接觸連接所述保護(hù)層15，所述第二有機(jī)層13遠(yuǎn)離所述第一有機(jī)層11的表面上不連接所述第二條塊140的區(qū)域131也接觸連接所述保護(hù)層15。由于所述第二條塊140的遠(yuǎn)離所述第一有機(jī)層11的表面(也即所述第二底面144)與所述第二有機(jī)層13遠(yuǎn)離所述第一有機(jī)層11的表面上不連接所述第二條塊140的區(qū)域131平齊或大致平齊，因此所述保護(hù)層15呈平面狀，制程難度低，從而降低了所述柔性基板1的成本。同時(shí)，多個(gè)所述第二條塊140夾設(shè)在整面的所述第二有機(jī)層13和整面的所述保護(hù)層15之間，使得所述第二有機(jī)層13具有更佳的彎折性能。

可選的，所述保護(hù)層15采用氮化硅(SiNx)材料，從而能夠進(jìn)一步隔絕水汽和氧氣，提高所述柔性基板1隔絕水汽和氧氣的能力。

請(qǐng)一并參閱圖2至圖9，本發(fā)明還提供一種柔性基板的制作方法，用于制作前述柔性基板1。所述柔性基板的制作方法包括：

S01：如圖2所示，通過涂布和固化工藝形成第一有機(jī)層11。

S02：如圖3和圖4所示，通過化學(xué)氣相沉積工藝在所述第一有機(jī)層11形成整層的第一無(wú)機(jī)涂層，而后通過曝光、蝕刻和顯影工藝圖案化所述第一無(wú)機(jī)涂層，以形成第一無(wú)機(jī)層12，使得所述第一無(wú)機(jī)層12包括多個(gè)間隔設(shè)置的第一條塊120，所述第一條塊120包括第一中部121和設(shè)于所述第一中部121兩側(cè)的第一邊部122。

S03：如圖5所示，通過涂布和固化工藝在所述第一有機(jī)層11上形成覆蓋所述第一無(wú)機(jī)層12的第二有機(jī)層13。此時(shí)所述第二有機(jī)層13部分嵌入相鄰的所述第一條塊120之間，相鄰的所述第一條塊120被所述第二有機(jī)層13隔離。

S04：如圖6和圖7所示，通過化學(xué)氣相沉積工藝在所述第二有機(jī)層13上形成整層的第二無(wú)機(jī)涂層，而后通過曝光、蝕刻和顯影工藝圖案化所述第二無(wú)機(jī)涂層，以形成第二無(wú)機(jī)層14，使得所述第二無(wú)機(jī)層14包括多個(gè)間隔設(shè)置的第二條塊140，所述第二條塊140的延伸方向與所述第一條塊120的延伸方向相同，相鄰的所述第二條塊140被所述第二有機(jī)層13隔離，所述第二條塊140包括第二中部141和設(shè)于所述第二中部141兩側(cè)的第二邊部142，所述第一中部121與所述第二中部141交錯(cuò)設(shè)置，所述第一邊部122與所述第二邊部142重疊設(shè)置。

S05：如圖8所示，通過化學(xué)氣相沉積工藝在所述第二有機(jī)層13的遠(yuǎn)離所述第一有機(jī)層11的一側(cè)形成保護(hù)層15，以形成柔性基板1。所述保護(hù)層15覆蓋所述第二無(wú)機(jī)層14和所述第二有機(jī)層13。

以上對(duì)本發(fā)明實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)介紹，本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對(duì)本發(fā)明的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的說(shuō)明只是用于幫助理解本發(fā)明的方法及其核心思想；同時(shí)，對(duì)于本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員，依據(jù)本發(fā)明的思想，在具體實(shí)施方式及應(yīng)用范圍上均會(huì)有改變之處，綜上所述，本說(shuō)明書內(nèi)容不應(yīng)理解為對(duì)本發(fā)明的限制。