技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種TFT基板中電極層的制作方法及柔性TFT基板的制作方法。本發(fā)明TFT基板中電極層的制作方法，首先在硅襯底上形成一層金屬鎳層，然后采用化學(xué)氣相沉積法在所述金屬鎳層上沉積一層石墨烯層，并采用等離子體蝕刻法對(duì)所述石墨烯層進(jìn)行蝕刻，形成圖案化的石墨烯層，最后將金屬鎳層溶解掉，使圖案化的石墨烯層與硅襯底分離，將圖案化的石墨烯層轉(zhuǎn)移即可得到TFT基板的電極層，采用石墨烯材料的電極層具有優(yōu)秀的導(dǎo)電及機(jī)械性能，同時(shí)具有較好的熱學(xué)穩(wěn)定性及化學(xué)穩(wěn)定性，該制作方法實(shí)現(xiàn)了適用于柔性顯示裝置彎折的電極層的制作。

技術(shù)研發(fā)人員：王幸
受保護(hù)的技術(shù)使用者：武漢華星光電技術(shù)有限公司
文檔號(hào)碼：201710138323
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.09
技術(shù)公布日：2017.06.09